1.一种基于白光共焦原理的高精度检测装置，其特征在于，包括：
2.一种基于白光共焦原理的高精度检测方法，其特征在于，包括：
3.根据权利要求2所述的高精度检测方法，其特征在于，在控制所述测量探头的所述第一运动控制基准点从所述第三测量路径的第一端点运动到所述第三测量路径的第二端点以通过所述共焦测量光束测量所述第一表面的第一距离的步骤之前，还包括：
4.根据权利要求3所述的高精度检测方法，其特征在于，控制所述测量探头的所述第一运动控制基准点从所述第三测量路径的第一端点运动到所述第三测量路径的第二端点以通过所述共焦测量光束测量所述第一表面的第一距离的步骤具体包括：
5.根据权利要求3所述的高精度检测方法，其特征在于，基于所述第二曲线函数控制所述测量探头的所述第一运动控制基准点从所述第三测量路径的第二端点运动到所述第三测量路径的第一端点以测量通过所述共焦测量光束所述第二表面的第二距离的步骤具体包括：
6.根据权利要求3所述的高精度检测方法，其特征在于，基于所述第一曲线函数控制所述测量探头的光轴实时垂直于所述第一表面的步骤具体包括：
7.根据权利要求3所述的高精度检测方法，其特征在于，基于所述第二曲线函数控制所述测量探头的光轴实时垂直于所述第二表面的步骤具体包括：
8.根据权利要求2所述的高精度检测方法，其特征在于，根据所述第一距离和所述第二距离计算所述第一表面和所述第二表面之间的厚度的步骤具体包括：
9.根据权利要求8所述的高精度检测方法，其特征在于，根据所述第一目标测量点在所述第四曲线函数上确定第二目标测量点的步骤具体包括：
10.根据权利要求9所述的高精度检测方法，其特征在于，在判断所述第一直线是否与所述第四曲线在所述第一交点处的切线垂直的步骤之后还包括：