一种面向半导体的高速微米级全自动视觉检测机的制作方法

文档序号:35193428发布日期:2023-08-21 11:20阅读:30来源:国知局
一种面向半导体的高速微米级全自动视觉检测机的制作方法

本发明涉及视觉检测机,具体为一种面向半导体的高速微米级全自动视觉检测机。


背景技术:

1、视觉检测就是用机器代替人眼来做测量和判断,视觉检测是指通过机器视觉产品将被摄取目标转换成图像信号,传送给专用的图像处理系统,根据像素分布和亮度、颜色等信息,转变成数字化信号,图像系统对这些信号进行各种运算来抽取目标的特征,进而根据判别的结果来控制现场的设备动作,是用于生产、装配或包装的有价值的机制,它在检测缺陷和防止缺陷产品被配送到消费者的功能方面具有不可估量的价值。

2、1、专利文件cn206074464u公开了一种视觉检测机,“包括工作台,还包括机体组件、检测组件、吸取组件和运输组件;所述的机体组件位于工作台上,位于所述的检测组件、吸取组件和运输组件的外围;所述的检测组件和抓取组件位于所述的机体组件内,与所述的机体组件固定连接;所述的运输组件位于所述的检测组件和吸取组件下方,与所述的机体组件固定连接。本实用新型提供的一种视觉检测机使得自动视觉检测机最大的程度代替原有手动员工在放大镜下的外观检查,提高生产效率,大大降低对员工的依赖性,减少了因员工手接触产片而产生的污染,大大提高了不良的检出率,提高了产品的品质”,现有的高速微米级全自动视觉检测机在使用过程中,需要保证其检测的全面性,以防止在对半导体进行拍照检测时,多数情况下只对半导体一面进行拍摄检测,容易导致检测效率低,拍摄不够全面的技术问题;

3、2、专利文件cn111855673a公开了一种半导体视觉检测装置,“包括底板,底板内设有插槽,底板的上端接触连接有立柱,立柱的下端设有插块,插块通过插槽滑动连接有底板,立柱内设有第一空腔,第一空腔内设有电动伸缩杆,立柱内设有第二空腔,电动伸缩杆的上端穿入第二空腔与滑块接触连接,滑块的外侧滑动连接于第二空腔内。该装置可以电机带动螺纹杆转动,使得螺纹杆带动与其螺纹连接的内螺纹块移动,带动视觉检测装置进行左右移动,方便对物品进行有效的检测;该装置可以通过电动伸缩杆推动滑块在第二空腔内滑动,直到滑杆带动固定框移动到合适的位置,方便对不同高度的物品进行检测,使用简单方便”,现有的高速微米级全自动视觉检测机在使用过程中,需要保证其输送灵活性,以防止在进行视觉检测后,所检测出的不同质量的半导体会在同一道传动带上进行输送,容易出现混料的技术问题;

4、3、专利文件cn212083256u公开了视觉检测机,“包括:机座;装载组件,包括支撑座、装载架以及旋转驱动装置,支撑座连接于机座,装载架可转动地设置于支撑座,旋转驱动装置与装载架连接,旋转驱动装置用于驱动装载架转动;视觉检测装置,包括拍摄组件,拍摄组件上设置有摄像头,拍摄组件连接于机座;移动装置,设置于机座,移动装置用于使拍摄组件和支撑座产生相对移动以使摄像头能依次拍摄连接器组件上的连接器。上述的视觉检测机,能够提高连接器组件的检测效率和降低检测的劳动强度”,现有的高速微米级全自动视觉检测机在使用过程中,需要保证微米级视觉检测装置的拍摄效果,以防止外部空气中飘浮的空气颗粒和光线不够明亮等原因,而造成拍摄效果降低的技术问题;

5、4、专利文件cn115236089a公开了一种半导体切割装置视觉检测机,“包括检测机本体和传送带;检测机本体内部开设有检测通道,且传送带贯穿检测通道;检测机本体内部安装有视觉摄像头;检测机本体内部转动连接有安装筒;安装筒外侧设有海绵圈;传送带表面均匀放置有一组硅片;通过在检测机本体内部设置安装筒和海绵圈,第二电动机驱动安装筒和海绵圈转动,当传送带将硅片运送至检测机本体内部后,硅片到达海绵圈的位置时,海绵圈能够在硅片表面滚压,从而海绵圈将硅片表面的切削液吸收,起到清理切削液的作用,之后视觉摄像头再对硅片进行检测,避免切削液导致检测精度下降的问题”,现有的高速微米级全自动视觉检测机在使用过程中,需要保证其便于进行检测维修,以防止在使用过程中,其内部存在零部件出现损坏时,难以快速地将装置打开进行检测的技术问题。


技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种面向半导体的高速微米级全自动视觉检测机,以解决上述背景技术中提出的防止在对半导体进行拍照检测时,多数情况下只对半导体一面进行拍摄检测,容易导致检测效率低,拍摄不够全面的技术问题。

2、为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种面向半导体的高速微米级全自动视觉检测机,包括安装板、机体和箱门,所述机体的内壁安装有安装板,所述机体的正面通过铰链安装有箱门;

3、所述安装板一侧开设有第一滑槽,所述第一滑槽的内壁安装有第一滑块,所述第一滑块的一端安装有第一伸缩缸,所述第一伸缩缸的一端安装有第一电机,所述第一电机的输出端安装有第二伸缩缸,所述第二伸缩缸的底部安装有第二电机;

4、所述第二电机的输出端安装有转动盘,所述转动盘的底部安装有吸气泵,所述吸气泵的输出端安装有吸盘。

5、优选的,所述机体一侧的底部开设有进料口,进料口的内壁安装有第一输送架,第一输送架内壁的一端安装有第一从动辊,第一从动辊的外壁安装有第一传动带,第一传动带内壁的另一端安装有第一主动辊,第一主动辊的一端安装有第三电机,且第三电机的一端安装于第一输送架正面的尾端,机体背面安装有第七电机,第七电机的输出端安装有螺纹杆,且螺纹杆的一端螺纹贯穿第一滑块安装于第一滑槽的内壁。

6、优选的,所述箱门正面的一侧安装有显示触控屏组件,箱门正面一侧的底部安装有若干个控制按钮组件,箱门正面的另一侧开设有一组第一限制槽,第一限制槽的内壁安装有移动把手。

7、优选的,所述转动盘一面开设有一组第二滑槽,第二滑槽的内壁均安装有第二滑块,第二滑块的一侧均螺纹贯穿安装有双向丝杆,双向丝杆的一端安装有第四电机,且第四电机的一端安装于转动盘的外壁。

8、优选的,所述第二滑块的一端均安装有第三伸缩缸,第三伸缩缸的输出端安装有第一连接块,第一连接块的外壁安装有第一夹持盘,第一夹持盘的一面安装有第一夹持软垫,另一组第三伸缩缸的输出端安装有第五电机,第五电机的输出端安装有第二夹持盘,第二夹持盘的一面那户脏有第二夹持软垫。

9、优选的,所述机体的内顶壁安装有视觉检测仓,视觉检测仓的内壁安装有若干个微米级视觉检测装置,微米级视觉检测装置的一端的外侧均安装有若干个照明灯。

10、优选的,所述机体另一侧的底部开设有出料口,出料口的内壁安装有第二输送架,第二输送架设置有三组输送通道,输送通道内壁的一端安装有第二从动轮,第二从动轮的外壁均安装有第二传动带,第二传动带内壁的另一端安装有第二主动辊,第二主动辊的一端安装有第六电机,且第六电机的一端安装于第二输送架正面的前端,第二输送架底部的前端安装有收集箱,收集箱的内壁安装有一组分隔板。

11、优选的,所述箱门的一侧开设有第二限制槽,第二限制槽的内壁安装有压力弹簧,压力弹簧的一端安装有限制块,限制块外壁的前端安装有限制孔,且限制孔开设于机体的内壁,限制块的另一端安装有连接杆,且连接杆的另一端安装于移动把手的一端。

12、与现有技术相比,本发明的有益效果是:

13、1.本发明通过第二伸缩缸带动转动盘、吸气泵和吸盘移动到半导体的顶部,对第一传动带上的半导体进行吸附,第一电机带动第二伸缩缸旋转180度,再通过第二伸缩缸将吸盘和半导体移动到视觉检测仓内,通过五个方位的微米级视觉检测装置能够对半导体进行拍照检测,第二电机能够带动转动盘、吸盘和半导体旋转,再通过第三伸缩缸带动第一夹持盘和第二夹持盘向上移动到半导体的高度,第四电机带动第二滑块在第二滑槽内移动,进而带动第一夹持盘和第二夹持盘对半导体进行夹持,通过第五电机带动第一夹持盘、第二夹持盘和半导体旋转180度,进而方便微米级视觉检测装置对半导体的底部进行拍照检测,进而能够在高速微米级全自动视觉检测机的使用过程中,保证其检测的全面性;

14、2.本发明通过将半导体放置在第一传动带上,第三电机带动第一主动辊旋转,进而带动第一传动带和半导体移动,移动到规定位置后,吸盘吸附半导体进行检测,检测好后,通过第七电机带动螺纹杆旋转,螺纹杆旋转能够带动第一滑块在第一滑槽内移动,且第一滑块移动能够带动吸盘和半导体移动,第二输送架设置有三组输送通道,分别是良品、瑕疵和不良品三组输送通道,进而能够根据检测的半导体质量,自动的对半导体位置进行放置,最后通过第六电机带动第二传动带和半导体移动到收集箱内进行收集,且收集箱通过分隔板分为三个存储空间;

15、3.本发明通过视觉检测仓和微米级视觉检测装置的设置,有利于在同一时间对半导体的五个方向进行拍照检测,有利于提高其检测效率,视觉检测仓安装于机体的内部,能够避免在进行拍照检测时,存在有空气灰尘的技术问题,通过照明灯的设置,有利于在拍照时提供照明,起到提高检测效果的作用;

16、4.本发明通过显示触控屏组件的设置,有利于对微米级视觉检测装置检测到信息进行显示,通过控制按钮组件,方便对装置进行操作,同时显示触控屏组件还会显示机体内的输送情况,一旦出现问题,通过拉动移动把手带动连接杆和限制块移动,使限制块脱离限制孔的内部,这时便能够将箱门打开,进而方便对机体的内部进行检测维修。

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