激光检查系统和使用该激光检查系统的激光检查方法与流程

实施例涉及一种检查系统和一种使用该检查系统的检查方法。更具体地，实施例涉及一种使用激光的检查系统和使用该检查系统的检查方法。

背景技术：

1、由于重量轻和薄的特征等，平板显示器被用作显示装置来代替阴极射线管显示装置。这种平板显示装置可以包括例如液晶显示装置和有机发光显示装置。

2、显示装置可以包括多个层。在显示装置的制造工艺期间，在层中可能出现缺陷。因此，已经开发了用于检查显示装置是否有缺陷的各种检查系统。

技术实现思路

1、实施例提供了一种其中检查时间减少且检查效率得以改善的激光检查系统。

2、实施例提供了一种使用激光检查系统的检查方法。

3、根据实施例的激光检查系统包括：平台，包括平行于由第一方向和与第一方向交叉的第二方向定义的平面的顶表面；第一激光单元，在垂直于平面的第三方向上与平台间隔开，其中，第一激光单元发射在平行于平面的方向上行进的第一激光束；第二激光单元，在从平台指向第一激光单元的第三方向上与第一激光单元间隔开，其中，第二激光单元发射在平行于第一激光束的行进方向的方向上行进的第二激光束；以及检查对象，在平台的顶表面上在第一方向上与第一激光单元间隔开，其中，检查对象具有在第三方向上距平台的顶表面的最大可允许规格和最小可允许规格。

4、在实施例中，第一激光束可以辐射到检查对象的最小可允许规格的位置，并且第二激光束可以辐射到检查对象的最大可允许规格的位置。

5、在实施例中，激光检查系统还可以包括在第三方向上与平台间隔开的检测器。

6、在实施例中，检测器可以包括在第三方向上与平台间隔开的第一检测器，和在第三方向上与第一检测器间隔开的第二检测器。

7、在实施例中，检查对象可以设置在第一激光单元与第一检测器之间。

8、在实施例中，当检查对象的距平台的顶表面的高度大于或等于最小可允许规格时，第一检测器可以检测到从检查对象反射或散射的第一激光束。

9、在实施例中，当检查对象的距平台的顶表面的高度大于或等于最大可允许规格时，第二检测器可以检测到从检查对象反射或散射的第二激光束。

10、在实施例中，第一激光单元和第二激光单元可以分别同时发射第一激光束和第二激光束。

11、在实施例中，第一激光单元和第二激光单元中的每个可以包括光源和激光分切器。

12、在实施例中，第一激光束和第二激光束可以具有彼此不同的颜色。

13、根据实施例的激光检查系统包括：平台，包括平行于由第一方向和与第一方向交叉的第二方向定义的平面的顶表面；激光单元，在垂直于平面的第三方向上与平台间隔开，其中，激光单元发射在平行于平面的方向上行进的激光束；以及检查对象，在平台的顶表面上在第一方向上与激光单元间隔开，其中，检查对象具有在第三方向上距平台的顶表面的最大可允许规格和最小可允许规格。

14、在实施例中，激光束可以辐射到检查对象的最小可允许规格的位置。

15、在实施例中，激光束可以辐射到检查对象的最大可允许规格的位置。

16、在实施例中，激光检查系统还可以包括在第三方向上与平台间隔开的检测器。

17、根据实施例的激光检查方法包括以下步骤：准备发射第一激光束的第一激光单元、与第一激光单元间隔开并且发射第二激光束的第二激光单元、检测第一激光束的第一检测器、与第一检测器间隔开并且检测第二激光束的第二检测器、以及设置在第一激光单元与第一检测器之间并且具有最大可允许规格和最小可允许规格的检查对象；将第一激光束辐射到检查对象的最小可允许规格的位置；将第二激光束辐射到检查对象的最大可允许规格的位置；由第一检测器检测从检查对象反射或散射的第一激光束；由第二检测器检测从检查对象反射或散射的第二激光束；以及基于由第一检测器和第二检测器检测到的第一激光束和第二激光束，确定检查对象是否具有规格缺陷。

18、在实施例中，确定检查对象是否具有规格缺陷的步骤可以包括：当第二检测器检测到从检查对象反射或散射的第二激光束时，将检查对象确定为有缺陷的产品。

19、在实施例中，确定检查对象是否具有规格缺陷的步骤还可以包括：当第一检测器检测到从检查对象反射或散射的第一激光束，并且第二检测器未检测到从检查对象反射或散射的第二激光束时，将检查对象确定为正常产品。

20、在实施例中，可以同时执行将第一激光束辐射到检查对象的最小可允许规格的位置和将第二激光束辐射到检查对象的最大可允许规格的位置。

21、在实施例中，第一激光束和第二激光束中的每个可以垂直于检查对象或检查对象的延长线辐射。

22、在实施例中，第一激光单元和第二激光单元中的每个可以包括光源和激光分切器。

23、在根据公开的实施例的激光检查系统中，从第一激光单元发射的第一激光束可以辐射到与最小可允许规格对应的位置，并且从第二激光单元发射的第二激光束可以辐射到与最大可允许规格对应的位置。在这样的实施例中，可以根据第一激光束和第二激光束是否从检查对象反射或散射来立即检查规格上的缺陷，使得可以改善检查效率。因此，由于物流可以是自动化的，因此可以减小误差，使得可以增大产量，并且可以缩短检查时间。在这样的实施例中，可以通过布置第一激光单元和第二激光单元中的每个来调整规格分布和规格中心，使得可以容易地管理工艺能力。

技术特征：

1.一种激光检查系统，所述激光检查系统包括：

2.根据权利要求1所述的激光检查系统，其中，

3.根据权利要求2所述的激光检查系统，所述激光检查系统还包括：

4.根据权利要求3所述的激光检查系统，其中，所述检测器包括：

5.根据权利要求4所述的激光检查系统，其中，当所述检查对象的距所述平台的所述顶表面的高度大于或等于所述最小可允许规格时，所述第一检测器检测到从所述检查对象反射或散射的所述第一激光束。

6.根据权利要求4所述的激光检查系统，其中，当所述检查对象的距所述平台的所述顶表面的高度大于或等于所述最大可允许规格时，所述第二检测器检测到从所述检查对象反射或散射的所述第二激光束。

7.根据权利要求1所述的激光检查系统，其中，所述第一激光单元和所述第二激光单元分别同时发射所述第一激光束和所述第二激光束。

8.一种激光检查方法，所述激光检查方法包括以下步骤：

9.根据权利要求8所述的激光检查方法，其中，确定所述检查对象是否具有所述规格缺陷的步骤包括：当所述第二检测器检测到从所述检查对象反射或散射的所述第二激光束时，将所述检查对象确定为有缺陷的产品。

10.根据权利要求9所述的激光检查方法，其中，确定所述检查对象是否具有所述规格缺陷的步骤还包括：当所述第一检测器检测到从所述检查对象反射或散射的所述第一激光束，并且所述第二检测器未检测到从所述检查对象反射或散射的所述第二激光束时，将所述检查对象确定为正常产品。

技术总结
提供了一种激光检查系统和使用该激光检查系统的激光检查方法。激光检查系统包括：平台，包括平行于由第一方向和与第一方向交叉的第二方向定义的平面的顶表面；第一激光单元，在垂直于平面的第三方向上与平台间隔开，其中，第一激光单元发射在平行于平面的方向上行进的第一激光束；第二激光单元，在第三方向上与第一激光单元间隔开，其中，第二激光单元发射在平行于第一激光束的行进方向的方向上行进的第二激光束；以及检查对象，在平台的顶表面上在第一方向上与第一激光单元间隔开，其中，检查对象具有在第三方向上距平台的顶表面的最大可允许规格和最小可允许规格。

技术研发人员：宋承玟
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/24