一种化成箔正反面腐蚀程度的检测方法与流程

本发明属于电子铝箔制造，特别涉及一种化成箔正反面腐蚀程度的检测方法。

背景技术：

1、目前检测化成箔电容量，检测方法是把箔样使用冲压模具裁切成宽1cm×长5cm的有效面积，在硼酸检测液使用4ma直流电流升压至最高耐压后计时1分钟进行周边修复后取出，然后把面积为5cm2箔样浸泡在五硼酸铵比容液中，使用数字电桥比容仪进行箔样电容量检测，此时检测到的电容量为化成箔正反两面的电容量。当需要分析在腐蚀工序，腐蚀箔正反两面腐蚀均匀程度情况以及腐蚀箔是否存在隧道孔贯穿现象时，使用目前的电容量检测方法检测的结果，尚不能判断腐蚀箔正反两面腐蚀均匀程度情况以及腐蚀箔是否存在隧道孔贯穿现象。

技术实现思路

1、针对现有化成箔正反面腐蚀程度检测方法存在的不足，本发明提供一种化成箔正反面腐蚀程度的检测方法，可以快速有效的判断腐蚀箔正反的腐蚀均匀程度情况以及化成箔是否存在隧道孔贯穿现象。

2、本发明是通过以下技术方案实现的：

3、一种化成箔正反面腐蚀程度的检测方法，包括以下步骤：

4、（1）取化成箔，裁切成同等大小的三份小箔样；

5、（2）将上述三份小箔样分别标记为样1、样2和样3，并标记好每个小样箔的正反面；

6、（3）样1作为对比不做任何处理，样2的正面做绝缘处理，样3的反面做绝缘处理；

7、（4）沿着样1、样2和样3纵向相同的位置裁切出小片箔样，标记为样1-1、样2-1和样3-1；

8、（5）分别检测样1-1、样2-1和样3-1的电容量，然后将样箔的正面电容量与反面电容量进行对比；当误差在允许的范围内，则说明待测化成箔腐蚀均匀，误差明显超过允许的范围时，说明待测化成箔已经出现部分贯穿现象。

9、优选的，所述的样1、样2和样3规格为60cm×50cm。

10、小箔样需要进行电容检测确定其腐蚀程度，后续还要将其留样以方便后续抽查，因此小箔样需要裁剪较大片，便于标记保存且不易丢失。

11、优选的，所述的绝缘处理为使用透明胶布或绝缘胶布贴住小样箔的正面或者反面。

12、优选的，步骤（4）切出的小片箔样规格为1cm×5cm。

13、小片箔样仅用于检测电容量确定腐蚀程度，不需要留样，因此根据试验条件要求裁剪小片即可，便于检测后销毁处理，也利于多次裁剪以用于检测小样箔不同位置的电容量和腐蚀程度。

14、优选的，步骤（4）的裁切位置为样1、样2和样3距离其左边5cm处。

15、化成箔表面的电容量随着腐蚀程度不同而不同，为了减小检测样品的误差，需要从小箔样纵向相同的位置进行裁剪，裁剪出的同等大小小片箔样表面腐蚀程度相近，误差就会缩小，从而测量的结果才更准确。

16、本发明的原理如下：

17、化成箔电容量的检测是把周边修复后的小片箔样浸泡在五硼酸铵比容液中，比容液渗透进入化成箔的孔洞，使用数字电桥比容仪对孔洞内的电量进行检测，比容仪显示的检测结果即为小片箔样的电容量。当检测正常箔样的电容量时，比容液渗透进入箔样的全部孔洞内，电容量检测结果为箔样正反两面的电容量；当检测箔样正面的电容量时，由于箔样反面已经做好绝缘处理，而且化成箔中间有夹心层，此时比容液只能由箔样的正面进入孔洞内，电容量的检测结果为箔样的正面电容量；当检测箔样反面的电容量时，由于箔样正面已经做好绝缘处理，而且化成箔中间有夹心层，此时比容液只能由箔样的反面进行孔洞内，电容量的检测结果为箔样的反面电容量。

18、当箔样正面电容量结果和反面电容量结果接近时，说明腐蚀工序阶段正反两面腐蚀均匀；当箔样正面电容量和反面电容量结果相差较大时，说明腐蚀工序正反两面腐蚀不均匀；当箔样正面电容量和反面电容量之和明显大于正常箔样电容量时，说明腐蚀工序阶段的腐蚀箔隧道孔已经出现部分贯穿现象。

19、本发明的有益效果如下：

20、本发明的检测方法通过对箔样的正反两面电容量以及正常箔样的电容量进行对比，可以快速准确的判断腐蚀箔正反两面腐蚀均匀程度情况以及腐蚀箔是否存在隧道孔贯穿现象，从而可以及时的用于指导腐蚀工艺改进。

21、实施方式

22、下面结合实施例对本发明作进一步说明。

23、实施例

24、本实施例取365vf规格化成箔进行正反面电容量检测，步骤如下：

25、（1）取365vf规格化成箔长60cm×宽50cm，把该化成箔平均裁切成3份长20cm×宽50cm的小箔样。

26、（2）将上述3份小箔样分别编号为样1、样2、样3，且都标识好正面、反面、左右方向。

27、（3）样1为正常检测箔样，不贴透明胶布；样2在反面贴好透明胶布；箔样3在正面贴好透明胶布。

28、（4）按纵向方向依次在样1、样2、样3距离箔样左边5cm处分别使用冲压模具裁切有效面积为1cm×5cm的小片箔样，分别标记为样1-1、样2-1、样3-1。

29、（5）分别检测样1-1、样2-1、样3-1的电容量。

30、（6）分别对比样1-1、样2-1、样3-1的电容量，做好记录。

31、实施例

32、本实施例取590vf规格化成箔进行正反面电容量检测，步骤如下：

33、（1）取590vf规格化成箔长60cm×宽50cm，把该化成箔平均裁切成3份长为20cm×宽为50cm的小箔样。

34、（2）将上述3份小箔样分别编号为样1、样2、样3，且都标识好正面、反面、左右方向。

35、（3）样1为正常检测箔样，不贴透明胶布；样2在反面贴好透明胶布；样3在正面贴好透明胶布。

36、（4）按纵向方向依次在样1、样2、样3距离箔样左边5cm处分别使用冲压模具裁切有效面积为1cm×5cm的小片箔样，分别标记为样1-1、样2-1、样3-1。

37、（5）分别检测样1-1、样2-1、样3-1的电容量。

38、（6）分别对比样1-1、样2-1、样3-1的电容量，做好记录。

39、对比例1

40、（1）取实施例1的365vf规格化成箔长60cm×宽50cm，把该化成箔平均裁切成3份长20cm×宽50cm的小箔样。

41、（2）将上述3份小箔样分别编号为样1、样2、样3。

42、（3）按纵向方向依次在样1、样2、样3距离箔样左边5cm处分别使用冲压模具裁切有效面积为1cm×5cm的小片箔样，分别标记为样1-1、样2-1、样3-1。

43、（4）将样1-1、样2-1、样3-1在硼酸检测液使用4ma直流电流升压至最高耐压后计时1分钟进行周边修复后取出，然后把样1-1、样2-1、样3-1浸泡在五硼酸铵比容液中，使用数字电桥比容仪进行箔样电容量检测。

44、（5）记录数字电桥比容仪检测到的电容量，该量为样1-1、样2-1、样3-1正反两面的电容量。

45、（6）使用电镜扫描观察样1-1、样2-1、样3-1表面的腐蚀情况，人工判断是否存在隧道孔贯穿现象。

46、对比例2

47、（1）取实施例2的590vf规格化成箔长60cm×宽50cm，把该化成箔平均裁切成3份长20cm×宽50cm的小箔样。

48、（2）将上述3份小箔样分别编号为样1、样2、样3。

49、（3）按纵向方向依次在样1、样2、样3距离箔样左边5cm处分别使用冲压模具裁切有效面积为1cm×5cm的小片箔样，分别标记为样1-1、样2-1、样3-1。

50、（4）将样1-1、样2-1、样3-1在硼酸检测液使用4ma直流电流升压至最高耐压后计时1分钟进行周边修复后取出，然后把样1-1、样2-1、样3-1浸泡在五硼酸铵比容液中，使用数字电桥比容仪进行箔样电容量检测。

51、（5）记录数字电桥比容仪检测到的电容量，该量为样1-1、样2-1、样3-1正反两面的电容量。

52、（6）使用电镜扫描观察样1-1、样2-1、样3-1表面的腐蚀情况，人工判断是否存在隧道孔贯穿现象。

53、实施例1、实施例2、对比例1和对比例2的检测结果见表1。

54、表1：

55、

56、表中电容量数据对比表明：实施例365vf规格箔样正面与反面电容量之和比正常箔样电容量高1.93%，说明箔样不存在明显的隧道孔贯穿现象；正面与反面电容量相差0.63%，说明箔样正反面腐蚀均匀。

57、表中电容量数据对比表明：实施例590vf规格箔样正面与反面电容量之和比正常箔样电容量高5.71%，说明箔样存在隧道孔贯穿现象；正面与反面电容量相差3.00%，说明箔样正反面腐蚀存在不均匀现象。

58、对比例中只能无法计算箔样正反面的电容量差来判断腐蚀程度，需要经过人工使用电镜扫描判断，需要花费大量人力物力。

59、以上实施例仅为本发明的示例性实施例，不用于限制本发明，本发明的保护范围由权利要求书限定。本领域人员可以在本发明的实质和保护范围内，对本发明做出各种修改或等同替换，这种修改或等同替换也应视为落在本发明的保护范围内。