用于电子成像应用中的传感器保护的系统的制作方法

文档序号:37138822发布日期:2024-02-26 16:50阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于电子成像应用中的传感器保护的系统,所述系统包括

2.根据权利要求1所述的系统,其中所述bcd被配置为在活动间隔的持续时间内激活,并且其中所述控制模块被配置为当所述曝光值未超过上限阈值时减小所述活动间隔。

3.根据前述权利要求中任一项所述的系统,其中所述控制模块被配置为:当所述控制模块接收到触发信号时,进入评估模式;设定控制间隔,所述控制间隔包括预先确定的最大活动间隔;并且针对后续一连串的捕获间隔,每捕获间隔逐步减小所述活动间隔。

4.根据前述权利要求中任一项所述的系统,其中所述控制信号包括具有所述活动间隔的控制间隔,并且其中所述控制模块被配置为对所述控制间隔应用脉宽调制以控制在所述控制间隔期间经修改的射束信号的平均射束强度。

5.根据前述权利要求中任一项所述的系统,其中所述控制模块被配置为关于先前捕获间隔来确定每捕获间隔的所述曝光值的增大。

6.根据前述权利要求中任一项所述的系统,其中所述控制模块被配置为当满足以下条件中的至少一个条件时退出所述评估模式:

7.根据权利要求6所述的系统,其中所述控制模块被配置为将后续捕获间隔的曝光值控制为在所述评估模式中确定的曝光值。

8.根据前述权利要求中任一项所述的系统,其中所述控制模块被配置为减小所述活动间隔,使得所述曝光值根据预先确定的关系来每捕获间隔增大。

9.根据前述权利要求中任一项所述的系统,其中所述控制模块被配置为:基于先前捕获间隔的曝光值来预测后续捕获间隔序列中的所选择的捕获间隔的曝光值;确定所述曝光值是否小于或等于最大安全曝光值;并且基于所述选择的捕获间隔的控制间隔来设定所述后续捕获间隔的控制间隔,并且其中所述选择的捕获间隔处于所述后续捕获间隔序列的第二位置或更高位置处。

10.根据前述权利要求中任一项所述的系统,其中所述控制模块被配置为预测包括一连串的后续捕获间隔的捕获序列中的每个捕获间隔的曝光值,并且其中针对所述捕获序列内的连续捕获间隔,每捕获间隔的对应于活动间隔的总计持续时间的总激活时间减少。

11.根据前述权利要求中任一项所述的系统,其中所述控制模块被配置为:将所述捕获信号划分成一组区段信号,其中每个区段信号包括所述捕获信号的内聚子组;并且确定每个区段信号的区段曝光值;并且将限定所述区段信号的所述捕获信号的所述内聚子组沿所述射束信号的至少一个维度重叠;并且当信号区段的区段曝光值超过最大区段曝光值时,激活所述bcd。

12.根据前述权利要求中任一项所述的系统,其中所述控制模块被配置为对所述捕获信号进行空间滤波以减小空间亮度梯度。

13.根据前述权利要求中任一项所述的系统,其中所述控制模块被配置为接收目标捕获间隔,其中所述目标捕获间隔不含任何活动间隔,并且/或者其中所述控制模块被进一步配置为:关于所述目标捕获间隔来确定最大允许射束强度值和/或最大曝光值;并且每捕获序列中的捕获间隔逐步减小所述活动间隔;并且确定所述捕获序列中的至

14.一种用于电子成像应用中的传感器保护的方法,所述方法包括以下步骤

15.根据权利要求14所述的方法,所述方法包括以下步骤


技术总结
本发明涉及一种用于电子成像应用中的传感器保护的系统,该系统包括射束控制设备,该射束控制设备被配置为基于输入射束信号来提供射束信号,其中该射束信号包括改变的射束强度,其中该射束控制设备被进一步配置为接收控制信号并且基于该控制信号来激活。该系统进一步包括:传感器,该传感器被配置为捕获该射束信号并且基于该射束信号来提供捕获信号;以及控制模块,该控制模块被配置为向该射束控制设备提供该控制信号、基于该捕获信号来生成曝光值并且基于该曝光值来修改该控制信号。

技术研发人员:P·C·蒂梅杰,E·德容,A·拉杜列斯库,J·麦科马克,J·凯泽
受保护的技术使用者:FEI 公司
技术研发日:
技术公布日:2024/2/25
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