一种单晶硅磨削亚表面损伤偏振激光检测旋转平台的制作方法

1.本实用新型涉及旋转平台相关领域，具体为一种单晶硅磨削亚表面损伤偏振激光检测旋转平台。


背景技术：

2.单晶硅磨削亚表面损伤偏振激光检测旋转平台用以对单晶硅磨削亚表面损伤进行激光检测，用以把控单晶硅磨削后的质量，用于制造半导体器件、太阳能电池、芯片等。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。是人类能制取到的最纯的物质。
3.目前阶段的单晶硅磨削亚表面损伤检测过程采用直线输送方式，此种方式在检测过程无法进行二次循环检测，且对于配合上料和下料过程效率和精确度不容易控制，不方便转运，灵活性不够，且设备不够智能化，导致无法根据切削面的大小对检测范围进行调节。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种单晶硅磨削亚表面损伤偏振激光检测旋转平台，以解决上述背景技术中提出的单晶硅磨削亚表面损伤检测过程采用直线输送方式，此种方式在检测过程无法进行二次循环检测，且对于配合上料和下料过程效率和精确度不容易控制，不方便转运，灵活性不够，且设备不够智能化，导致无法根据切削面的大小对检测范围进行调节的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶硅磨削亚表面损伤偏振激光检测旋转平台，包括激光检测枪、夹具、旋转台和旋转轴，所述旋转台的顶部边侧设有八个夹具，所述旋转台通过旋转轴与轴架连接，所述轴架的一端通过第一连接架与侧安装板，所述侧安装板的顶部通过电推杆与托座连接，所述托座通过第二连接架设有箍架，所述箍架的内侧箍紧有激光检测枪。
6.在进一步的实施例中，还包括传动箱，所述传动箱设在箱体架的内侧，所述箱体架的顶部与轴架连接。
7.在进一步的实施例中，所述传动箱的内部设有传动轴，所述传动轴上设有主动齿轮，所述传动箱的一侧设有电机，且电机的输出轴与传动轴连接。
8.在进一步的实施例中，所述旋转轴的一端设有从动齿轮，所述从动齿轮与主动齿轮齿轮传动连接，所述旋转轴的另一端与旋转台的底端中部轴套镶嵌固定。
9.在进一步的实施例中，还包括控制箱，所述控制箱设在托座上，所述托座的顶部设有安装槽，所述安装槽内设有六个安装孔，且控制箱的底部通过垫板与安装槽上的安装孔螺栓固定。
10.在进一步的实施例中，所述箍架的一端设有松紧调节耳，所述激光检测枪的枪体上设有防滑层，且箍架箍紧在枪体上的防滑层处。
11.在进一步的实施例中，所述激光检测枪的一端设有激光检测头，所述激光检测枪
的端部设有驱动模块，且驱动模块与控制箱之间通过线缆连接。
12.在进一步的实施例中，还包括车体架，所述车体架的两端设有侧耳，所述侧耳上设有车轮，所述车体架设在箱体架的底部。
13.在进一步的实施例中，所述夹具包括气动杆和夹头；
14.所述气动杆设在夹具的居中两侧，所述气动杆的伸缩端与夹头连接，所述夹头的端面设为弧形口，用以加强夹紧力度。
15.在进一步的实施例中，所述轴架的居中处设有轴承，所述旋转轴与轴承转动连接，所述轴架的一端与第一连接架镶嵌固定，所述第一连接架与侧安装板螺纹固定。
16.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
17.1、该实用新型设有旋转台，且旋转台通过旋转轴与轴架连接，且旋转轴与电机通过齿轮机构传动连接，使其方便智能控制旋转台旋转，且在设备的下方设有车体架，使其方便控制转运，灵活性架高，在旋转台的顶部设有八个夹具上，且八个夹具上均设有气动杆控制的夹头，使其方便对单晶硅进行智能夹紧，且使用方便。
18.2、该实用新型设有由箍架安装的激光检测枪，在激光检测枪的一端设有激光检测头，且箍架通过第二连接架与托座连接，且托座与电推杆连接，使其可以对激光检测头的高低进行调节，从而可以调节检测光圈的大小，使其可以根据检测精确度的需求进行调节，增大其灵活性。
附图说明
19.图1为本实用新型的一种单晶硅磨削亚表面损伤偏振激光检测旋转平台的结构示意图；
20.图2为本实用新型的旋转台的俯视图；
21.图3为本实用新型的传动箱的结构示意图；
22.图4为本实用新型的夹具的主视图；
23.图5为本实用新型的箍架的俯视图；
24.图6为本实用新型的a部的结构示意图。
25.图中：1、控制箱；2、托座；3、电推杆；4、激光检测枪；5、箍架；6、激光检测头；7、夹具；8、旋转台；9、旋转轴；10、侧安装板；11、第一连接架；12、轴架；13、箱体架；14、电机；15、传动箱；16、车体架；17、气动杆；18、从动齿轮；19、传动轴；20、主动齿轮；21、第二连接架；22、夹头。
具体实施方式
26.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
27.请参阅图1-6，本实用新型提供的一种实施例：一种单晶硅磨削亚表面损伤偏振激光检测旋转平台，包括激光检测枪4、夹具7、旋转台8和旋转轴9，旋转台8的顶部边侧设有八个夹具7，旋转台8通过旋转轴9与轴架12连接，轴架12的一端通过第一连接架11与侧安装板10，侧安装板10的顶部通过电推杆3与托座2连接，托座2通过第二连接架21设有箍架5，箍架
5的内侧箍紧有激光检测枪4。
28.通过夹具7用以对单晶硅进行自动夹紧固定，通过旋转轴9的转动带动旋转台8旋转，通过旋转台8的转动带动其上的夹具7匀速转动，通过侧安装板10方便电推杆3的安装，通过电推杆3调节托座2的高低，且托座2通过第二连接架21带动箍架5控制激光检测枪4升降。
29.进一步，还包括传动箱15，传动箱15设在箱体架13的内侧，箱体架13的顶部与轴架12连接，通过传动箱15用以带动旋转轴9转动，通过箱体架13用以对传动箱15进行侧面进行防护。
30.进一步，传动箱15的内部设有传动轴19，传动轴19上设有主动齿轮20，传动箱15的一侧设有电机14，且电机14的输出轴与传动轴19连接，通过电机14带动传动轴19转动，使传动轴19带动主动齿轮20转动。
31.进一步，旋转轴9的一端设有从动齿轮18，从动齿轮18与主动齿轮20齿轮传动连接，旋转轴9的另一端与旋转台8的底端中部轴套镶嵌固定，通过主动齿轮20与从动齿轮18齿轮传动，使从动齿轮18带动旋转轴9转动。
32.进一步，还包括控制箱1，控制箱1设在托座2上，托座2的顶部设有安装槽，安装槽内设有六个安装孔，且控制箱1的底部通过垫板与安装槽上的安装孔螺栓固定，通过控制箱1用以对设备进行电控和对检测的数据进行记录和分析。
33.进一步，箍架5的一端设有松紧调节耳，激光检测枪4的枪体上设有防滑层，且箍架5箍紧在枪体上的防滑层处，通过松紧调节耳用以调节箍架5箍口的大小，使其将激光检测枪4进行箍紧固定。
34.进一步，激光检测枪4的一端设有激光检测头6，激光检测枪4的端部设有驱动模块，且驱动模块与控制箱1之间通过线缆连接。
35.进一步，还包括车体架16，车体架16的两端设有侧耳，侧耳上设有车轮，车体架16设在箱体架13的底部，通过车体架16方便控制设备的转运。
36.进一步，夹具7包括气动杆17和夹头22；
37.夹具7呈圆筒结构，气动杆17设在夹具7的居中两侧，气动杆17的伸缩端与夹头22连接，夹头22的端面设为弧形口，用以加强夹紧力度，通过气动杆17控制夹头22的夹紧固定。
38.进一步，轴架12的居中处设有轴承，旋转轴9与轴承转动连接，轴架12的一端与第一连接架11镶嵌固定，第一连接架11与侧安装板螺纹固定。
39.工作原理：使用时，通过上料机构和下料机构用以控制单晶硅，将其自动送入到夹具7上，然后检测后并自动取出，通过夹具7上的气动杆17控制夹头22对单晶硅进行夹紧，然后通过电机14控制传动轴19转动，使传动轴19带动主动齿轮20转动，使主动齿轮20与从动齿轮18齿轮传动，使其带动旋转轴9转动，使旋转轴9带动旋转台8旋转，使旋转台8带动夹具7转动，同时通过电推杆3调节托座2的高低，使托座2通过第二连接架21带动激光检测枪4进行高低调节，从而调节激光检测枪4端部的激光检测头6的高低，使激光检测头6通过激光对经过其的夹具7上的单晶硅上表面损伤进行检测，检测的数据实时传输至控制箱1上，通过控制箱1对其进行分析并记录。
40.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而
且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。