波导侧壁角度的测量装置及其方法、存储介质与流程

文档序号:37892438发布日期:2024-05-09 21:36阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种波导侧壁角度的测量装置,其特征在于,所述装置包括光源模块、第一波导、第二波导、第三波导、定向耦合器、布拉格光栅、光信号探测模块、角度解析模块;

2.根据权利要求1所述的波导侧壁角度的测量装置,其特征在于,所述光源模块包括光源和第一耦合元件,其中,所述第一耦合元件为光栅耦合器或模斑转换器,所述第一耦合元件用于将所述光源发出的所述第一光信号耦合进所述第一波导。

3.根据权利要求1所述的波导侧壁角度的测量装置,其特征在于,所述光信号探测模块包括第二耦合元件和波长解析单元,其中,所述第二耦合元件为光栅耦合器或模斑转换器,所述第二耦合元件用于将所述第二光信号耦合进所述波长解析单元,所述波长解析单元用于对所述第二光信号进行波长解析处理。

4.一种波导侧壁角度的测量方法,其特征在于,所述方法应用于权利要求1-3任一项的波导侧壁角度的测量装置,所述方法包括:

5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述获取预构建的理论光谱数据集之前,还包括对所述理论光谱数据集进行预构建,具体包括:

6.根据权利要求4所述的波导侧壁角度的测量方法,其特征在于,所述光源模块包括光源和第一耦合元件,所述通过光源模块将第一光信号沿第一波导输入布拉格光栅,包括:

7.根据权利要求4所述的波导侧壁角度的测量方法,其特征在于,所述光信号探测模块包括第二耦合元件和波长解析单元,所述通过光信号探测模块接收沿所述第二波导传输而来的所述第二光信号,并对所述第二光信号进行波长解析处理,得到与所述第二光信号对应的实测光谱数据,包括:

8.根据权利要求7所述的波导侧壁角度的测量方法,其特征在于,所述通过所述波长解析单元对所述第二光信号进行波长解析处理,得到与所述第二光信号对应的所述实测光谱数据,包括:

9.根据权利要求4所述的波导侧壁角度的测量方法,其特征在于,所述通过角度解析模块从多个所述理论光谱数据中确定出与所述实测光谱数据匹配的所述目标光谱数据,并将所述目标光谱数据对应的所述预设波导侧壁角度确定为目标波导侧壁角度,包括:

10.一种计算机可读存储介质,所述存储介质存储有计算机程序,其特征在于,所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求4至9任一项所述的波导侧壁角度的测量方法。


技术总结
本公开提供了一种波导侧壁角度的测量装置及其方法、存储介质,属于光学器件加工领域。测量装置包括:光源模块,与定向耦合器的第一端口连接;定向耦合器,其第三端口与布拉格光栅的入射光端口连接;布拉格光栅,用于将第一光信号中符合布拉格光栅反射波长条件的第二光信号进行反射;光信号探测模块,与定向耦合器的第二端口连接,通过定向耦合器将第二光信号从第三波导耦合到第二波导中,光信号探测模块用于对第二光信号进行波长解析处理,得到与第二光信号对应的实测光谱数据;角度解析模块,与光信号探测模块相连,用于根据实测光谱数据和多个理论光谱数据确定目标波导侧壁角度。本发明能够在晶圆级快速无接触地测量波导侧壁与基底之间的角度。

技术研发人员:郑宇,黄颖,廖仲扬
受保护的技术使用者:雨树光科(深圳)有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/5/8
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