用于电子成像应用中的传感器保护的系统的制作方法

本发明涉及粒子射束成像，特别是基于电子射束的衍射成像。更具体地，本发明涉及一种用于电子成像应用中的传感器保护的系统，传感器保护基于控制暴露于成像传感器的射束信号的射束强度。

背景技术：

1、传统上，可使用光学模型来实现成像传感器的信号剂量保护以从透镜电流导出成像传感器处的射束强度。然而，这可能难以扩展到基于衍射、能量过滤透射电子显微镜(eftem)和/或电子能量损失光谱学(eels)的成像应用。

2、使用直接电子检测器(ded)可实现增大的信噪比(snr)，其可用于减小射束强度以限制由电子射束辐照到样本造成的损坏。然而，ded更可能引起过度曝光，其可永久性地增大暗电流，导致snr的减小以及动态范围的减小，这可能导致成像传感器不可操作。信号剂量可与在成像传感器的整个寿命中的累积剂量有关。短时间暴露于高电流密度可能已经导致永久性损坏。

3、可阻止直接检测器在衍射模式中使用，因为直接检测器可能被投射在成像传感器上的高峰值电流损坏。可能难以保证入射在传感器上的最大局部电流低于系统安全限制。该系统还会由于人为错误的可能性而处于危险中，因为操作者可能忘记放置和/或未正确地放置射束截捕器、未对准光学器件等，使得不可预见的高射束强度可能命中传感器。这种情况仅发生几次之后就可能造成严重的传感器损坏。而且，当在衍射模式中执行对准时，中心射束可能移动并且未命中射束截捕器。附加地和/或另选地，对准甚至可能需要中心射束是可见的，例如，用于聚焦目的或散光校正，其中中心射束的完全曝光同样可能损坏传感器。

技术实现思路

1、按照以上所述，本发明寻求克服或至少减轻已知电子成像系统的不足和缺点。本发明的一个目的是提供一种用于保护成像传感器免受过度曝光的改进的系统和方法。

2、本发明的系统和方法满足了这些目的。

3、根据第一方面，本发明涉及一种用于粒子成像应用中的传感器保护的系统，该系统包括射束控制设备(bcd)，该bcd被配置为基于输入射束信号来提供射束信号，其中该射束信号包括改变的射束强度。

4、粒子可以是带电的，优选地粒子是电子。该系统可以是电子显微镜，例如，扫描电子显微镜和/或透射电子显微镜。该系统可被配置为捕获带电粒子射束的(特别是电子射束的)衍射图案。由于射束的变化的强度，射束强度可超过系统的传感器可捕获的最大强度阈值，而不会实质上缩短传感器的寿命，或者是不会导致对传感器的不可逆损坏。因此，该系统包括bcd，该bcd被配置为通过相对于射束屏蔽传感器来保护传感器和/或至少降低射束强度来保护传感器并且防止过度曝光。

5、该bcd还可被配置为通过定位在样本和/或样品的上游来保护样本。因此，在射束与样本相互作用之前和/或在射束信号被传感器捕获之前改变初始射束的射束强度。该系统可具体地被配置为直接捕获粒子射束。本文中，射束可包括投射在传感器上的高峰值电流。通常，此类高峰值电流(即，高射束强度)阻止直接检测器在衍射模式中使用。

6、具体地，由于输入射束的高变化(即，动态范围)，控制提供给传感器的最大局部电流(即，最大局部射束强度)是有益的。这可确保最大局部电流在由传感器指定的安全限制内。本发明提供以下优点：可保护传感器免受超过最大允许强度的射束强度的影响。因此，延长了传感器的寿命。在衍射模式中，可能有利的是阻挡射束信号的一部分，优选地阻挡通常具有最高射束强度的中心未散射射束分量。因此，仅将射束的散射分量提供给传感器。中心射束分量可被可手动地或自动地放置的射束截捕器阻挡。然而，由于系统变化或用户误差，射束截捕器可能不与中心射束分量的传播轨线相交，从而允许高强度中心射束分量命中并且潜在地损坏传感器。根据本发明的系统实现了可检测和/或预见此类场景的优点。因此，可自动地执行适当的对策(即，降低射束强度)，以保护传感器。

7、系统变化可包括操作者不插入或移除射束截捕器、射束光学器件的对准改变、样本的改变(即，样本的劣化和/或更换)。

8、基于输入射束信号来提供射束信号还可包括不向传感器提供射束的任何部分，使得传感器相对于射束完全被屏蔽。另选地，bcd可将输入射束信号的射束强度减小到射束信号中的减小的射束强度，该减小的射束强度然后可被提供给传感器。通过部分吸收、部分阻挡和/或随时间变化地阻挡输入射束信号，射束强度可变化。

9、通常，当在衍射模式中执行对准时，输入射束信号的中心分量可能来回跳跃并且未命中射束截捕器。此外，可利用传感器可见的中心射束来执行系统的对准，例如，用于聚焦目的或散光校正。

10、为了避免对传感器的损坏，可缓慢地增大射束电流，优选地通过使用快门调制概念。作为第一步骤，可以低射束占空比获取图像。该系统可被配置为确定最大电流是否是可接受的，然后占空比增大到全占空比。

11、本发明可进一步实现以下优点：变化的射束信号(即，经调制的射束电流)可足够低以允许传感器的长期曝光。这可用于对准目的。

12、改变的射束强度可基于随时间变化的强度和/或随时间变化的强度图案，特别是阻挡图案。

13、传感器可以是cmos传感器，其包括按阵列布置的光电二极管形式的多个敏感元件，也称为像素。每个像素可连接到模数转换器(adc)。每个像素上的电压可以是照射辐射(诸如电子和/或光)的结果。

14、系统可实现反应性剂量保护。针对每个新的光学器件设定(例如，在放大倍率切换或模式切换(即，切换到衍射或切换到eftem)之后)，系统可执行对图像的窥视以检查剂量是安全的。这种窥视可包括减小的曝光，优选地最小射束强度，以产生图像。系统可基于该窥视来确定安全曝光条件，并且启动更长时间的窥视以检查其仍然是安全的。这种窥视可继续直到达到所请求的曝光时间。

15、优选地，系统可生成短的曝光时间，使得传感器不被过度曝光，即，在射束强度最大值以及曝光时间最小值(即，最短非活动间隔)处超过曝光阈值。

16、bcd可包括由钛制成的快门。bcd可包括屏蔽物，该屏蔽物被配置为围绕快门并且相对于em辐射屏蔽快门，相应地相对于由bcd发射的em辐射屏蔽周围环境。具体地，屏蔽物可以是屏蔽衬套。屏蔽衬套可包括特殊金属和/或铁氧体。优选地，bcd被配置为实现10μs或更低的曝光时间间隔。曝光时间间隔可被定义为bcd去激活与bcd再次激活(即，执行两个切换动作)之间的时间间隔。

17、方法：

18、一般来讲，触发器(例如，显著光学模式改变、切换到衍射模式等)可使得系统进入评估模式(即，窥视模式)，其间系统将检查照明是否是可接受的。在执行该检查之后，可执行常规曝光模式。优选地，在常规曝光模式期间剂量保护是有效的，其可在达到或超过曝光阈值时激活，然后限制射束信号对传感器的曝光。

19、可通过使用bcd(即，快门调制概念)来缓慢地增大射束电流。利用减小的曝光时间间隔以第一占空比获取第一图像。系统可确定针对减小的曝光的所检测到的最大电流，并且当每曝光最大所检测到的电流低于相应阈值时增大到全占空比。

20、经调制的射束电流可包括足够低以允许传感器的长期曝光(例如，用于对准目的)的射束强度。

21、bcd可在预先确定的时间间隔内改变射束信号的强度。因此，射束强度可被调制，特别是减少在捕获间隔中射束信号对传感器的总曝光。每捕获间隔的射束信号对传感器的曝光可由bcd限制。

22、该系统可包括传感器，该传感器被配置为捕获射束信号，特别是经修改的射束信号和/或输入射束信号，并且基于射束信号来提供捕获信号。传感器可提供射束信号的定量地、空间上和/或时间上可分辨的表示作为捕获信号的一部分。优选地，传感器直接暴露于射束信号，特别是在系统的衍射模式中。射束信号可以是指向传感器的输入电子射束。在射束路径中，电子射束可被样本散射，并且/或者电子射束可被样本衍射。

23、bcd可包括消隐器，该消隐器被配置为当被激活时阻止输入射束信号在输入射束信号的初始传播方向上传播经过消隐器。射束信号可被消隐器吸收。在去激活状态下，消隐器可不影响输入射束信号。

24、bcd包括机械快门，该机械快门被配置为当被激活时提供可切换的物理屏障，该可切换的物理屏障被配置为至少部分地与输入射束信号的初始传播方向相交。bcd可修改输入射束信号，使得被传感器捕获的射束信号可包括伪影。具体地，bcd可抹掉输入射束信号的部分，使得强度峰值可被投射到多个检测器井(即，传感器的像素)上。这可改善对过度曝光的检测，因为射束信号不仅可过度曝光单个像素，而且可过度曝光多个像素。单个过度曝光的像素可被解释为故障像素，其中一组过度曝光的像素更容易被检测为显著的过度曝光。由于bcd的较慢激活(关于传感器的较快捕获速率)，即，bcd移动到射束中，使得例如在bcd的边缘处发生折射，可发生这种效应。

25、在短曝光时间下，由于慢快门(磁)，图像将不太好，但这对于过度曝光检测无关紧要。这甚至可能是有利的，因为剂量被抹掉并且更容易被检测。真正的局部(像素内)过度曝光可能不能用区域滤波器检测方法检测到，但它将导致严重的损坏。

26、bcd可包括静电快门，该静电快门被配置为当被激活时提供静电场，使得输入射束信号的初始传播方向和经修改的射束信号的经修改的传播方向相对于彼此成角度，特别是当静电快门活动时。这实现了以下优点：具有经修改的传播方向的射束信号可偏转，使得经修改的射束信号至少部分地不到达传感器。优选地，当静电快门活动时，经修改的射束信号不朝向传感器传播。静电快门可被配置为使输入射束信号朝向被配置为吸收输入射束信号的吸收目标偏转。

27、bcd可包括电磁(电动)快门，该电磁(电动)快门被配置为当被激活时提供电磁场，特别是周期性电磁场，使得输入射束信号的初始传播方向和经修改的射束信号的经修改的传播方向相对于彼此成角度，特别是当电磁快门活动时。因此，射束信号可背离传感器，特别是保护传感器免受由于射束强度超过传感器的容差而造成的损坏。

28、bcd可包括衰减器，该衰减器被配置为当被激活时降低输入射束的强度，以提供具有与输入射束信号基本上相等的强度或比输入射束信号更低的强度的经修改的射束。优选地，衰减器可包括透射材料，该透射材料被配置为将输入射束信号的一部分作为射束信号朝向传感器发送。因此，射束强度可降低。这可实现避免过度曝光和/或将射束强度降低到预先确定的水平的优点。衰减器可以是可调节的，使得透射率可以是受控的。可在使透射率最大化的衰减器的特定模式中实现基本上相等的强度，使得提供给传感器的射束信号仅关于输入射束信号最小限度地改变。这可以是透传模式，以向传感器提供基本上未改变的射束信号。

29、bcd可包括孔口，该孔口被配置为当被激活时阻挡输入射束信号的横截面的至少一部分。孔口可至少部分地与输入射束信号相交，使得提供给传感器的射束信号包括经修改的射束横截面。孔口可阻挡对传感器的至少一个子区域的过度曝光有贡献的射束的部分。因此，调整孔口可防止过度曝光和/或传感器损坏。

30、bcd可包括透镜，该透镜被配置为当被激活时变换输入射束的横截面。透镜可以是具有对应特征和优点的特定类型的聚焦/散焦元件。透镜可以是被配置为会聚输入射束信号的静电透镜或电磁透镜。透镜可嵌套在其它透镜元件中。样本可放置在透镜内。

31、bcd可包括反射镜，该反射镜被配置为当被激活时至少部分地对输入射束信号进行反射和/或偏转。反射镜可以是半透性的，使得射束信号的一部分可到达传感器。反射镜的倾斜可以是可调节的，以修改经反射的射束信号的传播方向。反射镜的透射率可以是可调节的，以控制指向传感器的输入射束信号的透射分量的强度。反射镜可被配置为至少部分地将输入射束信号引导到吸收目标上和/或引导到系统的其它部件。具体地，反射镜可被配置为分束器，以向多个检测器源提供射束信号。

32、bcd可包括聚焦元件，该聚焦元件被配置为当被激活时对输入射束信号进行聚焦和/或散焦，特别是通过增大和/或减小输入射束在成像平面处的横截面。传感器处的过度曝光还可通过对输入射束信号进行散焦来减轻，使得射束强度分布在传感器的更大数量的捕获位点上。例如，在传感器处聚焦的高点可能造成少量像素的过度曝光。对输入射束信号进行散焦可扩展射束的高强度分量的区域，使得射束强度水平低于阈值，从而减轻过度曝光。透镜可被配置为相对于传感器调整射束的焦点。透镜可被进一步配置为作为紧急措施对射束完全散焦，使得没有会造成过度曝光的输入射束信号的部分到达传感器和/或使得这些部分被散焦到安全射束强度到达传感器的水平。

33、bcd可包括分束器，该分束器被配置为当被激活时将输入射束信号的第一部分发送到成像平面并且将输入射束信号的第二部分朝向第二成像平面发送，其中成像平面的表面法线和第二成像平面的另外的表面法线相对于彼此成角度。分束器可被配置为将输入射束信号划分成至少两个射束分量。因此，可生成具有较低强度的部分射束。分束器可被配置为改变至少两个分束射束分量的强度比率。分束器可被配置为将分束射束分量中的至少一个射束分量朝向传感器引导。分束器可用于减小输入射束信号的强度。

34、bcd可包括狭缝，该狭缝被配置为当被激活时对输入射束信号的横截面进行整形，特别是通过部分地阻挡输入射束信号。狭缝可包括可调节的开口或多个可调节的开口。因此，可阻挡输入射束信号的一部分。此外，输入射束信号可在狭缝处衍射。

35、bcd可包括射束斩波器，该射束斩波器被配置为当被激活时在时间间隔内修改射束强度分布。射束斩波器可被配置为周期性地阻止射束信号的传播朝向传感器传播。阻挡间隔与非阻挡间隔的频率和/或比率可以是受控的。射束斩波器可被配置为实现射束信号的脉宽调制的装置。

36、该系统可包括运动部件，该运动部件被配置为将bcd相对于输入射束信号的初始传播方向移动。这实现了以下优点：bcd可被定位成使得bcd关于射束信号对传感器的曝光的效果可被优化。例如，射束截捕器可被定位成使得射束的过度曝光分量或被阻止朝向传感器传播。运动部件可包括在控制机构中，其中bcd的位置可基于捕获信号来控制。运动部件可被配置为独立地移动bcd，即，不与被配置为激活/去激活bcd的机构相关。

37、运动部件可被配置为将bcd平移和/或旋转到活动位置中，从而使得bcd能够提供经修改的射束信号，并且/或者将bcd平移和/或旋转到非活动位置中，从而禁止bcd提供经修改的射束信号。

38、bcd可接收控制信号并且基于控制信号来激活和/或去激活。因此，可自动地控制bcd。优选地，控制信号不仅可基于用户输入来生成，而且可基于传感器处的曝光条件和/或一般系统参数(即，系统的对准的改变)来自动地生成。

39、bcd可在活动间隔的持续时间内激活和/或在非活动间隔的持续时间内去激活。这实现了以下优点：bcd可处于激活或去激活的受控状态。相对于这些状态的任何偏离可触发附加的安全措施。bcd可具有默认状态，即，激活以保护传感器，其中bcd的去激活可能需要活动控制信号和/或周期性输入以将bcd保持在去激活状态下。

40、控制信号可包括具有活动间隔和/或非活动间隔的控制间隔。可向bcd提供连续的控制间隔序列，以控制bcd的状态(活动/非活动)，特别是连续地控制状态。控制间隔可包括多个活动间隔和多个非活动间隔。

41、活动间隔和非活动间隔可形成周期性信号。这实现了以下优点：可向传感器提供一致的(即，至少在预先确定的时间间隔内不改变的)射束信号。因此，可基于在此类预先确定的时间间隔的开始处的初始曝光值确定来估计传感器的曝光。优选地，当bcd活动时，传感器的每个捕获间隔包括至少一个活动间隔和一个非活动间隔。

42、bcd可接收控制参数并且基于控制参数来调整与输入射束信号的相互作用。基于控制参数，bcd可以控制信号取代任何射束强度调制。控制参数可指示bcd可不执行任何非活动间隔。控制参数可用作保护传感器的紧急措施。

43、bcd可基于控制参数来修改输入射束信号的射束属性。射束属性可以是射束信号的任何物理属性，例如，相位、偏振、振幅、粒子速度分布、粒子能量分布、粒子组分。优选地，对传感器处的射束强度有贡献的任何射束特性可以是bcd可调节的。

44、bcd可接收阻挡信号并且基于阻挡信号来防止输入射束信号在初始传播方向上进一步传播经过bcd。阻挡信号可取代控制信号。具体地，阻挡信号可不与捕获间隔相关。bcd可被配置为基于阻挡信号来启动对射束信号的连续或间歇阻挡。基于阻挡信号的bcd的激活可实现以下优点：可使触发阻挡信号的事件与基于阻挡信号的bcd的激活之间的时间延迟最小化。因此，可有利地减少其间传感器暴露于潜在有害射束(即，具有有害强度图案的射束)的时间间隔。

45、控制信号可包括定时参数，并且其中bcd被配置为基于定时参数来激活和/或去激活。这可实现以下优点：激活/去激活bcd可与系统的其它部件同步，特别是与传感器的捕获间隔、捕获速率和/或快门频率同步。此外，bcd可被配置用于基于定时参数的定时激活，使得可实现关于传感器的定时规格(例如，捕获间隔)的相对或绝对定时。这可实现以下优点：可改变射束的消隐与射束对传感器的曝光的比率，特别是关于传感器和/或传感器的帧速率。定时参数可控制bcd关于传感器的同步或异步操作。

46、系统可包括辅助bcd，该辅助bcd被配置为接收紧急阻挡信号并且基于紧急阻挡信号来防止输入射束信号在初始传播方向上进一步传播经过辅助bcd。辅助bcd可实现另外的安全措施以保护传感器，特别是当基于bcd来减小射束强度的措施不足以或不能减少传感器处的过度曝光或其它临界条件时。紧急阻挡信号可取代控制信号和/或阻挡信号，以防止对传感器的损坏。辅助bcd可被配置为将传感器移出射束信号的轨线，例如，将传感器向后倾斜。附加地和/或另选地，辅助bcd可包括电磁、静电或机械射束截捕器，其被配置为阻拦射束朝向传感器的传播。辅助bcd可被配置为当bcd故障和/或尽管bcd被激活但曝光值未改变时激活。

47、辅助bcd可在结构上与bcd的上述实施方案中的任一个实施方案相同。

48、辅助bcd可被放置在关于输入射束信号的方向而言bcd的上游或下游。通过将辅助bcd定位在bcd、样本和/或射束光学器件的上游，辅助bcd还可在检测到相应部件和/或样本的最大规格之外的射束强度时防止对这些部件的损坏。

49、系统可包括控制模块，该控制模块被配置为向bcd提供控制信号和/或阻挡信号和/或向辅助bcd提供紧急阻挡信号。控制模块可被配置为基于由传感器提供的捕获信号来自动地控制bcd和/或辅助bcd。

50、控制模块可基于捕获信号来生成曝光值并且基于曝光值来修改控制信号，特别是控制间隔。这实现了以下优点：控制模块可基于所捕获的射束信号来评估传感器的曝光和/或确定传感器的劣化。控制模块可调整控制信号以减少劣化，特别是当还提供具有最大化的动态范围、分辨率和/或信噪比的捕获信号时。具体地，可减轻由高射束强度导致的捕获信号伪影。曝光值可表示传感器的整个检测器区域的曝光的量度，并且可用作过度曝光的指示标识。曝光值还可基于传感器的子区段，特别是包括最高亮度水平的相应捕获信号的子区段。

51、当曝光值未超过上限阈值、特别是最大安全曝光值时，控制模块可减小活动间隔。这实现了以下优点：当传感器在安全射束强度水平内操作时，传感器对射束信号的每捕获间隔的曝光间隔可增大。具体地，可确定曝光值，使得传感器的任何区域都不经受有害的过度曝光。控制模块可从具有最小曝光间隔的最大活动间隔开始，并且针对每个后续帧，减小活动间隔，直到达到设定的曝光值和/或直到传感器可在整个捕获间隔内暴露于射束，即，bcd在捕获间隔的整个持续时间内不活动，并且曝光值低于最大安全曝光值。

52、当曝光值超过上限阈值时，控制模块可增大活动间隔和/或减小非活动间隔，并且/或者当曝光值下降到低于下限阈值、特别是最小检测曝光值时，控制模块可减小活动间隔和/或增大非活动间隔。因此，控制模块可通过激活或去激活bcd来自动地将传感器的曝光控制为最佳值。优选地，除了减小射束强度以及由此减小传感器处的所捕获的亮度之外，bcd不影响捕获信号对射束信号的表示。上限阈值可基于传感器的物理限制和/或基于传感器的预先确定的寿命预期，该预先确定的寿命预期可根据传感器所暴露于的射束强度来缩放。

53、控制模块可调整控制间隔，使得控制间隔包括其间bcd将活动的活动间隔和其间bcd将不活动的非活动间隔，并且其中控制模块被配置为基于曝光值来修改活动间隔与非活动间隔的比率。这实现了以下优点：控制模块还可在捕获间隔期间改变活动间隔和非活动间隔的数量。因此，对传感器的射束曝光可分布在整个捕获间隔上、可集中在捕获间隔的开始处或可集中在捕获间隔的结束处。

54、当曝光值超过上限阈值时，控制模块可增大每个活动间隔；并且/或者当曝光值下降到低于下限阈值时，减小每个活动间隔。设定的限值可不同于最大安全曝光值或较低检测限制值。因此，控制模块可补偿变化的射束强度，使得捕获信号可包括可比较的亮度。换句话讲，控制模块可操作bcd，使得可实现具有基本上恒定的亮度值的自动曝光。活动间隔可形成各自具有特定长度的一组间隔。然后，控制模块可均匀地增大或减小每个活动间隔，使得例如捕获间隔内的活动间隔的频率保持恒定。

55、当曝光值超过上限阈值时，控制模块可减小每个非活动间隔；并且/或者当曝光值下降到低于下限阈值时，增大每个非活动间隔。类似于对活动间隔的控制，控制模块可基于曝光值来改变非活动间隔的长度。

56、控制模块可调整活动间隔的间隔持续时间和非活动间隔的另外的间隔持续时间，使得间隔频率保持恒定。另选地，间隔图案可保持恒定。例如，可调整活动和非活动间隔的特定序列，使得该序列内的间隔的相对长度相对于彼此保持相同。

57、控制模块可连续地向bcd提供控制信号，或当控制信号改变时向bcd提供控制信号。

58、控制模块可基于曝光值来控制间隔频率以使曝光值与预先确定的基础曝光值匹配。这可实现以下优点：捕获信号可包括预先确定的对比度和/或亮度，并且因此提高操作者可感知的细节水平。具体地，捕获信号的视觉表示可更清楚地示出射束信号特性。预先确定的曝光值还可基于传感器的规格，使得预先确定的基础曝光值降低损坏传感器的风险或增加延长传感器的寿命的机会。

59、控制模块可基于传感器的捕获频率来调整控制间隔。这可实现以下优点：捕获频率可与控制间隔同步以减少或消除捕获频率与活动间隔频率的干扰，该干扰可产生后续捕获间隔的不均匀曝光，例如，产生可感知的闪烁。

60、控制模块可以小于或等于捕获频率的频率修改活动间隔的间隔持续时间和/或非活动间隔的另外的间隔持续时间。这可实现以下优点：间隔持续时间在单个捕获间隔内可不改变。优选地，对间隔持续时间的修改发生在捕获频率的整数倍处和/或优选地发生在两个捕获间隔的接缝处和/或发生在两个捕获间隔之间。

61、当曝光值超过预先确定的限制阈值时，控制模块可进入限制模式。在限制模式内，射束信号仍然可被传感器捕获，使得可提供捕获信号以分析射束信号。当从先前模式(例如，正常操作模式)切换到限制模式时，可增大活动间隔。预先确定的限制阈值可低于最大安全曝光值，使得提供捕获信号仍然是可能的，因为控制间隔可仍然包括非活动间隔。限制模式可以是预防性活动措施以确保对传感器的保护。限制模式可以是反应性模式，并且当曝光值梯度太高使得在捕获间隔内可能超过最大安全曝光值时，限制模式可能是有利的。此类捕获间隔可能已经损坏传感器。因此，限制模式可以是与评估模式结合的附加的安全措施。

62、控制模块可对控制间隔应用脉宽调制(pwm)以控制在控制间隔期间经修改的射束信号的平均射束强度。使用pwm，可改变活动和非活动间隔的序列，特别是在捕获间隔内。每个捕获间隔将其间射束信号暴露于传感器的多个间隔相加。pwm基础频率可高于捕获频率，优选地至少两倍于捕获频率。pwm可实现以下优点：将曝光值与捕获间隔长度解耦。pwm可以是受控的，使得考虑bcd的类型以消除或至少最小化由bcd造成的射束信号失真。平均射束强度可被定义为传感器在单个捕获间隔期间所暴露于的总计射束强度。

63、控制模块可调整控制间隔的pwm，特别是控制平均射束强度，以实现预先确定的曝光值，特别是最大安全曝光值。这可实现以下优点：捕获射束信号，使得捕获信号包括分布在多个亮度水平上的射束信号的表示。具体地，最高强度区域可被映射到最高亮度水平，即，最大安全曝光值，使得捕获射束信号的动态范围可被最大化。

64、控制模块可对控制间隔应用占空比限制控制以在传感器对射束信号的捕获间隔期间限制射束强度。捕获间隔可基于传感器来定义。传感器可被配置为在传感器的单个读出内获取多个捕获间隔。单个读出可用的捕获间隔的数量可取决于曝光值。当bcd活动时，占空比可以是活动间隔。因此，增大占空比可减小射束强度、相应地减小曝光值。

65、控制模块可调整控制间隔的占空比，特别是控制射束强度，以实现预先确定的曝光值，特别是最大安全曝光值。

66、控制模块可基于触发信号来进入评估。评估模式可被定义为其中要确定最大射束强度同时降低损坏传感器的风险的模式。可基于所检测到的射束强度的改变来触发评估模式。具体地，控制模块可被配置为基于射束强度的增大、射束强度梯度随时间的增大、射束强度的空间梯度的增大(即，射束被聚焦到传感器上)、射束强度的变化的增大(即，射束强度变得不稳定)、所捕获的射束图案的偏移(例如，基于对系统的干扰)和/或对系统的环境干扰(例如，温度、湿度、压力、振动水平的改变)来触发评估模式。评估模式也可手动地、周期性地或作为维护措施来触发。控制模块可接收触发信号。评估模式可在系统的任何常规操作模式之前。评估模式也可在捕获射束信号时是活动的。

67、第一曝光间隔可以是1/250s，包括例如10ms的射束曝光。如果曝光成功，则曝光时间可加倍直到达到完全曝光。针对每次迭代，可检查捕获信号是否过度曝光。当检测到过度曝光时，可中止评估模式并且bcd可保持活动。

68、在曝光时间低于伪影阈值时，图像可包括由于bcd激活和/或去激活而造成的伪影。这些伪影可能与检测到过度曝光不相关。伪影可能是有利的，因为射束信号被抹掉并且可更容易被检测。具体地，局部(例如，像素内)过度曝光可低于检测阈值并且因此可不被识别为过度曝光但可仍然导致传感器损坏。

69、样本的曝光时间和传感器的曝光时间可相等。与其它成像模式相比，可以减小的射束强度来执行衍射成像以观察衍射图案。这可能是由于与其它成像技术相比电子的不均匀分布。因此，将样本的曝光时间与传感器的捕获间隔解耦可能是有利的。因此，可保护样本，特别是在取向期间，并且还可限制命中传感器的电子的数量。

70、控制模块可设定控制间隔，该控制间隔包括预先确定的最大活动间隔和/或包括最小非活动间隔。最大活动间隔可填充捕获间隔。最小非活动间隔在长度上可以是零。可根据确定的曝光值来设定限制。优选地，射束信号因此可仍然以最大活动间隔被捕获，即，捕获信号包括射束信号的表示。最大活动间隔可提供可能的射束强度增大的最大值，其可仍然被传感器捕获而未超过最大安全曝光值。

71、控制模块可每捕获间隔逐步增大非活动间隔和/或每捕获间隔逐步减小活动间隔，特别是针对后续一连串的捕获间隔。这实现了以下优点：初始捕获间隔可基于具有初始射束强度的射束信号。初始射束强度优选地低于传感器在不会经受严重的劣化或损坏的情况下可捕获的最大射束强度。初始射束强度可足够高，使得射束信号可被记录在捕获信号中，即，射束强度高于传感器的检测阈值。控制模块可确定后续捕获间隔之间的曝光值差值，并且使增大率基于曝光值差值。这可实现以下优点：可使确定当前射束强度是否在预先确定的参数内(即，射束强度是否足够低以允许射束在捕获间隔内对传感器完全曝光)所要求的评估模式中的捕获间隔的数量最小化。非活动间隔的逐步增大可基于捕获间隔的曝光值的增大率，使得可减少达到目标间隔比率或曝光值的逐步增大的数量。

72、控制模块可对控制间隔应用pwm以限制曝光值以及每捕获间隔逐步增大活动间隔的数量和/或活动间隔的持续时间。活动间隔的数量的逐步增大可实现曝光值的逐步减小。因此，随着射束强度的增大，曝光值可保持恒定。此外，pwm可应用于不包括任何活动间隔的控制间隔区段。因此，非活动间隔和活动间隔的剩余结构可保持恒定，并且非活动间隔区段由pwm调制。作为增加活动间隔的数量的另选方案或附加方案，还可增加活动间隔的长度。还可控制曝光值，使得可实现连续的一组捕获间隔上的曝光值梯度。可根据bcd的设备参数来调整活动间隔图案。具体地，基于切换时间、每切换的磨损(即，平均无误差时间)、切换延迟(即，从活动状态切换到非活动状态和/或从非活动状态切换到活动状态所花费的时间)、触发延迟(即，一旦由控制信号指示切换就开始切换)和/或切换动作期间的强度梯度(即，传感器处的射束强度可依此降低的速度)。因此，可增加bcd和/或传感器的寿命，并且/或者可优化切换循环。

73、控制模块可关于先前捕获间隔来确定每捕获间隔的曝光值的增大。这可用作确定针对即将到来的捕获间隔增大的曝光值的基础。另外，一组捕获间隔上的曝光值梯度可提供关于何时可达到或超过最大安全曝光值的估计(即，考虑计划的捕获间隔，确定当曝光值将等于或高于最大安全曝光值时的捕获间隔的数量。

74、当当前曝光值与最大安全曝光值的差值小于后续捕获间隔中的曝光值的预计增大时，控制模块可退出评估模式。这实现了以下优点：可避免过度曝光，即超过最大安全曝光值或低于最大安全曝光值的设定曝光值。这可对增加传感器的寿命有贡献。退出评估模式可被定义为针对后续捕获间隔保持曝光值和/或控制间隔恒定。当退出评估模式时，系统可返回到具有设定参数的常规捕获模式。可根据在评估模式中确定的曝光值来调整设定参数。例如，射束信号暴露于传感器的时间间隔可小于设定时间间隔以保护传感器。

75、当确定的曝光值下降到低于最大安全曝光值并且/或者控制间隔包括预先确定的比率的活动间隔与非活动间隔、优选地控制间隔仅包括非活动间隔时，控制模块可退出评估模式。这可实现以下优点：可在bcd不中断射束信号的情况下实现射束信号的捕获。另选地，可实现和/或保持具有有利的光学属性(即，最小失真、最小成像伪影，特别是就传感器属性而言)的间隔图案。

76、控制模块被配置为保持具有控制间隔的控制信号，该控制间隔包括对应于在评估模式中确定的最后曝光值的活动间隔和非活动间隔的图案。这可实现以下优点：可使用评估模式来确定对应于预先确定的曝光值的特定控制间隔。优选地，评估模式可自动地触发，使得可导致曝光值改变和/或可导致过度曝光的设定改变在被完全实现之前被安全地验证，即不产生高于曝光值阈值的曝光值。具体地，评估模式可被配置为使得在仍然遵守安全标准的同时尽可能快地实现每个设定改变，通过从安全参数起始值开始设定预先确定的参数。从该参数起始值开始，可应用梯度以达到预先确定的参数，同时监测捕获信号和/或避免传感器暴露于传感器的设定规格之外或磨损参数之外的射束信号，从而导致对传感器的磨损增大。

77、控制模块被配置为将后续捕获间隔(优选地多个后续捕获间隔)的曝光值控制为在评估模式中确定的曝光值，特别是在评估模式中最后确定的曝光值。这可实现以下优点：实现自动曝光模式，其中曝光值可例如被控制为恒定、根据预先确定的梯度来增大或在指定曝光值范围内。控制曝光值可包括针对每个后续捕获间隔设定确定的控制间隔，特别是直到再次进入评估模式。控制间隔可优选地仅在评估模式期间改变，使得可实现设备安全限制内的暴露。

78、当保持在评估模式中确定的最后曝光值时，控制模块可调整活动间隔图案。这可实现以下优点：调整活动间隔和非活动间隔的图案，使得bcd的切换被最小化和/或保持预先确定的切换间隔。具体地，可调整控制间隔，使得每个非活动间隔短于最大非活动间隔和/或每个活动间隔短于最大活动间隔。

79、控制模块可每捕获间隔将pwm活动间隔图案变换为连续活动间隔。多个活动间隔可被分组以形成单个内聚活动间隔，其可减少bcd的磨损和/或改善捕获信号的质量。每个连续活动间隔可被限制为单个捕获间隔。pwm模式可被限制为评估模式，使得当评估模式不活动时活动间隔和非活动间隔的间隔频率较低。活动间隔和非活动间隔的总计间隔比率可保持恒定。活动间隔长度和/或非活动间隔长度的分辨率可至少匹配pwm频率分辨率。因此，由一组pwm调制的活动间隔、相应的非活动间隔实现的曝光时间可匹配由一个捕获间隔内的单个连续活动间隔、相应的非活动间隔实现的曝光时间。

80、控制模块可设定衰减参数以控制经修改的射束信号的强度。可通过设定衰减参数来控制被配置为逐步或连续地调整射束信号强度的bcd。衰减参数可对应于由bcd实现的特定透射率。因此，bcd可部分地吸收和/或偏转并且部分地透射射束信号。射束信号的衰减可与调整控制间隔结合使用，特别是使用pwm。附加地和/或另选地，bcd可被配置为使用pwm来实现对应于衰减参数的平均强度。

81、控制模块可每捕获间隔增大射束强度并且确定每次增大的曝光值。可通过调整控制间隔来实现射束强度的增大。可跟踪曝光值，使得控制模块可根据预先确定的参数来执行对最近增大的评估，并且基于确定的曝光值来退出评估模式或通过执行进一步增大来继续评估模式。

82、控制模块可减小活动间隔，使得射束强度和/或曝光值每捕获间隔增大固定量。固定增大可实现有效地设定用于下一捕获间隔的参数的优点。射束强度和/或曝光值可与曝光的时间间隔(即，活动间隔、相应的非活动间隔)非线性成比例。固定量可以是预先确定的绝对值或预先确定的百分比。每捕获间隔增大固定量可减少设定用于后续捕获间隔的参数所要求的计算时间，因此可减少最小捕获间隔长度和/或减少完成评估模式所要求的总时间。

83、控制模块可减小活动间隔，使得射束强度和/或曝光值根据预先确定的关系、特别是以固定因子来每捕获间隔增大。控制模块可实现特定类型的缩放，即，线性、平方、指数或对数，以设定用于后续捕获间隔的活动间隔的关系。缩放可影响其间可达到预先确定的曝光值的时间间隔。因此，缩放可减少在评估模式中花费的总时间间隔。减少评估模式的持续时间可提高系统的性能，因为可实现非评估模式捕获间隔的更高吞吐量。此外，可减少由用于确定设定参数是否实现安全曝光值的评估模式导致的延迟。优选地，在评估模式中花费的时间低于预先确定的阈值，使得可减小对成像序列的效率影响。控制模块可将设定增大减小到未超过最大安全曝光值。

84、控制模块可基于先前捕获间隔的曝光值来预测后续捕获间隔的第一曝光值并且基于第一曝光值来设定后续捕获间隔的控制间隔。此外，可使用一组先前捕获间隔来推断曝光值，以估计活动间隔和/或非活动间隔的总间隔长度。因此，基于针对一组捕获间隔的曝光值的所选梯度，控制模块可确定何时可达到预先确定的曝光值。本文中，可估计捕获间隔的时间间隔和/或数量。这可产生关于评估模式何时可结束的指示。

85、控制模块可基于先前捕获间隔的曝光值来预测后续捕获间隔之后的另外的捕获间隔的第二曝光值，设定后续捕获间隔的控制间隔并且/或者设定另外的捕获间隔的另外的控制间隔，并且/或者确定第二曝光值是否小于或等于最大安全曝光值。这实现了以下优点：可针对至少两个后续捕获间隔执行对曝光值的预测，从而提高控制模块的计算效率。可将预测增加到多个后续捕获间隔，特别是基于关于预测的置信度值。关于最大安全曝光值来预测曝光值可实现以下优点：在后续帧中捕获的仍然在预测的误差容限内的实际曝光值可仍然低于最大安全曝光值。

86、控制模块可被配置为基于先前捕获间隔的曝光值来预测后续捕获间隔序列中的所选择的捕获间隔的曝光值。后续捕获间隔序列可包括递增的非活动间隔序列，即，针对每个捕获间隔，预期曝光值逐步增大。所选择的捕获间隔可以是序列内的任何捕获间隔。因此，当后续捕获间隔的控制间隔被设定为所选择的捕获间隔的控制间隔时，后续捕获间隔与所选择的捕获间隔之间的数量差值可表示跳过的增大的数量。设定控制间隔可包括设定等效的非活动间隔与活动间隔的比率，即，只要捕获间隔内的总曝光时间保持恒定，图案可以是相同的或图案可以是不同的。因此，当设定控制间隔时，可改变pwm方案。

87、控制模块可确定曝光值是否小于或等于最大安全曝光值和/或基于所选择的捕获间隔的控制间隔来设定后续捕获间隔的控制间隔。优选地，当曝光值被确定为是安全的，即，在安全曝光限制内、相应地低于最大曝光值时，执行先前步骤。基于所选择的捕获间隔的控制间隔来设定后续捕获间隔可被定义为将后续捕获间隔设定为所选择的捕获间隔的控制间隔。

88、所选择的捕获间隔可处于后续捕获间隔序列的第二位置或更高位置处。因此，所选择的捕获间隔不是后续捕获间隔，并且表示序列中的至少下下个元素，使得跳过至少一次增大，即一个捕获间隔。

89、优选地当第二曝光值小于或等于最大安全曝光值或下降到低于最大安全曝光值预先确定的裕度值时，控制模块可基于另外的捕获间隔来设定后续捕获间隔的控制间隔，特别是以另外的捕获间隔替换后续捕获间隔。这实现了以下优点：控制模块可被配置为跳过控制间隔，以减少达到预先确定的曝光设定将花费的捕获间隔的时间或数量。例如，当针对第一组捕获间隔确定的曝光值指示评估模式的完整的一组捕获间隔将不超过最大安全参数时，可跳过具有比要实现的设定更低的曝光的预先确定的数量的捕获间隔。因此，可更快地退出评估模式。换句话讲，可减少具有被bcd减小的射束强度的捕获间隔的数量，以更有效地评估当前设定对于在没有活动间隔或没有bcd的附加活动间隔的情况下将射束暴露于传感器是否是安全的。

90、捕获间隔的控制间隔可包括第一pwm占空比，并且后续捕获间隔的控制间隔包括第二pwm占空比。第二pwm占空比可高于第一pwm占空比，优选地高于预设pwm占空比增大。这实现了以下优点：控制模块可跳过具有分配的预设pwm占空比值的预先确定的捕获间隔序列中的步骤。因此，当确定较高占空比值在预先确定的曝光值限制内时，可增大后续帧的占空比，使得跳过要捕获的预先确定的占空比序列的一部分。例如，捕获间隔序列可被设定为将占空比增大因子5。在2％占空比下的曝光结合确定50％占空比被确定为在安全暴露限制内的情况下，控制模块可将后续捕获间隔的占空比设定为50％。

91、控制模块可预测包括一连串的后续捕获间隔的捕获序列中的每个捕获间隔的曝光值。因此，控制模块可估计何时将达到最大安全曝光值。这也可在评估模式之外实现，以检测曝光值的逐渐增大并且基于所检测到的增大来进入评估模式。优选地，控制模块可针对预先确定的数量的后续捕获间隔连续地预测曝光值。因此，可预期超过最大安全曝光值，并且可在实际捕获到将超过最大安全曝光值的捕获间隔之前激活bcd。这可进一步实现以下优点：可减轻激活bcd的延迟，使得具有高于射束强度阈值的强度的射束信号将不会到达传感器。

92、针对捕获序列内的连续捕获间隔，每捕获间隔对应于活动间隔的总计持续时间的总激活时间可减少。在减小激活间隔的情况下，传感器处的射束强度可增大。bcd活动的时间间隔减小，并且每捕获间隔的曝光时间增加。

93、控制模块可将捕获序列中的第一捕获间隔的第一总激活时间设定为捕获序列中的第二捕获间隔的第二总激活时间。因此，当使用pwm来调制活动间隔和非活动间隔时，也可实现在设定曝光时间的序列中向前跳跃。控制模块可减少总激活时间，同时保持所实现的pwm图案的缩放形式。例如，活动间隔的间隔频率可保持恒定，同时调整控制间隔内的每个活动间隔、相应的非活动间隔的间隔长度。

94、第二总激活时间可小于第一总激活时间，使得对应于第一总激活时间的第一曝光值低于对应于第二总激活时间的第二曝光值。因此，曝光值可在序列内增大。控制模块可通过测试部分射束信号来实现对传感器处的射束强度的控制，该部分射束信号即在捕获间隔期间在特定活动间隔内被bcd阻挡的信号。因此，曝光值的改变可触发评估模式，使得在当前设定的整个捕获间隔、相应的整个控制间隔内，曝光值改变初始不被捕获。控制间隔可被调整为包括最大活动间隔，以限制当射束强度改变时射束信号对传感器的暴露。可在pwm序列的一组活动间隔上对总激活时间求和。

95、第一总激活时间和第二总激活时间之间的绝对差值可小于捕获序列中的至少一对后续捕获间隔的总激活时间之间的绝对差值。在一组捕获间隔上的总激活时间的梯度可线性地增大，即差值可以是恒定的，或者可非线性地增大，即差值针对一组后续捕获间隔可减小。另选地，总激活时间可增加，特别是以抵消射束强度的增大。可基于过去捕获间隔的曝光值和/或基于后续捕获间隔的预测曝光值来调整在一组捕获间隔上的总激活时间的梯度。

96、第一总激活时间和第二总激活时间之间的绝对差值可小于捕获序列中的两个所选择的捕获间隔的总激活时间之间的绝对差值。因此，激活时间的差值可基于预先确定的一组捕获间隔来确定。捕获间隔不需要是在一连串的捕获间隔内相邻的。总激活时间可跨越多个捕获间隔。

97、控制模块可将捕获间隔的总激活时间减少等于捕获序列中的至少两个后续捕获间隔的总激活时间的组合减少的量，特别是当该减少产生低于最大安全曝光值的预测曝光值时。总激活时间可独立于捕获间隔内和/或控制间隔内的活动间隔的数量和/或非活动间隔的数量。

98、控制模块可基于捕获间隔(特别是捕获序列中的先前捕获间隔)的确定的曝光值来调整捕获序列中的捕获间隔的预测曝光值。这可实现以下优点：可基于过去捕获间隔的曝光值来调整对后续帧的曝光值的预测。因此，可提高预测曝光值的准确性。预测曝光值的调整频率可基于针对一组后续捕获间隔的预测曝光值梯度。具体地，超过梯度阈值的曝光值可导致对曝光值预测的更频繁调整以提高精度。

99、控制模块可在捕获序列内每捕获间隔调整总激活时间的减少速率。这可提高效率和/或改善对传感器的保护。具体地，当射束信号包括具有低于方差阈值的射束强度方差的射束强度，即，射束强度在捕获间隔之间未显著改变时，减小率可增大以在更短的时间跨度内(例如，在减少数量的捕获间隔内)达到预设曝光参数。另选地，当射束信号包括具有高于方差阈值的射束强度方差的射束强度，即，射束强度在捕获间隔之间显著改变时，减小率可减小以在多个帧内捕获射束信号而不显著减少总激活时间，以允许更详细地评估射束信号而没有损坏传感器的风险。

100、控制模块可将捕获信号划分成一组区段信号，其中每个区段信号包括捕获信号的内聚子组，并且确定每个区段信号的区段曝光值。区段信号可以是捕获信号的空间子区段，即，内聚的一组相邻像素，优选地是捕获信号的正方形或至少矩形的区段。可单独地检查每个区段信号来确定是否过度曝光。网格尺寸可基于射束信号来调整。具体地，区段信号的大小可与过度曝光区域的预期大小相关并且可相应地调整。优选地，区段信号的大小大于过度曝光区域的预期大小。

101、控制模块可将限定区段信号的捕获信号的内聚子组沿射束信号的至少一个维度重叠，优选地将内聚子组在空间上重叠至少25％，更优选地将内聚子组在空间上重叠至少50％。这可实现以下优点：可整体评估过度曝光区域，即，曝光值可反映内聚区域(例如，亮点)的实际曝光。通过将这些区域重叠，可增加在一个区段信号内整体捕获亮点的概率。可减小亮点被划分成多个区段信号并且因此可能未超过曝光值阈值的概率。换句话讲，可减少局部射束强度最大值被拆分在若干区域上因此可能未被检测到的机会，该局部射束强度最大值可能潜在地损坏传感器或减少传感器的寿命。

102、控制模块可激活bcd，并且/或者当信号区段的区段曝光值超过最大区段曝光值时，进入评估模式。因此，局部过度曝光可触发减小传感器处的射束强度的保护措施。曝光值可基于区段曝光值或多个区段曝光值。可基于相应区段信号在捕获信号内的相对位置来对每个区段曝光值加权。例如，更高的权重可被分配给具有预期的高射束强度和/或具有高概率会暴露于高射束强度的区域。具体地，与具有低概率会捕获衍射图案的一部分的区域相比，被预测为捕获射束信号的至少一部分从而捕获衍射图案的区域可被分配更高的权重。

103、控制模块可对捕获信号进行滤波以生成经滤波的捕获信号。当确定是否已经超过曝光值阈值时，对捕获信号进行滤波可降低生成误报的概率。控制模块可应用空间滤波器以在传感器的多个检测器位点(例如，像素)上分布射束强度峰值，以提高对过度曝光的灵敏度和/或将实际的过度曝光与传感器内的缺陷(例如，热像素等)区分开。

104、控制模块可对每个区段信号应用滤波器，特别是对所有区段信号并行地应用滤波，以生成经滤波的区段信号。每个区段信号可例如覆盖捕获信号的正方形区域，特别是具有基于二的倍数的边缘长度，例如，64乘64像素面积。经滤波的信号可基于经暗校正的差帧，其中经暗校正的差帧可以是没有射束信号命中传感器的两个捕获信号的差值。区段信号可小到5×5像素。控制模块可被配置为将过度曝光与传感器缺陷区分开，即，区分传感器偏移、辐射损坏、缺陷像素和/或缺陷像素簇。应用滤波器可进一步提供检测点状或条状高射束强度区域的优点。另选地和/或附加地，控制模块可被配置为基于捕获信号来检测射束强度峰值、相应的曝光值峰值。具体地，可实现峰值检测方法，并且曝光值可基于峰值检测方法的结果。通过应用滤波器，可改变峰的形状以增加它们被检测为射束强度峰值和/或过度曝光区域的概率。

105、控制模块可基于经滤波的区段信号来确定曝光值。这实现了以下优点：滤波器的应用，特别是结合考虑至少一个区段，可提高控制模块的灵敏度以记录过度曝光并且优选地相应地控制bcd以限制射束强度。

106、控制模块可对捕获信号进行空间滤波以减小空间亮度梯度，特别是平滑亮度值。这可实现以下优点：将由射束信号引起的亮度峰值与传感器缺陷和/或信号伪影区分开。空间亮度梯度的减小可例如通过在多个像素上分布高亮度峰值来实现。

107、控制模块可接收目标捕获间隔，其中目标捕获间隔不含任何活动间隔，并且/或者其中控制模块被进一步配置为关于目标捕获间隔来确定最大允许射束强度值和/或最大曝光值。允许射束强度可基于捕获间隔来缩放。例如，允许射束强度可与捕获间隔长度成反比。曝光通过bcd或通过捕获间隔长度来控制。射束信号可包括非静止射束强度图案，使得可通过非活动间隔的间隔长度和/或通过捕获间隔的间隔长度来控制运动模糊。控制模块可基于目标捕获间隔来调整捕获，并且/或者可基于目标捕获间隔来调整控制间隔。目标捕获间隔可通过以下来实现：调整非活动间隔和活动间隔，使得非活动间隔和/或非活动间隔的总和对应于目标捕获间隔。

108、控制模块可每捕获间隔逐步增大非活动间隔和/或每捕获序列中的捕获间隔逐步减小活动间隔，并且/或者确定捕获序列中的至少一个捕获间隔或捕获序列中的每个捕获间隔的曝光值，并且/或者基于捕获序列中的捕获间隔的至少一个曝光值来设定仅包括非活动间隔、相应地不含活动间隔的控制间隔。因此，控制模块可确定是否应当捕获具有增大的射束强度的另外的测试捕获间隔，以关于系统的允许参数来确定实际射束强度。基于曝光值，控制模块可确定在没有bcd的激活的情况下的后续曝光是否将导致传感器的过度曝光。当通过活动间隔而不是捕获间隔来控制曝光时，目标可以是保持捕获间隔的预先确定的部分不含活动间隔。

109、控制模块可将最大安全曝光值与最大安全捕获间隔匹配。具体地，射束强度的局部最大值可在捕获信号中产生局部过度曝光。捕获间隔和/或非活动间隔的总和可被限制为未超过阈值，使得传感器可不被过度曝光。

110、控制模块可确定最佳安全捕获间隔。最佳安全捕获间隔还可以是特定捕获间隔内的活动间隔与非活动间隔的最佳安全比率。可基于捕获射束强度和/或基于对应的曝光值来确定最佳安全捕获间隔。最佳安全捕获间隔可通过以下来定义：根据预先确定的要求使捕获信号对射束信号的表示的动态范围最大化、使传感器寿命最大化和/或减小捕获射束强度。为了捕获衍射图案，射束强度峰值的空间分布可具有比强度分布更高的相关性。因此，控制模块可优先捕获每个峰值，同时降低亮度分辨率(即，动态范围)，并且继而限制捕获射束强度以增加传感器寿命。

111、控制模块可确定最小曝光值以及基于最小曝光值来设定控制间隔，使得在捕获信号内捕获和记录高于传感器的本底噪声的射束信号，和/或使得曝光值到最大安全曝光值的潜在增大最大化。在最小曝光值的情况下，捕获强度增大的裕量可最大化。控制模块可在评估模式内或作为单独步骤或模式来确定最小曝光值。最小曝光值可与bcd的最小激活和去激活定时相关联，即，与bcd可实现的非活动间隔的最小长度相关联。评估模式可从bcd的最小曝光值和/或最小活动间隔开始。

112、传感器可以高于最小捕获速率阈值的捕获速率捕获射束信号，特别是提供无闪烁、连续更新的捕获信号。

113、捕获速率可与每捕获间隔由总激活时间限定的射束曝光间隔解耦，并且/或者其中捕获速率独立于活动间隔和非活动间隔的序列。对bcd的控制也可与相机快门异步，即，针对一连串的捕获间隔，bcd激活图案可偏移。另选地，活动间隔和非活动间隔可形成在bcd控制间隔与捕获间隔不同步的情况下实现一致曝光的图案。例如，活动间隔和非活动间隔的图案可具有间隔交替的基本频率，该基本频率比捕获频率显著更高。

114、控制模块可调整控制间隔，使得当捕获间隔结束和/或捕获间隔开始时激活bcd。

115、根据第二方面，本发明涉及一种用于电子成像应用中的传感器保护的方法，该方法包括以下步骤：基于输入射束信号，通过在预先确定的时间间隔内改变经修改的射束信号的强度来提供经修改的射束信号。

116、该方法可包括：以预先确定的空间分辨率和/或可变时间分辨率捕获射束信号，特别是经修改的射束信号和/或输入射束信号，以及基于所捕获的射束信号来提供捕获信号。

117、该方法可包括：当bcd被激活时，阻止输入射束信号在输入射束信号的初始传播方向上传播经过bcd，特别是消隐器。

118、该方法可包括：提供可切换的物理屏障，该可切换的物理屏障被配置为至少部分地与输入射束信号的初始传播方向相交。

119、该方法可包括：借助于激活静电快门来提供静电场，使得输入射束信号的初始传播方向和经修改的射束信号的经修改的传播方向相对于彼此成角度。

120、该方法可包括：借助于激活电磁快门来提供电磁场，特别是周期性电磁场，使得输入射束信号的初始传播方向和经修改的射束信号的经修改的传播方向相对于彼此成角度。

121、该方法可包括：调整(特别是降低)输入射束的强度，以提供具有与输入射束基本上相等的强度或比输入射束更低的强度的经修改的射束。

122、该方法可包括：阻挡输入射束的横截面的至少一部分。

123、该方法可包括：当被激活时变换输入射束的横截面。

124、该方法可包括：至少部分地对输入射束信号进行反射和/或偏转。

125、该方法可包括：对输入射束信号进行聚焦和/或散焦，特别是通过增大和/或减小输入射束在成像平面处的横截面。

126、根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：将输入射束信号的第一部分发送到成像平面，以及将输入射束信号的第二部分朝向第二成像平面发送，其中成像平面的表面法线和第二成像平面的另外的表面法线相对于彼此成角度。

127、该方法可包括：对输入射束信号的横截面进行整形，特别是通过部分地阻挡输入射束信号。

128、该方法可包括：在时间间隔内修改射束强度分布。

129、该方法可包括：将bcd相对于输入射束信号的初始传播方向移动。

130、根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：将bcd平移和/或旋转到活动位置中，从而使得bcd能够提供经修改的射束信号；和/或将bcd平移和/或旋转到非活动位置中，从而禁止bcd提供经修改的射束信号。

131、该方法可包括：接收控制信号以及基于控制信号来激活bcd。

132、该方法可包括：在激活时间间隔的持续时间内激活bcd。

133、该方法可包括：通过控制信号指定激活时间间隔。

134、该方法可包括：基于控制参数来调整bcd与输入射束信号的相互作用。

135、该方法可包括：基于控制参数来修改输入射束信号的射束属性。

136、该方法可包括：基于阻挡信号来防止输入射束信号在初始传播方向上进一步传播经过bcd。

137、该方法可包括：基于定时参数来激活和/或去激活bcd。

138、该方法可包括：接收紧急阻挡信号以及基于紧急阻挡信号来防止输入射束信号在初始传播方向上进一步传播经过bcd。

139、该方法可包括：向bcd提供控制信号。

140、该方法可包括：基于捕获信号来生成曝光值以及基于曝光值来修改控制信号，特别是控制间隔。

141、方法可包括以下步骤：当曝光值超过上限阈值时，增大活动间隔和/或减小非活动间隔；和/或当曝光值下降到低于下限阈值时，减小活动间隔和/或增大非活动间隔。

142、该方法可包括：调整控制间隔，使得控制间隔包括其间bcd将活动的活动间隔和其间bcd将不活动的非活动间隔；以及基于曝光值来修改活动间隔与非活动间隔的比率。

143、该方法可包括：当曝光值超过上限阈值时，增大每个活动间隔；和/或当曝光值下降到低于下限阈值时，减小每个活动间隔。

144、该方法可包括：当曝光值超过上限阈值时，减小每个非活动间隔；和/或当曝光值下降到低于下限阈值时，增大每个非活动间隔。

145、该方法可包括：调整活动间隔的间隔持续时间和非活动间隔的另外的间隔持续时间，使得间隔频率保持恒定。

146、该方法可包括：连续地向bcd提供控制信号，或当控制信号改变时向bcd提供控制信号。

147、该方法可包括：基于曝光值来控制间隔频率以使曝光值与预先确定的基础曝光值匹配。

148、该方法可包括：基于传感器的捕获频率来调整控制间隔。

149、该方法可包括：以小于或等于捕获频率的频率修改活动间隔的间隔持续时间和/或非活动间隔的另外的间隔持续时间。

150、该方法可包括：当曝光值超过预先确定的限制阈值时，进入限制模式。

151、该方法可包括：对控制间隔应用脉宽调制(pwm)以控制在控制间隔期间经修改的射束信号的平均射束强度。

152、该方法可包括：调整控制间隔的pwm，特别是控制平均射束强度，以实现预先确定的曝光值，特别是最大安全曝光值。

153、该方法可包括：对控制间隔应用占空比限制控制以在传感器对射束信号的捕获间隔期间限制射束强度。

154、该方法可包括：调整控制间隔的占空比，特别是控制射束强度，以实现预先确定的曝光值，特别是最大安全曝光值。

155、该方法可包括：当接收到触发信号时，进入评估模式。

156、该方法可包括：设定控制间隔，该控制间隔包括预先确定的最大活动间隔和/或包括最小非活动间隔。

157、根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：每捕获间隔逐步增大非活动间隔和/或每捕获间隔逐步减小活动间隔，特别是针对后续一连串的捕获间隔。

158、该方法可包括：对控制间隔应用pwm以限制曝光值以及每捕获间隔逐步增大活动间隔的数量和/或活动间隔的持续时间。

159、该方法可包括：关于先前捕获间隔来确定每捕获间隔的曝光值的增大。

160、该方法可包括：当当前曝光值与最大安全曝光值的差值小于后续捕获间隔中的曝光值的预计增大时，退出评估模式。

161、该方法可包括：当确定的曝光值下降到低于最大安全曝光值并且/或者控制间隔包括预先确定的比率的活动间隔与非活动间隔、优选地控制间隔仅包括非活动间隔时，退出评估模式。

162、该方法可包括：保持具有控制间隔的控制信号，该控制间隔包括对应于在评估模式中确定的最后曝光值的活动间隔和非活动间隔的图案。

163、该方法可包括：将后续捕获间隔(优选地多个后续捕获间隔)的曝光值控制为在评估模式中确定的曝光值，特别是在评估模式中最后确定的曝光值。

164、该方法可包括：当保持在评估模式中确定的最后曝光值时，调整活动间隔图案。

165、该方法可包括：每捕获间隔将pwm活动间隔图案变换为连续活动间隔。

166、该方法可包括：设定衰减参数以控制经修改的射束信号的强度。

167、该方法可包括：每捕获间隔增大射束强度以及确定每次增大的曝光值。

168、该方法可包括：减小活动间隔，使得射束强度和/或曝光值每捕获间隔增大固定量。

169、该方法可包括：减小活动间隔，使得射束强度和/或曝光值根据预先确定的关系、特别是以固定因子来每捕获间隔增大。

170、该方法可包括：基于先前捕获间隔的曝光值来预测后续捕获间隔的第一曝光值以及基于第一曝光值来设定后续捕获间隔的控制间隔。

171、该方法可包括：基于先前捕获间隔的曝光值来预测后续捕获间隔之后的另外的捕获间隔的第二曝光值，设定后续捕获间隔的控制间隔和/或设定另外的捕获间隔的另外的控制间隔，和/或确定第二曝光值是否小于或等于最大安全曝光值。

172、该方法可包括：优选地当第二曝光值小于或等于最大安全曝光值或下降到低于最大安全曝光值预先确定的裕度值时，基于另外的捕获间隔来设定后续捕获间隔的控制间隔，特别是以另外的捕获间隔替换后续捕获间隔。

173、该方法可包括：预测包括一连串的后续捕获间隔的捕获序列中的每个捕获间隔的曝光值。

174、该方法可包括：针对捕获序列内的连续捕获间隔，每捕获间隔对应于活动间隔的总计持续时间的总激活时间减少。

175、该方法可包括：将捕获序列中的第一捕获间隔的第一总激活时间设定为捕获序列中的第二捕获间隔的第二总激活时间。

176、该方法可包括：将捕获间隔的总激活时间减少等于捕获序列中的至少两个后续捕获间隔的总激活时间的组合减少的量，特别是当该减少产生低于最大安全曝光值的预测曝光值时。

177、该方法可包括：基于捕获间隔(特别是捕获序列中的先前捕获间隔)的确定的曝光值来调整捕获序列中的捕获间隔的预测曝光值。

178、该方法可包括：在捕获序列内每捕获间隔调整总激活时间的减少速率。

179、该方法可包括：将捕获信号划分成一组区段信号，其中每个区段信号包括捕获信号的内聚子组，以及确定每个区段信号的区段曝光值。

180、该方法可包括：将限定区段信号的捕获信号的内聚子组沿射束信号的至少一个维度重叠，优选地将内聚子组在空间上重叠至少25％，更优选地将内聚子组在空间上重叠至少50％。

181、该方法可包括：激活bcd，和/或当信号区段的区段曝光值超过最大区段曝光值时，进入评估模式。

182、该方法可包括：对捕获信号进行滤波以生成经滤波的捕获信号。

183、该方法可包括：对每个区段信号应用滤波器，特别是对所有区段信号并行地应用滤波，以生成经滤波的区段信号。

184、该方法可包括：基于经滤波的区段信号来确定曝光值。

185、该方法可包括：对捕获信号进行空间滤波以减小空间亮度梯度，特别是平滑亮度值。

186、该方法可包括：接收目标捕获间隔，其中目标捕获间隔不含任何活动间隔，和/或关于目标捕获间隔来确定最大允许射束强度值和/或最大曝光值。

187、该方法可包括以下步骤：每捕获间隔逐步增大非活动间隔和/或每捕获序列中的捕获间隔逐步减小活动间隔，和/或确定捕获序列中的至少一个捕获间隔或捕获序列中的每个捕获间隔的曝光值，和/或基于捕获序列中的捕获间隔的至少一个曝光值来设定仅包括非活动间隔、相应地不含活动间隔的控制间隔。

188、该方法可包括：将最大安全曝光值与最大安全捕获间隔匹配。

189、该方法可包括：确定最佳安全捕获间隔。

190、该方法可包括：确定最小曝光值以及基于最小曝光值来设定控制间隔，使得在捕获信号内捕获和记录高于传感器的本底噪声的射束信号，和/或使得曝光值到最大安全曝光值的潜在增大最大化。

191、该方法可包括：以高于最小捕获速率阈值的捕获速率捕获射束信号，特别是提供无闪烁、连续更新的捕获信号。

192、该方法可包括：调整控制间隔，使得当捕获间隔结束和/或捕获间隔开始时激活bcd。

193、本发明进一步由以下编号的实施方案来限定。

194、下面，将讨论系统实施方案。这些实施例缩写为字母“s”跟随数字。每当本文提及“系统实施例”时，均意指这些实施例。

195、s1.一种用于电子成像应用中的传感器保护的系统，该系统包括射束控制设备(bcd)，该bcd被配置为基于输入射束信号来提供射束信号，其中该射束信号包括改变的射束强度。

196、s2.根据前述实施方案所述的系统，其中该bcd被配置为在预先确定的时间间隔内改变射束信号的强度。

197、s3.根据前述实施方案中任一项所述的系统，该系统包括

198、传感器，该传感器被配置为捕获射束信号，特别是经修改的射束信号和/或输入射束信号，并且基于射束信号来提供捕获信号。

199、s4.根据前述实施方案中任一项所述、具有s3的特征的系统，其中

200、传感器被配置为提供射束信号的空间上和/或时间上可分辨的表示作为捕获信号的一部分。

201、s5.根据前述实施方案中任一项所述的系统，其中bcd可包括消隐器，该消隐器被配置为当被激活时阻止输入射束信号在输入射束信号的初始传播方向上传播经过消隐器。

202、s6.根据前述实施方案中任一项所述的系统，其中bcd包括机械快门，该机械快门被配置为当被激活时提供可切换的物理屏障，该可切换的物理屏障被配置为至少部分地与输入射束信号的初始传播方向相交。

203、s7.根据前述实施方案中任一项所述的系统，其中bcd包括静电快门，该静电快门被配置为当被激活时提供静电场，使得输入射束信号的初始传播方向和经修改的射束信号的经修改的传播方向相对于彼此成角度，特别是当静电快门活动时。

204、s8.根据前述实施方案中任一项所述的系统，其中bcd包括电磁(电动)快门，该电磁(电动)快门被配置为当被激活时提供电磁场，特别是周期性电磁场，使得输入射束信号的初始传播方向和经修改的射束信号的经修改的传播方向相对于彼此成角度，特别是当电磁快门活动时。

205、s9.根据前述实施方案中任一项所述的系统，其中bcd包括衰减器，该衰减器被配置为当被激活时降低输入射束的强度，以提供具有与输入射束信号基本上相等的强度或比输入射束信号更低的强度的经修改的射束。

206、s10.根据前述实施方案中任一项所述的系统，其中bcd包括孔口，

207、该孔口被配置为当被激活时阻挡输入射束信号的横截面的至少一部分。

208、s11.根据前述实施方案中任一项所述的系统，其中bcd包括透镜，

209、该透镜被配置为当被激活时变换输入射束的横截面。

210、s12.根据前述实施方案中任一项所述的系统，其中bcd包括反射镜，该反射镜被配置为当被激活时至少部分地对输入射束信号进行反射和/或偏转。

211、s13.根据前述实施方案中任一项所述的系统，其中bcd包括聚焦元件，该聚焦元件被配置为当被激活时对输入射束信号进行聚焦和/或散焦，特别是通过增大和/或减小输入射束在成像平面处的横截面。

212、s14.根据前述实施方案中任一项所述的系统，其中bcd包括分束器，该分束器被配置为当被激活时将输入射束信号的第一部分发送到成像平面并且将输入射束信号的第二部分朝向第二成像平面发送，其中成像平面的表面法线和第二成像平面的另外的表面法线相对于彼此成角度。

213、s15.根据前述实施方案中任一项所述的系统，其中bcd包括狭缝，

214、该狭缝被配置为当被激活时对输入射束信号的横截面进行整形，特别是通过部分地阻挡输入射束信号。

215、s16.根据前述实施方案中任一项所述的系统，其中bcd包括射束斩波器，该射束斩波器被配置为当被激活时在时间间隔内修改射束强度分布。

216、s17.根据前述实施方案中任一项所述的系统，该系统包括运动部件，该运动部件被配置为将bcd相对于输入射束信号的初始传播方向移动。

217、s18.根据前述实施方案中任一项所述、具有s17的特征的系统，其中运动部件被配置为将bcd平移和/或旋转到活动位置中，从而使得bcd能够提供经修改的射束信号；和/或将bcd平移和/

218、或旋转到非活动位置中，从而禁止bcd提供经修改的射束信号。

219、s19.根据前述实施方案中任一项所述的系统，其中bcd被配置为接收控制信号并且基于控制信号来激活和/或去激活。

220、s20.根据前述实施方案中任一项所述、具有s19的特征的系统，其中bcd被配置为在活动间隔的持续时间内激活和/或在非活动间隔的持续时间内去激活。

221、s21.根据前述实施方案中任一项所述、具有s20的特征的系统，其中控制信号包括具有活动间隔和/或非活动间隔的控制间隔。

222、s22.根据前述实施方案中任一项所述、具有s20的特征的系统，其中活动间隔和非活动间隔形成周期性信号。

223、s23.根据前述实施方案中任一项所述的系统，其中bcd被配置为接收控制参数并且基于控制参数来调整与输入射束信号的相互作用。

224、s24.根据前述实施方案中任一项所述、具有s19的特征的系统，其中bcd被配置为基于控制参数来修改输入射束信号的射束属性。

225、s25.根据前述实施方案中任一项所述的系统，其中bcd被配置为接收阻挡信号并且基于阻挡信号来防止输入射束信号在初始传播方向上进一步传播经过bcd。

226、s26.根据前述实施方案中任一项所述、具有s19的特征的系统，其中控制信号包括定时参数，并且其中bcd被配置为基于定时参数来激活和/或去激活。

227、s27.根据前述实施方案中任一项所述的系统，该系统包括辅助bcd，该辅助bcd被配置为接收紧急阻挡信号并且基于紧急阻挡信号来防止输入射束信号在初始传播方向上进一步传播经过辅助bcd。

228、s28.根据前述实施方案中任一项所述、具有s27的特征的系统，其中辅助bcd为根据实施方案s5至s12中任一项所述的bcd。

229、s29.根据前述实施方案中任一项所述、具有s27的特征的系统，其中辅助bcd被放置在关于输入射束信号的方向而言bcd的上游或下游。

230、s30.根据前述实施方案中任一项所述的系统，该系统包括控制模块，该控制模块被配置为向bcd提供控制信号和/或阻挡信号和/或向辅助bcd提供紧急阻挡信号。

231、s31.根据前述实施方案中任一项所述、具有s3和s30的特征的系统，其中控制模块被配置为基于捕获信号来生成曝光值并且基于曝光值来修改控制信号，特别是控制间隔。

232、s32.根据前述实施方案中任一项所述、具有s31的特征的系统，其中控制模块被配置为当曝光值未超过上限阈值、特别是最大安全曝光值时减小活动间隔。

233、s33.根据前述实施方案中任一项所述、具有的特征的系统，s31其中控制模块被配置为当曝光值超过上限阈值时，增大活动间隔和/或减小非活动间隔，并且/或者当曝光值下降到低于下限阈值、特别是最小检测曝光值时，减小活动间隔和/或增大非活动间隔。

234、s34.根据前述实施方案中任一项所述、具有s21和s31的特征的系统，其中控制模块被配置为调整控制间隔，使得控制间隔包括其间bcd将活动的活动间隔和其间bcd将不活动的非活动间隔，并且其中控制模块被配置为基于曝光值来修改活动间隔与非活动间隔的比率。

235、s35.根据前述实施方案中任一项所述、具有s34的特征的系统，其中控制模块被配置为当曝光值超过上限阈值时，增大每个活动间隔，并且/或者当曝光值下降到低于下限阈值时，减小每个活动间隔。

236、s36.根据前述实施方案中任一项所述、具有s34的特征的系统，其中控制模块被配置为当曝光值超过上限阈值时，减小每个非活动间隔，并且/或者当曝光值下降到低于下限阈值时，增大每个非活动间隔。

237、s37.根据前述实施方案中任一项所述、具有s34的特征的系统，其中控制模块被配置为调整活动间隔的间隔持续时间和非活动间隔的另外的间隔持续时间，使得间隔频率保持恒定。

238、s38.根据前述实施方案中任一项所述、具有s30的特征的系统，其中控制模块被配置为连续地向bcd提供控制信号，或当控制信号改变时向bcd提供控制信号。

239、s39.根据前述实施方案中任一项所述、具有s34的特征的系统，其中控制模块被配置为基于曝光值来控制间隔频率以使曝光值与预先确定的基础曝光值匹配。

240、s40.根据前述实施方案中任一项所述、具有s3和s30的特征的系统，其中控制模块被配置为基于传感器的捕获频率来调整控制间隔。

241、s41.根据前述实施方案中任一项所述、具有s40的特征的系统，其中控制模块被配置为以小于或等于捕获频率的频率修改活动间隔的间隔持续时间和/或非活动间隔的另外的间隔持续时间。

242、s42.根据前述实施方案中任一项所述、具有s31的特征的系统，其中控制模块被配置为当曝光值超过预先确定的限制阈值时，进入限制模式。

243、s43.根据前述实施方案中任一项所述、具有s42的特征的系统，其中控制模块被配置为对控制间隔应用脉宽调制(pwm)以控制在控制间隔期间经修改的射束信号的平均射束强度。

244、s44.根据前述实施方案中任一项所述、具有s43的特征的系统，其中控制模块被配置为调整控制间隔的pwm，特别是控制平均射束强度，以实现预先确定的曝光值，特别是最大安全曝光值。

245、s45.根据前述实施方案中任一项所述、具有s20和s42的特征的系统，其中控制模块被配置为对控制间隔应用占空比限制控制以在传感器对射束信号的捕获间隔期间限制射束强度。

246、s46.根据前述实施方案中任一项所述、具有s45的特征的系统，其中控制模块被配置为调整控制间隔的占空比，特别是控制射束强度，以实现预先确定的曝光值，特别是最大安全曝光值。

247、s47.根据前述实施方案中任一项所述、具有s31的特征的系统，其中控制模块被配置为当控制模块接收到触发信号时，进入评估模式。

248、s48.根据前述实施方案中任一项所述、具有s47的特征的系统，其中控制模块被配置为设定控制间隔，该控制间隔包括预先确定的最大活动间隔和/或包括最小非活动间隔。

249、s49.根据前述实施方案中任一项所述、具有s47的特征的系统，其中控制模块被配置为每捕获间隔逐步增大非活动间隔和/或每捕获间隔逐步减小活动间隔，特别是针对后续一连串的捕获间隔。

250、s50.根据前述实施方案中任一项所述、具有s47的特征的系统，其中控制模块被配置为对控制间隔应用pwm以限制曝光值并且每捕获间隔逐步增大活动间隔的数量和/或活动间隔的持续时间。

251、s51.根据前述实施方案中任一项所述、具有s47的特征的系统，其中控制模块被配置为关于先前捕获间隔来确定每捕获间隔的曝光值的增大。

252、s52.根据前述实施方案中任一项所述、具有s51的特征的系统，其中控制模块被配置为当当前曝光值与最大安全曝光值的差值小于后续捕获间隔中的曝光值的预计增大时，退出评估模式。

253、s53.根据前述实施方案中任一项所述、具有s51的特征的系统，其中控制模块被配置为当确定的曝光值下降到低于最大安全曝光值并且/或者控制间隔包括预先确定的比率的活动间隔与非活动间隔、优选地控制间隔仅包括非活动间隔时，退出评估模式。

254、s54.根据前述实施方案中任一项所述、具有s52的特征的系统，其中控制模块被配置为保持具有控制间隔的控制信号，该控制间隔包括对应于在评估模式中确定的最后曝光值的活动间隔和非活动间隔的图案。

255、s55.根据前述实施方案中任一项所述、具有s52的特征的系统，其中控制模块被配置为将后续捕获间隔(优选地多个后续捕获间隔)的曝光值控制为在评估模式中确定的曝光值，特别是在评估模式中最后确定的曝光值。

256、s56.根据前述实施方案中任一项所述、具有s55的特征的系统，其中控制模块被配置为当保持在评估模式中确定的最后曝光值时，调整活动间隔图案。

257、s57.根据前述实施方案中任一项所述、具有s56的特征的系统，其中控制模块被配置为每捕获间隔将pwm活动间隔图案变换为连续活动间隔。

258、s58.根据前述实施方案中任一项所述、具有s9至s13和s30中的至少一项的特征的系统，其中控制模块被配置为设定衰减参数以控制经修改的射束信号的强度。

259、s59.根据前述实施方案中任一项所述、具有s47和s58的特征的系统，其中控制模块被配置为每捕获间隔增大射束强度并且确定每次增大的曝光值。

260、s60.根据前述实施方案中任一项所述、具有s47的特征的系统，其中控制模块被配置为减小活动间隔，使得射束强度和/或曝光值每捕获间隔增大固定量。

261、s61.根据前述实施方案中任一项所述、具有s47的特征的系统，其中控制模块被配置为减小活动间隔，使得射束强度和/或曝光值根据预先确定的关系、特别是以固定因子来每捕获间隔增大。

262、s62.根据前述实施方案中任一项所述、具有s47的特征的系统，其中控制模块被配置为

263、基于先前捕获间隔的曝光值来预测后续捕获间隔的第一曝光值并且基于第一曝光值来设定后续捕获间隔的控制间隔。

264、s63.根据前述实施方案中任一项所述、具有s62的特征的系统，其中控制模块被配置为

265、基于先前捕获间隔的曝光值来预测后续捕获间隔之后的另外的捕获间隔的第二曝光值，设定后续捕获间隔的控制间隔和/

266、或设定另外的捕获间隔的另外的控制间隔，和/或

267、确定第二曝光值是否小于或等于最大安全曝光值。

268、s64.根据前述实施方案中任一项所述的系统，其中控制模块被配置为：基于先前捕获间隔的曝光值来预测后续捕获间隔序列的所选择的捕获间隔的曝光值；确定曝光值是否小于或等于最大安全曝光值；并且/或者基于所选择的捕获间隔的控制间隔来设定后续捕获间隔的控制间隔，并且/或者其中所选择的捕获间隔处于后续捕获间隔序列的第二位置或更高位置处。

269、s65.根据前述实施方案中任一项所述、具有s63的特征的系统，其中控制模块被配置为优选地当第二曝光值小于或等于最大安全曝光值或下降到低于最大安全曝光值预先确定的裕度值时，基于另外的捕获间隔来设定后续捕获间隔的控制间隔，特别是以另外的捕获间隔替换后续捕获间隔。

270、s66.根据前述实施方案中任一项所述、具有s65的特征的系统，其中捕获间隔的控制间隔包括第一pwm占空比并且后续捕获间隔的控制间隔包括第二pwm占空比，并且其中第二pwm占空比高于第一pwm占空比，优选地高于预设pwm占空比增大。s67.根据前述实施方案中任一项所述、具有s47的特征的系统，其中控制模块被配置为预测包括一连串的后续捕获间隔的捕获序列中的每个捕获间隔的曝光值。

271、s68.根据前述实施方案中任一项所述、具有s67的特征的系统，其中针对捕获序列内的连续捕获间隔，每捕获间隔对应于活动间隔的总计持续时间的总激活时间减少。

272、s69.根据前述实施方案中任一项所述、具有s67的特征的系统，其中控制模块被配置为将捕获序列中的第一捕获间隔的第一总激活时间设定为捕获序列中的第二捕获间隔的第二总激活时间。

273、s70.根据前述实施方案中任一项所述、具有s69的特征的系统，其中第二总激活时间小于第一总激活时间，使得对应于第一总激活时间的第一曝光值低于对应于第二总激活时间的第二曝光值。

274、s71.根据前述实施方案中任一项所述、具有s70的特征的系统，其中第一总激活时间和第二总激活时间之间的绝对差值小于捕获序列中的至少一对后续捕获间隔的总激活时间之间的绝对差值。

275、s72.根据前述实施方案中任一项所述、具有s70的特征的系统，其中第一总激活时间和第二总激活时间之间的绝对差值小于捕获序列中的两个所选择的捕获间隔的总激活时间之间的绝对差值。

276、s73.根据前述实施方案中任一项所述、具有s67的特征的系统，其中控制模块被配置为将捕获间隔的总激活时间减少等于捕获序列中的至少两个后续捕获间隔的总激活时间的组合减少的量，

277、特别是当该减少产生低于最大安全曝光值的预测曝光值时。

278、s74.根据前述实施方案中任一项所述、具有s47的特征的系统，其中控制模块被配置为基于捕获间隔(特别是捕获序列中的先前捕获间隔)的确定的曝光值来调整捕获序列中的捕获间隔的预测曝光值。

279、s75.根据前述实施方案中任一项所述、具有s47的特征的系统，其中控制模块被配置为在捕获序列内每捕获间隔调整总激活时间的减少速率。

280、s76.根据前述实施方案中任一项所述、具有s3和s30的特征的系统，其中控制模块被配置为将捕获信号划分成一组区段信号，其中每个区段信号包括捕获信号的内聚子组，并且确定每个区段信号的区段曝光值。

281、s77.根据前述实施方案中任一项所述、具有s76的特征的系统，其中控制模块被配置为将限定区段信号的捕获信号的内聚子组沿射束信号的至少一个维度重叠，优选地将内聚子组在空间上重叠至少25％，更优选地将内聚子组在空间上重叠至少50％。

282、s78.根据前述实施方案中任一项所述、具有s77的特征的系统，其中控制模块被配置为激活bcd，并且/或者当信号区段的区段曝光值超过最大区段曝光值时，进入评估模式。

283、s79.根据前述实施方案中任一项所述、具有s3和s30的特征的系统，其中控制模块被配置为对捕获信号进行滤波以生成经滤波的捕获信号。

284、s80.根据前述实施方案中任一项所述、具有s76和s79的特征的系统，其中控制模块被配置为对每个区段信号应用滤波器，特别是对所有区段信号并行地应用滤波，以生成经滤波的区段信号。

285、s81.根据前述实施方案中任一项所述、具有s80的特征的系统，其中控制模块被配置为基于经滤波的区段信号来确定曝光值。

286、s82.根据前述实施方案中任一项所述、具有s79的特征的系统，其中控制模块被配置为对捕获信号进行空间滤波以减小空间亮度梯度，特别是平滑亮度值。

287、s83.根据前述实施方案中任一项所述、具有s30的特征的系统，其中控制模块被配置为接收目标捕获间隔，其中目标捕获间隔不含任何活动间隔，并且/或者其中控制模块被进一步配置为关于目标捕获间隔来确定最大允许射束强度值和/或最大曝光值。

288、s84.根据前述实施方案中任一项所述、具有s83的特征的系统，其中控制模块被配置为每捕获间隔逐步增大非活动间隔并且/或者每捕获序列中的捕获间隔逐步减小活动间隔并且/或者确定捕获序列中的至少一个捕获间隔或捕获序列中的每个捕获间隔的曝光值，并且/或者基于捕获序列中的捕获间隔的至少一个曝光值来设定仅包括非活动间隔、相应地不含活动间隔的控制间隔。

289、s85.根据前述实施方案中任一项所述、具有s30的特征的系统，其中控制模块被配置为将最大安全曝光值与最大安全捕获间隔匹配。

290、s86.根据前述实施方案中任一项所述、具有s30的特征的系统，其中控制模块被配置为确定最佳安全捕获间隔。

291、s87.根据前述实施方案中任一项所述、具有s30的特征的系统，其中控制模块被配置为确定最小曝光值并且基于最小曝光值来设定控制间隔，使得在捕获信号内捕获和记录高于传感器的本底噪声的射束信号，和/或使得曝光值到最大安全曝光值的潜在增大最大化。

292、s88.根据前述实施方案中任一项所述的系统，其中传感器被配置为以高于最小捕获速率阈值的捕获速率捕获射束信号，特别是提供无闪烁、连续更新的捕获信号。

293、s89.根据前述实施方案中任一项所述的系统，其中捕获速率与每捕获间隔由总激活时间限定的射束曝光间隔解耦，并且/或者其中捕获速率独立于活动间隔和非活动间隔的序列。

294、s90.根据前述实施方案中任一项所述的系统，其中控制模块被配置为调整控制间隔，使得当捕获间隔结束和/或捕获间隔开始时，

295、激活bcd。

296、下面，将讨论方法实施方案。这些实施方案缩写为字母“m”跟随数字。每当本文提及“方法实施方案”时，均意指这些实施方案。

297、m1.一种用于电子成像应用中的传感器保护的方法，该方法包括以下步骤

298、基于输入射束信号，通过在预先确定的时间间隔内改变经修改的射束信号的强度来提供经修改的射束信号。

299、m2.根据前述实施方案所述的方法，该方法包括以下步骤

300、以预先确定的空间分辨率和/或可变时间分辨率捕获射束信号，特别是经修改的射束信号和/或输入射束信号；以及

301、基于所捕获的射束信号来提供捕获信号。

302、m3.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：当bcd被激活时，阻止输入射束信号在输入射束信号的初始传播方向上传播经过bcd，特别是消隐器。

303、m4.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：提供可切换的物理屏障，该可切换的物理屏障被配置为至少部分地与输入射束信号的初始传播方向相交。

304、m5.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：借助于激活静电快门来提供静电场，使得输入射束信号的初始传播方向和经修改的射束信号的经修改的传播方向相对于彼此成角度。

305、m6.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：借助于激活电磁快门来提供电磁场，特别是周期性电磁场，使得输入射束信号的初始传播方向和经修改的射束信号的经修改的传播方向相对于彼此成角度。

306、m7.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：调整(特别是降低)输入射束的强度，以提供具有与输入射束基本上相等的强度或比输入射束更低的强度的经修改的射束。

307、m8.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：阻挡输入射束的横截面的至少一部分。

308、m9.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：当被激活时变换输入射束的横截面。

309、m10.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：至少部分地对输入射束信号进行反射和/或偏转。

310、m11.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：对输入射束信号进行聚焦和/或散焦，特别是通过增大和/或减小输入射束在成像平面处的横截面。

311、m12.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：将输入射束信号的第一部分发送到成像平面，以及将输入射束信号的第二部分朝向第二成像平面发送，其中成像平面的表面法线和第二成像平面的另外的表面法线相对于彼此成角度。

312、m13.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：对输入射束信号的横截面进行整形，特别是通过部分地阻挡输入射束信号。

313、m14.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：在时间间隔内修改射束强度分布。

314、m15.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：将bcd相对于输入射束信号的初始传播方向移动。

315、m16.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：将bcd平移和/或旋转到活动位置中，从而使得bcd能够提供经修改的射束信号；和/或将bcd平移和/或旋转到非活动位置中，从而禁止bcd提供经修改的射束信号。

316、m17.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：接收控制信号以及基于控制信号来激活bcd。

317、m18.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：在激活时间间隔的持续时间内激活bcd。

318、m19.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：通过控制信号指定激活时间间隔。

319、m20.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：基于控制参数来调整bcd与输入射束信号的相互作用。

320、m21.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：基于控制参数来修改输入射束信号的射束属性。

321、m22.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：基于阻挡信号来防止输入射束信号在初始传播方向上进一步传播经过bcd。

322、m23.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：基于定时参数来激活和/或去激活bcd。

323、m24.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：接收紧急阻挡信号以及基于紧急阻挡信号来防止输入射束信号在初始传播方向上进一步传播经过bcd。

324、m25.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：向bcd提供控制信号。

325、m26.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：基于捕获信号来生成曝光值以及基于曝光值来修改控制信号，特别是控制间隔。

326、m27.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：当曝光值超过上限阈值时，增大活动间隔和/或减小非活动间隔；和/或当曝光值下降到低于下限阈值时，减小活动间隔和/

327、或增大非活动间隔。

328、m28.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：调整控制间隔，使得控制间隔包括其间bcd将活动的活动间隔和其间bcd将不活动的非活动间隔；以及基于曝光值来修改活动间隔与非活动间隔的比率。

329、m29.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：当曝光值超过上限阈值时，增大每个活动间隔；和/或当曝光值下降到低于下限阈值时，减小每个活动间隔。

330、m30.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：当曝光值超过上限阈值时，减小每个非活动间隔；和/或当曝光值下降到低于下限阈值时，增大每个非活动间隔。

331、m31.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：调整活动间隔的间隔持续时间和非活动间隔的另外的间隔持续时间，使得间隔频率保持恒定。

332、m32.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：连续地向bcd提供控制信号，或当控制信号改变时向bcd提供控制信号。

333、m33.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：基于曝光值来控制间隔频率以使曝光值与预先确定的基础曝光值匹配。

334、m34.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：基于传感器的捕获频率来调整控制间隔。

335、m35.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：以小于或等于捕获频率的频率修改活动间隔的间隔持续时间和/或非活动间隔的另外的间隔持续时间。

336、m36.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：当曝光值超过预先确定的限制阈值时，进入限制模式。

337、m37.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：对控制间隔应用脉宽调制(pwm)以控制在控制间隔期间经修改的射束信号的平均射束强度。

338、m38.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：调整控制间隔的pwm，特别是控制平均射束强度，以实现预先确定的曝光值，特别是最大安全曝光值。

339、m39.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：对控制间隔应用占空比限制控制以在传感器对射束信号的捕获间隔期间限制射束强度。

340、m40.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：调整控制间隔的占空比，特别是控制射束强度，以实现预先确定的曝光值，特别是最大安全曝光值。

341、m41.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：当接收到触发信号时，进入评估模式。

342、m42.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：设定控制间隔，该控制间隔包括预先确定的最大活动间隔和/或包括最小非活动间隔。

343、m43.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：每捕获间隔逐步增大非活动间隔和/或每捕获间隔逐步减小活动间隔，特别是针对后续一连串的捕获间隔。

344、m44.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：对控制间隔应用pwm以限制曝光值以及每捕获间隔逐步增大活动间隔的数量和/或活动间隔的持续时间。

345、m45.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：关于先前捕获间隔来确定每捕获间隔的曝光值的增大。

346、m46.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：当当前曝光值与最大安全曝光值的差小于后续捕获间隔中的曝光值的预计增大时，退出评估模式。

347、m47.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：当确定的曝光值下降到低于最大安全曝光值并且/或者控制间隔包括预先确定的比率的活动间隔与非活动间隔、优选地控制间隔仅包括非活动间隔时，退出评估模式。

348、m48.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：保持具有控制间隔的控制信号，该控制间隔包括对应于在评估模式中确定的最后曝光值的活动间隔和非活动间隔的图案。

349、m49.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：将后续捕获间隔(优选地多个后续捕获间隔)的曝光值控制为在评估模式中确定的曝光值，特别是在评估模式中最后确定的曝光值。

350、m50.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：当保持在评估模式中确定的最后曝光值时，调整活动间隔图案。

351、m51.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：每捕获间隔将pwm活动间隔图案变换为连续活动间隔。

352、m52.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：设定衰减参数以控制经修改的射束信号的强度。

353、m53.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：每捕获间隔增大射束强度以及确定每次增大的曝光值。

354、m54.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：减小活动间隔，使得射束强度和/或曝光值每捕获间隔增大固定量。

355、m55.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：减小活动间隔，使得射束强度和/或曝光值根据预先确定的关系、特别是以固定因子来每捕获间隔增大。

356、m56.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：基于先前捕获间隔的曝光值来预测后续捕获间隔的第一曝光值以及基于第一曝光值来设定后续捕获间隔的控制间隔。

357、m57.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：基于先前捕获间隔的曝光值来预测后续捕获间隔之后的另外的捕获间隔的第二曝光值，设定后续捕获间隔的控制间隔和/

358、或设定另外的捕获间隔的另外的控制间隔，和/或

359、确定第二曝光值是否小于或等于最大安全曝光值。

360、m58.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：优选地当第二曝光值小于或等于最大安全曝光值或下降到低于最大安全曝光值预先确定的裕度值时，基于另外的捕获间隔来设定后续捕获间隔的控制间隔，特别是以另外的捕获间隔替换后续捕获间隔。

361、m59.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：预测包括一连串的后续捕获间隔的捕获序列中的每个捕获间隔的曝光值。

362、m60.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：针对捕获序列内的连续捕获间隔，每捕获间隔减少对应于活动间隔的总计持续时间的总激活时间。

363、m61.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：将捕获序列中的第一捕获间隔的第一总激活时间设定为捕获序列中的第二捕获间隔的第二总激活时间。

364、m62.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：将捕获间隔的总激活时间减少等于捕获序列中的至少两个后续捕获间隔的总激活时间的组合减少的量，特别是当该减少产生低于最大安全曝光值的预测曝光值时。

365、m63.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：基于捕获间隔(特别是捕获序列中的先前捕获间隔)的确定的曝光值来调整捕获序列中的捕获间隔的预测曝光值。

366、m64.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：在捕获序列内每捕获间隔调整总激活时间的减少速率。

367、m65.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：将捕获信号划分成一组区段信号，其中每个区段信号包括捕获信号的内聚子组，以及确定每个区段信号的区段曝光值。

368、m66.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：将限定区段信号的捕获信号的内聚子组沿射束信号的至少一个维度重叠，优选地将内聚子组在空间上重叠至少25％，更优选地将内聚子组在空间上重叠至少50％。

369、m67.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：激活bcd，和/或当信号区段的区段曝光值超过最大区段曝光值时，进入评估模式。

370、m68.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：对捕获信号进行滤波以生成经滤波的捕获信号。

371、m69.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：对每个区段信号应用滤波器，特别是对所有区段信号并行地应用滤波，以生成经滤波的区段信号。

372、m70.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：基于经滤波的区段信号来确定曝光值。

373、m71.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：对捕获信号进行空间滤波以减小空间亮度梯度，特别是平滑亮度值。

374、m72.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：接收目标捕获间隔，其中目标捕获间隔不含任何活动间隔，和/或关于目标捕获间隔来确定最大允许射束强度值和/或最大曝光值。

375、m73.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：每捕获间隔逐步增大非活动间隔和/或每捕获序列中的捕获间隔逐步减小活动间隔，和/或确定捕获序列中的至少一个捕获间隔或捕获序列中的每个捕获间隔的曝光值，和/或基于捕获序列中的捕获间隔的至少一个曝光值来设定仅包括非活动间隔、相应地不含活动间隔的控制间隔。

376、m74.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：将最大安全曝光值与最大安全捕获间隔匹配。

377、m75.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：确定最佳安全捕获间隔。

378、m76.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：确定最小曝光值以及基于最小曝光值来设定控制间隔，使得在捕获信号内捕获和记录高于传感器的本底噪声的射束信号，和/或使得曝光值到最大安全曝光值的潜在增大最大化。

379、m77.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：以高于最小捕获速率阈值的捕获速率捕获射束信号，特别是提供无闪烁、连续更新的捕获信号。

380、m78.根据前述实施方案中任一项所述的方法，该方法包括以下步骤：调整控制间隔，使得当捕获间隔结束和/或捕获间隔开始时激活bcd。