LED卡盘的制作方法

本发明涉及led卡盘。

背景技术：

1、作为检查电子器件的电子器件检查装置，已知有为了加热电子器件而利用led照射光的电子器件检查装置(例如，专利文献1)。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2018-151369号公报

技术实现思路

1、发明要解决的技术问题

2、在本发明中，提供一种抑制在使led照射时产生的噪声向外部辐射的技术。

3、用于解决技术问题的技术方案

4、依照本发明的一个方式，提供一种led卡盘，其包括：载置被检查体的顶板；led阵列电路板，其与上述被检查体相对地配置，设置有对载置于上述顶板的被检查体进行加热的多个led；配置在上述led阵列电路板的背面侧的冷却板；led控制电路板，其配置在上述冷却板的背面侧，控制上述多个led；和以包围上述led控制电路板的方式配置的底板，上述冷却板的与上述led控制电路板相对的面和上述底板的与上述led控制电路板相对的面由磁性体材料构成。

5、发明效果

6、在本发明中，提供一种抑制在使led照射时产生的噪声向外部辐射的技术。

技术特征：

1.一种led卡盘，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的led卡盘，其特征在于：

3.如权利要求2所述的led卡盘，其特征在于：

4.如权利要求1至3中任一项所述的led卡盘，其特征在于：

5.如权利要求4所述的led卡盘，其特征在于：

6.如权利要求1至5中任一项所述的led卡盘，其特征在于：

7.如权利要求1至6中任一项所述的led卡盘，其特征在于：

8.如权利要求1至7中任一项所述的led卡盘，其特征在于：

9.如权利要求1至8中任一项所述的led卡盘，其特征在于：

技术总结
本发明的LED卡盘包括：载置被检查体的顶板；LED阵列电路板，其与上述被检查体相对地配置，设置有对载置于上述顶板的被检查体进行加热的多个LED；配置在上述LED阵列电路板的背面侧的冷却板；LED控制电路板，其配置在上述冷却板的背面侧，控制上述多个LED；和以包围上述LED控制电路板的方式配置的底板，上述冷却板的与上述LED控制电路板相对的面和上述底板的与上述LED控制电路板相对的面由磁性体材料构成。

技术研发人员：糠信知基,中山博之,河西繁,森藤庆之,小林大
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16