本发明涉及测定带电物体放电时的放电电荷量的放电电荷量测定装置。
背景技术:
1、以往,已知测定从带静电的物体发生了放电时的电荷量的装置。
2、例如,如图4所示的放电电荷量测定装置具备电压测定部4,该电压测定部4将电容器3串联地连接到临近带电物体1的检测端子2,并测定电容器3的端子3a、3b间的电压,将该电压测定部4检测到的电压通过未图示的转换部件转换为电荷量。在这样的测定装置中,当使检测端子2的前端2a接近带电物体1时,前端2a和带电物体1之间的电场变大,当该电场超过放电开始电场强度时,发生从带电物体1向检测端子2的放电。
3、通过该放电而从带电物体1流向检测端子2侧的电荷被充电到电容器3。通过测定电容器3的端子3a、3b间的电压v来检测该充电电荷量。具体地,对被检测的端子间电压乘以电容器3的静电容量,计算放电电荷量。
4、现有技术文献
5、专利文献
6、专利文献1:日本特开2007-212208号公报
技术实现思路
1、发明要解决的课题
2、上述测定装置在使检测端子2的前端2a接近带电物体1的过程中,通过带电物体1的电荷在电容器3发生感应电压。
3、例如,在带电物体1带正电的情况下,当前端2a接近带电物体1时,检测端子2内的负电荷被带电物体1的正电荷吸引。从而,正的电荷被感应到电容器3的一方的端子3a侧。因此,在电容器3的端子3a、3b间发生正的感应电压。
4、这样,即使来自带电物体1的放电未发生,也导致在电容器3的端子3a、3b间发生感应电压。因此,在实际发生了放电时的、由放电电荷量发生的电容器的端子3a、3b间的电压受到上述感应电压的影响,其结果,无法正确地测定放电电荷量。
5、本发明的目的在于提供能够正确地、简单地测定测定对象物的放电电荷量的放电电荷量测定装置。
6、用于解决课题的手段
7、在第一发明中,具备:检测端子,使与静电带电的测定对象物接触;电容器,一个端子被与所述检测端子连接,且另一个端子被接地;电阻体,被并联连接于所述电容器;电压测定单元,测定所述电容器的端子间电压;峰值检测单元,检测由所述电压测定单元测定到的电压值的峰值;以及转换部件,将由所述峰值检测单元检测到的所述峰值转换为电荷量,所述峰值检测单元具备如下的功能:按预先设定的每个采样时间δt对由所述电压测定单元测定到的端子间电压进行采样,将采样到的电压值的最高值确定为峰值,所述电容器的静电容量c、所述电阻体的电阻值r、以及所述采样时间δt分别在满足c×r>δt的范围内被设定。
8、在第二发明中,具备:检测端子,使与静电带电的测定对象物接触;电容器,一个端子被与所述检测端子连接,且另一个端子被接地;电阻体,被并联连接于所述电容器;电压测定单元,测定所述电容器的端子间电压;转换部件,将由所述电压测定单元测定到的电压值转换为电荷量;以及峰值检测单元,检测由所述转换部件所转换的电荷量的峰值,所述峰值检测单元具备如下的功能:按预先设定的每个采样时间δt对由所述转换部件所转换的电荷量进行采样,将采样到的电荷量的最高值确定为峰值,所述电容器的静电容量c、所述电阻体的电阻值r、以及所述采样时间δt分别在满足c·r>δt的范围内被设定。
9、在第三发明中,所述静电容量c、所述电阻值r以及所述采样时间δt满足c·r≥50×δt。
10、在第四发明中,上述静电容量c以及上述电阻值r是β≥c×r,上述β是10-3[秒]≤β≤1[秒]。
11、发明效果
12、根据第一、第二发明,在将检测端子接近带电物体的过程中被感应的电荷能够经由电阻体向接地(earth)逃逸,能够防止由放电发生的电容器的端子间电压受到感应电压的影响。进而,通过电容器的端子间电压的衰减时间常数成为比采样时间δt大,从而设定电容器的静电容量c以及电阻体的电阻值r,因此能够更准确地确定电容器的端子间电压的峰值。其结果,能够正确地测定在电容器中被积蓄的电荷量。
13、根据第三发明,能够更准确地检测电压的峰值,能够正确地测定放电电荷量。
14、根据第四发明,在电容器中被积蓄的电荷快速衰减,能够进行连续的测定。
1.一种放电电荷量测定装置,具备:
2.一种放电电荷量测定装置,具备:
3.如权利要求1或权利要求2所述的放电电荷量测定装置,其中,
4.如权利要求1至权利要求3中任一项所述的放电电荷力测定装置,其中,