流量传感器模块及流量计的制作方法

本技术涉及流量检测，特别涉及一种流量传感器模块及流量计。

背景技术：

1、流量计能够用于气体或液体的流量检测，已被广泛应用于各领域，例如，环境监测、医疗卫生、安全防护等。

2、但是，随着使用时间的增加，流体中夹杂的灰尘等杂质容易在流量计的传感器单元的感测区域表面累积，从而导致传感器单元的敏感度降低。若无法对传感器单元进行及时的清洁或更换，便会导致流量计的测量精度降低。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对上述问题，提供一种方便维护，以保持较高测量精度的流量传感器模块及流量计。

2、一种流量传感器模块，其特征在于，包括：

3、主体，所述主体内形成有供流体通过的流体流道；

4、传感器单元，设置于所述主体内，所述传感器单元的感测区域至少部分暴露于所述流体流道或构成所述流体流道的内壁的一部分；及

5、检测电极，设置于所述主体内，所述检测电极暴露于所述流体流道内并位于所述传感器单元的上游侧和/或下游侧；

6、其中，所述检测电极具有第一焊盘及第二焊盘，所述检测电极上形成有间隙结构，以使所述第一焊盘与所述第二焊盘之间不导通。

7、在其中一个实施例中，所述传感器单元包括加热单元、位于所述加热单元的上游侧的第一温度感应单元及位于所述加热单元的下游侧的第二温度感应单元。

8、在其中一个实施例中，所述主体内形成有与所述流体流道连通的检测槽，所述检测电极位于所述检测槽内。

9、在其中一个实施例中，所述检测槽具有安装区域及集尘区域，所述安装区域位于所述检测槽靠近所述传感器单元的一侧，所述集尘区域位于所述检测槽远离所述传感器单元的一侧，所述检测电极分布于所述安装区域。

10、在其中一个实施例中，所述间隙结构包括多个相互平行并沿预设方向延伸的狭缝。

11、在其中一个实施例中，所述检测电极包括第一电极结构及第二电极结构，所述第一焊盘及所述第二焊盘分别设置于所述第一电极结构及所述第二电极结构上，所述间隙结构包括形成于所述第一电极结构与所述第二电极结构之间的多个相互平行并沿预设方向延伸的狭缝。

12、在其中一个实施例中，所述主体内形成有与所述流体流道连通的集尘槽，所述集尘槽位于所述检测电极的上游侧。

13、在其中一个实施例中，所述集尘槽的底部设置有吸附电极，所述吸附电极能够通电产生静电。

14、在其中一个实施例中，所述主体上设置有第一通道及第二通道，所述第一通道及所述第二通道分别与所述流体流道的两端连通，并垂直于所述流体流道，所述集尘槽位于所述第一通道和/或所述第二通道与所述流体流道的连接处。

15、在其中一个实施例中，所述主体内形成有与所述流体流道相邻的空腔，所述传感器单元设于所述流体流道与所述空腔之间。

16、一种流量计，包括如上述优选实施例中任一项所述的流量传感器模块及封装结构，所述封装结构用于封装所述流量传感器模块。

17、上述流量传感器模块及流量计，在对流体进行流体特性检测时，流体沿流体流道流动，并由传感器单元进行检测。在使用过程中，杂质将同时在检测电极及传感器单元的感测区域上累积。而随着杂质在检测电极上累积，检测电极的间隙结构将发生变化，从而导致检测电极的电阻或电容等电性参数发生变化。因此，通过对第一焊盘与第二焊盘之间的电性参数进行检测，便可得到杂质在检测电极上的累积程度，从而得到杂质在传感器单元的感测区域上的累积程度，从而当杂质在传感器单元的感测区域累积的程度影响测量精度时，能够及时提示对传感器单元进行清洁或更换，以保持较高测量精度。

技术特征：

1.一种流量传感器模块，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的流量传感器模块，其特征在于，所述传感器单元包括加热单元、位于所述加热单元的上游侧的第一温度感应单元及位于所述加热单元的下游侧的第二温度感应单元。

3.根据权利要求1所述的流量传感器模块，其特征在于，所述主体内形成有与所述流体流道连通的检测槽，所述检测电极位于所述检测槽内。

4.根据权利要求3所述的流量传感器模块，其特征在于，所述检测槽具有安装区域及集尘区域，所述安装区域位于所述检测槽靠近所述传感器单元的一侧，所述集尘区域位于所述检测槽远离所述传感器单元的一侧，所述检测电极分布于所述安装区域。

5.根据权利要求1所述的流量传感器模块，其特征在于，所述检测电极包括第一电极结构及第二电极结构，所述第一焊盘及所述第二焊盘分别设置于所述第一电极结构及所述第二电极结构上，所述间隙结构包括形成于所述第一电极结构与所述第二电极结构之间的多个相互平行并沿预设方向延伸的狭缝。

6.根据权利要求5所述的流量传感器模块，其特征在于，所述第一电极结构包括多个沿所述预设方向延伸的第一齿状电极，所述第二电极结构包括多个所述预设方向延伸的第二齿状电极，多个所述第一齿状电极与多个所述第二齿状电极交错并间隔设置，以在相邻的所述第一齿状电极与所述第二齿状电极之间形成所述狭缝。

7.根据权利要求1所述的流量传感器模块，其特征在于，所述主体内形成有与所述流体流道连通的集尘槽，所述集尘槽位于所述检测电极的上游侧。

8.根据权利要求7所述的流量传感器模块，其特征在于，所述集尘槽的底部设置有吸附电极，所述吸附电极能够通电产生静电。

9.根据权利要求7所述的流量传感器模块，其特征在于，所述主体上设置有第一通道及第二通道，所述第一通道及所述第二通道分别与所述流体流道的两端连通，并垂直于所述流体流道，所述集尘槽位于所述第一通道和/或所述第二通道与所述流体流道的连接处。

10.根据权利要求1至9任一项所述的流量传感器模块，其特征在于，所述主体内形成有与所述流体流道相邻的空腔，所述传感器单元设于所述流体流道与所述空腔之间。

11.一种流量计，其特征在于，包括如上述权利要求1至10任一项所述的流量传感器模块及封装结构，所述封装结构用于封装所述流量传感器模块。

技术总结
本技术涉及一种流量传感器模块及流量计，流量传感器模块包括主体、传感器单元及检测电极，检测电极包括具有第一焊盘及第二焊盘，检测电极上形成有间隙结构，以使第一焊盘与第二焊盘之间不导通。在使用过程中，杂质将同时在检测电极及传感器单元的感测区域上累积。而随着杂质在检测电极上累积，间隙结构将发生变化，从而导致检测电极的电阻或电容等电性参数发生变化。因此，通过对第一焊盘与第二焊盘之间的电性参数进行检测，便可得到杂质在检测电极及传感器单元的感应区域的累积程度，从而当杂质在传感器单元的感测区域累积的程度影响测量精度时，能够及时提示对传感器单元进行清洁或更换，以保持较高测量精度。

技术研发人员：安兴,罗英哲,颜培力,李嗣晗,王安康
受保护的技术使用者：上海矽睿科技股份有限公司
技术研发日：20221226
技术公布日：2024/1/12