功率半导体器件的测试系统的主电流电路及负载电阻的制作方法

1.本实用新型涉及功率器件测试技术领域，尤其是涉及功率半导体器件的测试系统的主电流电路及负载电阻。


背景技术：

2.各种电力电子器件均具有导通和阻断两种工作状态，包括功率半导体器件。功率半导体器件工作时，会因功率损耗而发热、升温，器件温度过高会缩短其使用寿命。从半导体功率器件的研发、生产、使用和检修都需要进行相应的电参数测试，包括静态参数测试（击穿电压、漏电流、导通压降等）、动态参数测试、极限能力测试（浪涌电流测试等）、可靠性寿命测试（高温贮存试验、温度循环试验、高温反偏试验等）等。现有测试台只能进行单项测试，无法综合反映工作状态，即无法测试器件的实际工作状态，从而无法得到被测器件的实际工作参数，无法更为科学的判断器件是否合格；本实用新型巧妙的实现了接入电网后，通过二极管单向半波整流，实现了正常通电情况下的测试，可以实现器件真实工况的再现。
3.针对现有测试台，测试精准度低的问题，为了提高测试的精准度，减少阻抗干扰，通过循环水将产生的热量快速带走，增加散热效果，省却风扇，降噪，提高使用寿命，通过管卡固定电阻，实现阻值可调，本实用新型对负载电阻进行了创新，以满足上述测试要求。
4.因此，需要一种功率半导体器件的测试系统，能够在不同工况下对器件同时进行高压测试、结温测试和浪涌测试，提高功率半导体器件测试的准确性和效率。


技术实现要素：

5.为了对半导体器件进行性能测试，本实用新型提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的功率半导体器件的测试系统的主电流电路，可为多种测试提供主电流，提高半导体器件测试的效率。
6.一种功率半导体器件的测试系统的主电流电路，所述主电流电路包括主电流调节器及第一触发电路；主电流调节器根据被测器件的额定值，调节主电路输出主电流的大小；主电流电路适于为被测器件提供半波导通电流，主电流电路包括主电流调节器、驱动电路和多个限流电阻，主电流调节器用于根据被测器件的额定值调节主电流的大小，驱动电路适于控制回路中或被测器件的门极电压以控制器件的导通和关断。
7.主电流调节器具有主电流隔离变压器tc11，
8.在主电流隔离变压器tc11初级线圈上接有主电流调压器t10，用于根据被测器件的额定值，调节主电流电路输出额定电流的大小；
9.主电流隔离变压器tc11次级线圈输出降压后的主电流。
10.一种负载电阻，包括作为电阻的盘管，在盘管中循环有去离子水；在盘管两端设置有接头，用于外接水路，盘管配套有第一电连接端及可调的第二电连接端，用于外接电路，通过调节第二电连接端在盘管上位置，调节液冷电阻的阻值；
11.外接水路包括串联的水泵及制冷机。
12.在本实用新型应用方法中，首先，将被测器件的阳极和阴极分别连接在主电流电路的正接线端和负接线端，调节主电流的大小使被测器件导通，测量得到被测器件的正向峰值电压和平均压降；接通浪涌测试电路，通过浪涌电流调节器将浪涌电流的大小调整为主电流的预定倍数，接通高压电源，将极性切换模块的极性切换为反向，基于预先设置的浪涌脉冲数量和浪涌脉冲时间间隔对被测器件进行浪涌测试。
13.综上所述，本实用新型利用降压变压器降压，通过比较器过零比较，产生与电网正弦波同步的电子开关信号，将器件的压降波形，主电流波形，浪涌波形，热敏电压波形，热敏比较，浪涌比较的波形通过电子开关和波段开关切换，将测量波形呈现在示波器上。
14.本实用新型能够利用被测器件半波导通阶段对被测器件同时进行浪涌和全动态参数测试，提高了器件测试的效率；可根据被测器件的额定参数值调节各测试电路输出电压或电流大小，能够适应半导体器件高压、耐高温、高开关频率的特性，能够提高器件测试的准确性。
15.其中， a、 vf（热）测试，利用主电流对器件加热，其
ⅴ
f（热）的变化在示波上可以观察、读数，在数字电压表上也可以直接读取；
16.b、全动态浪涌，同时加上主电流和反（正）向电压，利用定时器和计数器来确定浪涌间隔时间和浪涌次数，达到规定的次数时自动停止。虽然浪涌瞬间消失，但在示波器上可以观察主电流上的浪涌波形，浪涌和主电流的比例关系一目了然，对待测器件不但可以加主电流，测试器件两端的平均压降和峰值电压，还可以加反向电压，测器件的反向的漏电流，模拟器件的正常工作状态；
17.c、水冷电阻，本设备功率大，浪涌电流可以达到3000a，主电流200a。回路的电阻，连接接触电阻，变压器内阻难以计算同时大电流通过限流电阻时发热量大，本实用新型利用不锈钢管做限流电阻做到了两点，一是通过接线卡使其电阻大小可调，二是利用循环水将其热量带走，三是比采用风冷方式，所用散热器面积要小很多而且减少了热风对测试设备影响以及电阻发热对设备影响，四是省却风机，实现降噪。
附图说明
18.图1为优选的功率半导体器件的测试系统100的示意图。
19.图2为优选的控制模块150的电路示意图。
20.图3为控制模块150电路优化后左半部分图。
21.图4为控制模块150电路优化后右半部分图。
22.图5为优选的主电流电路110/浪涌电流电路120示意图。
23.图6为主电流电路110示意图。
24.图7为浪涌电流电路120示意图。
25.图8为优选的被测器件压降与比较电压波形示意图。
26.图9为优选的液态负载实物简化结构示意图。
27.图10为优选的液冷电阻变形结构示意图。
具体实施方式
28.如图1-10所示实施例，该系统100包括主电流电路110、浪涌测试电路120、高压电
路130、热敏测试电路140和控制模块150，能够在被测器件半波导通阶段同时进行全动态浪涌测试、全动态测试、热敏测试，测量结果包括浪涌电流、冷热态热敏电压、平均压降、峰值电压、正反向峰值电压、正反向漏电流、最高结温等。功率半导体器件的测试系统是一个综合系统可以图1的部分结构或合理组合，作为专利布局，本实用新型主要介绍了主电流部分，为了更好的表示其作用，将优选部分电路作为配套辅助说明。
29.总体上说，主电流电路110可以为被测器件提供半波导通电流，控制模块150包括若干电子开关电路。电子开关电路可以在检测到半波导通电流为高电平时，对应的控制浪涌测试电路120输出，低电平时，高压电路130输出，以便使浪涌测试电路120输出的浪涌脉冲在被测器件的正弦半波同步阶段触发。控制模块150，可以是可控硅、继电器和/或其组合等，可以根据被测器件的额定值调整各电路的输出电压或电流。
30.如图5-7所示实施例，主电流电路110和浪涌测试电路120的结构示意图，主电流电路110与浪涌测试电路120外接交流电源；交流电源为市电或工业电；
31.主电流电路110降压后，通过二极管实现单向半波整流输出，浪涌测试电路120升压，通过二极管实现单向半波整流输出。
32.其中，主电流电路110可以为被测器件提供导通电压和电流，以测试其导通压降，可以通过示波器观察器件导通电压的波形为被测器件的压降波形，通过电流表可以读取波形图中的正向峰值电压vfm/vtm和正向平均压降v均。
33.主电流电路110包括主电流调节器111、第一触发电路112、第一风冷模块d1，主电流调节器111能够根据被测器件的额定值，调节主电路输出主电流的大小，调节范围在1a-200a。第一风冷模块d1用于对大功率二极管和可控硅散热器散热。
34.主电流调节器111具有主电流隔离变压器tc11,30v/300a；在主电流隔离变压器tc11的主线圈电连接有用于分压的主电流调压器t10，在主电流隔离变压器tc11主线圈上旁接与主电流调压器t10配套的主电流交流表y11，以显示输入电参数，便于操作，判断主电流调压器t10的位置；
35.主电流的档位与主电流调压器t10相互配合能够根据被测器件的额定值，调节主电流电路输出主电流的大小，调节范围在1a-200a；当流过被测器件的电流大于50a时，可以将第一风冷模块d1开启对主电流隔离变压器tc11等部件进行通风散热。
36.主电流电路110还包括接在主电流回路上的波段开关，波段开关包括多个可调的主电流负载电阻r111，通过串接阻值依次增大的主电流负载电阻，实现电流的逐级对应减少输出，优选六个，主电流负载电阻r111包括第一电阻r11、第二电阻r12、第三电阻r13 、第四电阻r14、第五电阻r15,1、第六电阻r16；
37.第一电阻r11一端接主电流调节器111回路，另一端分两路，一路接200a主电流换挡开关，一路接第二电阻r12的一端，第二电阻r12、第三电阻r13、第四电阻r14、第五电阻r15、第六电阻r16逐级连接，对应接100a、50a、20a、5a、1a的主电流换挡开关，主电流换挡开关通过k端，接入被测器件；
38.主电流通过波段开关转换控制6个继电器动作，将主电流对应依次变小输出的200a、100a、50a、20a、5a、1a的主电流，本实施例优选采用六档，以适应不同电流器件的测试。其采用一个或其他数量构成等同，其电流值与阻值是为了区别，并不是限制。
39.波段开关配有6个电流档位切换交流接触器及对应电流档位的分流器，通过主电
流表来显示主电流的大小。
40.在主电流隔离变压器 tc11次级线圈输出降压后的主电流电路上电连接有二极管d11和/或主电流可控硅q11，实现单向半波整流输出；
41.主电流电路具有a、k端；
42.第一电阻r11、第二电阻r12、第三电阻r13和/或第四电阻r14包括作为电阻的盘管；
43.主电流负载电阻r111配套有主电流换挡开关，主电流换挡开关采用多档位的主电流开关旋钮；
44.如图9-10，其中，电阻r11-14可以是液冷电阻，液冷电阻包括盘管20，在盘管20中循环有绝缘冷却介质；在盘管20两端设置有接头21，用于外接水路，盘管20配套有第一电连接端29及可调的第二电连接端28，用于外接电路，通过调节第二电连接端28在盘管20上位置，调节液冷电阻的阻值；盘管20配套有固定支撑部22用于固定盘管20于测试台中，
45.当盘管20为螺旋管时，水路从下端的接头21进水且从上端的接头21出水，实现水循环；在盘管20下端的固定支撑部22上设置有拨动杆27及若干旋转托架23，在旋转托架23上设置有集电环26，第一电连接端29在盘管20一端，第二电连接端28具有外电连接端30，以外接电路；
46.外接水路包括串联的水泵31及制冷机32，在水流回路上设置有温度计33；在盘管20上滑动套有调节滑套24，在调节滑套24与集电环26之间电连接铰接连接部25；拨动杆27用于拨动铰接连接部25，使得调节滑套24在盘管20上滑动升降实现一个导程距离变化，实现电阻值的微调，通过调节旋转托架23高度，实现多导程的调整。使通过被测器件的电流波形的导通角大于170度。
47.盘管可以是螺旋（如图10为下一步改进需要保护的方案）、蛇道或其他迂回结构，材质可以为铝、铜等材料，优选为304不锈钢。绝缘冷却介质可以是油液、气流、乙醇等，但是优先为纯水或去离子水，盘管的水路外接有制冷机与水泵，从而实现水流的循环以及与温控，采用纯水或去离子水为媒介，避免结垢与耐腐蚀。螺旋管可以产生电磁效应，实现对水的磁化，减少结垢。
48.主电流调节器111输出端通过主电流二极管d11，2cz500/1600v及主电流可控硅q11，3ct500\3000v输出到节点a，以便接入被测器件，进行正常测量。
49.在对被测器件的导通电压进行测试时，当被测器件为二极管，将二极管的阳极接主电流电路正极，即节点a，二极管的阴极接主电流电路负极，即节点k。当被测器件为晶闸管，将晶闸管的阳极接主电流电路正极a，晶闸管的阴极接主电流电路负极k，晶闸管的控制极接主电流电路的控制极g。
50.由于主电流可控硅q11需要触发信号才能导通，因此为了给主电流可控硅q11提供触发电压和电流，主电流电路110中包含第一触发电路112,用于同步触发主电流可控硅q11的通断，调整电流大小。利用主电流可控硅q11导通时的同相位半波取出同步触发信号，对主电流可控硅q11进行同步触发，也就是在正半波时可控硅导通，负半波时可控硅阻断，这样在主电流负半波加高压时，可控硅阻断，起到隔离作用，防止高压变压器和二极形成回路造成短路。
51.在主电流测试时，市电通过电源开关险丝bz到大功率的主电流调压器t10，再经过
大功率降压的主电流隔离变压器tc11隔离，主电流隔离变压器tc11的次级输出低电压大电流电源，再经大功率的主电流二极管d11及大功率单向主电流可控硅q11，将大功率降压变压器输出进行半波整流，经被测器件及负载电阻r11-r16产生主电流。
52.主电流的作用如下，
53.a，测试器件的均值压降和峰值压降(此时不加反向电压)，当通过规定的电流时，被器测件产生半波压降，通过电压表测试其均值压降大小，通过示波器观察其压降波形，可通过对应的比较电压电位器，使比较电压和电压波形的峰值呈一水平线，通过电压表读取其峰值压降；
54.b，在测试vf(热)时，通主电流使得被测器件温升并加热，用温度探头测被测器件壳温，通过示波器和电压表来读取vf（热丿；
55.c,在浪涌测试时进行基础比较波形；
56.d，对被测器件加规定的主电流，再加规定的反向（可控硅正反都可以）电压进行全动态测试。
57.浪涌测试电路120大致架构与主电流电路基本相同，包括浪涌电流调节器121、脉冲计数定时模块123、第二触发电路122、第二风冷模块d2，主电流调节器121能够根据被测器件的额定值，调节主电路输出浪涌电流的大小。第二风冷模块d2用于对大功率二极管和可控硅散热器进行散热。
58.浪涌可靠性是器件可靠性指标的一种，是指器件可承受浪涌电流的能力，浪涌电流是指电源接通瞬间或在电路出现异常情况下产生的远大于稳态电流的峰值电流或过载电流（尖脉冲干扰）。器件可能在浪涌的一瞬间烧坏，发生pn结击穿，因此浪涌测试的目的就是测试功率半导体能承受的最大浪涌电流，以及在浪涌电流下显现出的特性变化。
59.在浪涌电流测试时，市电通过电源开关险丝bl到大功率的主电流调压器t20，再经过大功率降压的主电流变压器tc12隔离，主电流变压器tc12的次级输出低电压大电流电源，再经大功率的主电流二极管d12及大功率单向主电流可控硅q12，将大功率降压变压器输出进行半波整流，经被测器件及负载电阻r21-r26产生浪涌电流。
[0060] 浪涌电流调节器121后接有浪涌电流隔离变压器tc12,输出为60v/600a，在浪涌电流变压器tc12初级线圈上接有交流电压表y12，以显示输入电压参数，便于操作，判断主电流调压器t20的位置。浪涌变压器tc12的次级线圈输出端通过串联的浪涌二极管d12， 2cz800/1600v及由第二触发电路122控制启闭且作为浪涌的电子开关的浪涌可控硅q12，3ct800/3000v后接入输出节点a。
[0061]
控制模块150利用降压变压器降压，通过比较器与比较电压比较，产生与电网正弦波同步的电子开关信号，将器件的主电流波形，浪涌波形，浪涌比较的波形通过电子开关和波段开关切换，将测量波形呈现在示波器上。
[0062]
电源经变压器tc51降压后，整流滤波由u541稳压得到一个5v的稳压电源，5v电源给运算放大器u52、比较器u51和电子开关集成电路u54供电。通过r59 可调电位器r58 分压得到一个偏置电压，又通过r511和可调电位器r510分压取得vf(热)vtm的比较电压，这个比较电压的大小可以经510调节，变压器tc51次级抽头的电压由r51、r52分压加到比较器u51的2脚，r58及r59分压得到的偏置电压加到比较器u51的3脚，这样在比较器u51的1脚输出一个与变压器tc51次级交流同相位的矩形脉冲，其脉冲宽度可以通过r58调节，这个脉冲经
u52跟随驱动加到电子开关u54的6脚，控制u54内部电子开关动作。
[0063]
当u54内部电子开关动作时，输出端脚1与脚8导通；其信号从脚1输出；u54的脚1接跟随器u56输入端，跟随器u56输出端通过波段开关sb52、sb53接示波器；节点a、k分别通过对应的继电器jg4将被测器件两端的电压信号经u53跟随加到u54的2脚，1 脚为电子开关u54的开关信号输出公共端；电子开关u54便将8脚和2脚的信号经电子开关转换，由1脚输出经电子开关u54跟随经波段开关sb52送到示波器，以显示被测两端的电压波形。
[0064]
浪涌电流电路120还包括接在浪涌电流回路上的波段开关，对应接200a、100a、50a、20a、5a、1a的浪涌电流换挡开关。浪涌回路包括多个可调的负载电阻r122，通过串接阻值依次增大的负载电阻，实现电流的逐级对应减少输出，优选六个，主电流负载电阻r122包括第一电阻r21、第二电阻r22、第三电阻r23 、第四电阻r24、第五电阻r25、第六电阻r26，浪涌电流通过a、k端，接入被测器件；
[0065]
5v电源经 r63 电位器w64分压，由w64调节可以取得一个浪涌的比较电压，这个比较电压主要是用来设定浪涌电流和主电流之间的倍数，使浪涌波形的高度与设定的比较电压持平。这个比较电压经u63隔离跟随加到u59的8脚。
[0066]
①②
两个接点并在分流器两端，两端是1-200a各档的分流器上的主电流和浪涌电流信号，这个信号经u61隔离跟随加到电子开关u59的2脚，1脚为公共开关信号输出端，这样电子开关便将8脚的比较电压信号和2脚的分流器上的电压信号经u62跟随缓冲经波段开关sb52、sb54送到示波器，这样分流器上的主电流、浪涌电流信号和浪涌比较信号便显示在示波器上。
[0067]
浪涌的开关信号采用外接的单片机plc，单片机plc获取与电流相位相同的触发脉冲，触发可控硅导通产生浪涌。浪涌信号从各档分流器两端取得，经波段转换开关到电位器。由电位器调节，并送到功能转换及电子开关，经电子开关转换到示波器显示浪涌波形。
[0068]
脉冲计数定时模块123包括定时模块与计数模块，用于控制浪涌的次数和浪涌的时间间隔，其浪涌的次数由计数器根据需求设定，浪涌时间间隔由循环定时器根据需求设定，当实验达到设定的浪涌次数时，设备自动停止工作在示波器上可以观察浪涌波形。浪涌的电流相位和主电流相位为同相位，浪涌通过浪涌可控硅q12、脉冲计数定时模块123进行控制。
[0069]
波段开关配有6个电流档位，分别对应各不同电流档位的分流器。
[0070]
在浪涌测试时，一方面可单独进行浪涌冲击，而不加主电流和反向电压；第二可以加主电流和浪涌，而不加反向电压；第三可以将主电流，浪涌，反向电压全加，进行全动态波涌测试。本实用新型可以单独进行浪涌测试，对被测器件进行单独浪涌冲击测试；半动态浪涌测试，在被测器件施加主电流时加浪涌测试；全动态浪涌测试，对被测器件同时施加主电流、(正)反高电压时，加浪涌测试，(正)反高电压的相位与浪涌主电流相反)。
[0071]
在被测器件半波导通阶段接通浪涌测试电路，通过浪涌电流调节器将浪涌电流的大小调整为主电流的预定倍数，接通高压电源，将极性切换模块的极性切换为反向，基于预先设置的浪涌脉冲数量和浪涌脉冲时间间隔对被测器件进行浪涌测试。
[0072]
控制模块150包括高压单刀双掷开关sb4-1 , 一端给高压电路130供电，另一端给热敏测试电路140供电，当导通或断路高压时，热敏电压断路或导通，以进行切换导通，避免双联，避免测试时相互影响，防止误操作，损坏电路。
[0073]
控制模块150利用降压变压器降压，通过比较器与比较电压比较，产生与电网正弦波同步的电子开关信号，将器件的压降波形，主电流波形，浪涌波形，热敏电压波形，热敏比较，浪涌比较的波形通过电子开关和波段开关切换，将测量波形呈现在示波器上。
[0074]
控制模块150还电连接有plc、mcu等处理器，以便进行数据处理。
[0075]
图2-4所示实施例，控制模块150，用于功能转换与波形显示模块，包括第一控制单元及浪涌控制单元。第一控制单元包括第一电压比较电路、热敏比较电路、第一电子开关；用于控制热敏压降vf、均值压降vt及峰值压降vtm、vf (热)的功能转换、测试、示波显示及电压读取。浪涌控制单元包括浪涌比较电路及第二电子开关，用于控制浪涌的转换和浪涌示波显示。
[0076]
在第一控制单元中，电源输入两路，一路输出给第一电压比较电路，另一路输出给热敏比较电路，第一电压比较电路通过触发第一电子开关，实现对热敏比较电路的通断控制，实现主电流电路110、热敏测试电路140与第一电压比较电路的同步切换，并显示在数字表、示波器上。
[0077]
如图3-4，第一电压比较电路，包括比较器u51及运算放大器u52及可调电阻r58，可调电阻r58用于调整对应第一电子开关u54的占空比；
[0078]
当进行vtvtmvfvf(热)测试时，电源经变压器tc51降压整流滤波由u54稳压得到一个5v的稳压电源，5v电源给运算放大器u52，比较器u51和电子开关集成电路u54供电。通过r59 可调电位器r58 分压得到一个偏置电压，又通过r511和可调电位器r510分压取得vf(热)vtm的比较电压，这个比较电压的大小可以经510调节，变压器tc51次级抽头的电压由r51、r52分压加到比较器u51的2脚，r58及r59分压得到的偏置电压加到比较器u51的3脚，这样在比较器u51的1脚输出一个与变压器tc51次级交流同相位的矩形脉冲，其脉冲宽度可以通过r58调节，这个脉冲经u52跟随驱动加到电子开关u54的6脚，控制u54内部电子开关动作。
[0079]
接点小a和主回路k端实际是接到被测器件两端，这样经继电器触点jg4、电阻r57 将被测器件两端的电压信号经u53 跟随加到电子开关u54的2脚，1脚为电子开关u54的开关信号输出公共端，这样电子开关u54便将8脚和2脚的信号经电子开关转换，由1脚输出经u54跟随经波段开关sb52送到示波器，这样被测两端的电压波形便显示在示波器上。波段开关sb51为vf vt和vtm vf(热）功能测试转换当打到vfvt时，被测器件两端的电压经sb51 、sb61 加到数字电压表上，此时可以通过数字表读取被测器件的vf和vt。当打到vtmvf（热）时，比较电压便加到数字表上，调节比较电压电位器v510，观察示波器上的波形，使比较电压波形与压降波形峰值在同一水平线上或与vf(热)的波形呈一水平线，此时数字表的电压便是vtmvf（热）。
[0080]
sb52、 sb54、 sb61、sb62为四刀双掷波段开关用于热敏压降与浪涌的测试功能转换。jg4为高压隔离继电器，当进行高压测试时，jg4断开避免高压对该部分电路造成影响。
[0081]
当对被测器件进行浪涌测试时，控制模块150可以控制主电流电路、浪涌测试电路和高压电路依次导通，以便基于预先设置的浪涌脉冲数量和浪涌脉冲时间间隔对被测器件进行浪涌测试；当对被测器件进行热敏测试时，控制模块150可以控制热敏测试电路导通，通过调节热敏电流的大小以及被测器件被加热的温度，测试不同温度下热敏电流对应的热敏电压；当对被测器件进行全动态测试时，控制模块150可以控制主电流电路和高压电路依
次导通，以便测试被测器件的正反向峰值电压和正反向漏电流。其中，全动态测试时在一个工频半周期内对被测器件施加半波电流，电流的平均值由器件的额定电流值决定，而在另一个半周期内施加正向或反向的正弦半波阻断电压，测量器件的动态阻断伏安特性。全动态测试的指标主要包括平均电流、平均压降、正反向不重复峰值电压、正反向峰值漏电流等。
[0082]
该方法001始于s010，将被测器件的阳极和阴极分别连接在主电流电路的正接线端和负接线端，调节主电流的大小使被测器件导通，测量得到被测器件的正向峰值电压和平均压降。
[0083]
随后执行s020，将高压电路的极性切换模块切换为反向，通过高压调节器调节高压电源的输出电压，测量得到被测器件的反向电压和反向漏电流。
[0084]
接着执行s030，将待测器件串联后连接到加热模块，通过加热模块将被测器件分别加热到不同的温度，通过热敏电流调节器调节热敏电流的大小，测试不同温度下热敏电流对应的热敏电压。
[0085]
在本实用新型的一个实施例中，可以根据被测器件最低加热温度对应的热敏电压和结温稳定温度对应的热敏电压，计算温升；然后，基于温升和最低加热温度，计算得到被测器件的最高结温。
[0086]
最后执行s040，在被测器件半波导通阶段接通浪涌测试电路，通过浪涌电流调节器将浪涌电流的大小调整为主电流的预定倍数，接通高压电源，将极性切换模块的极性切换为反向，基于预先设置的浪涌脉冲次数和浪涌脉冲时间间隔对被测器件进行浪涌测试。
[0087]
需要说明的是，上述步骤可以根据实际需要调整测试顺序，可通过示波器观察主电流波形、峰值电压波形和浪涌波形，以确保在测试前主电路回路和浪涌测试回路正常导通。
[0088]
根据本实用新型方案，通过控制不同测试电路的导通或关断，能够在被测器件的半波导通阶段同时对被测器件进行热敏、浪涌和全动态参数测试，各测试电路既可组合也可独立使用，提高了器件测试的效率；可根据被测器件的额定参数值调节各测试电路输出电压或电流大小，能够适应功率半导体器件高压、耐高温、高开关频率的特性，能够提高器件测试的准确性。
[0089]
本实用新型充分描述是为了更加清楚的公开，而对于现有技术就不再一一列举。
[0090]
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；作为本领域技术人员对本实用新型的多个技术方案进行组合是显而易见的。而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型实施例技术方案的精神和范围。本实用新型未详尽描述的技术内容均为公知技术。