1.一种mems工艺的nox基气体传感器测试方法，其特征在于：包括以下测试方法：
2.根据权利要求1所述的一种mems工艺的nox基气体传感器测试方法，其特征在于：在s1的步骤中，首先对气体传感器进行设计与模拟，根据传感器的要求和应用场景，确定传感器的尺寸大小、结构样式和材料选取，利用计算机辅助设计软件对传感器进行设计，通过计算机进行模拟实验，制定模拟实验场景，针对mems气体传感器的性能测试、不同环境下的温湿度测试、对传感器的输出进行校准和线性化测试、传感器稳定性测试，验证设计的合理性和可行性，根据模拟实验数据最终选定符合标准的传感器。
3.根据权利要求1所述的一种mems工艺的nox基气体传感器测试方法，其特征在于：在s2的步骤中，模拟准备工作完成后，根据气体传感器的应用领域准备mems气体传感器的制作的材料，硅衬底是mems制作的基础材料，具有良好的机械性能和化学稳定性，mems气体传感器的制作中，首先，在硅衬底上涂覆一层光刻胶，然后通过曝光机将设计好的图案投射到光刻胶上，接着，在显影液中处理，去除未曝光的光刻胶，形成图案的结构；mems气体传感器通过湿法腐蚀控制硅衬底的深度和形状，形成传感器的结构；mems气体传感器制作中在硅衬底上形成2d-mos2/in2o3异质结构薄膜，用于传感器的电极和敏感区域，在表面有2d-mos2/in2o3异质结构薄膜的基片上借助mems工艺加工形成au电极，将电极引入气敏测试系统分析在nox条件下的气体敏感性能，探究2d-mos2/in2o3异质结构薄膜厚度、均匀性、界面结构和界面特性对增加气体吸附活性的影响，mems气体传感器制作完成后，对其进行封装，将传感器芯片封装到外壳中，并与电路连接。
4.根据权利要求1所述的一种mems工艺的nox基气体传感器测试方法，其特征在于：在s3的步骤中，根据气体传感器的工作原理对驱动电路进行设计，首先确定传感器的供电电压和电流，根据传感器的供电要求，确定合适的供电电压和电流，设计稳压电路提供稳定的供电电压；
5.根据权利要求1所述的一种mems工艺的nox基气体传感器测试方法，其特征在于：在s4的步骤中，确定传感器的输出信号类型，根据传感器的输出信号类型，设计相应的信号采集电路，选择合适的微控制器或处理器，用于接收和处理传感器的输出信号，编写相应的数据处理算法，用于将传感器的输出信号转换为实际的气体浓度或其他相关参数，并进行数据处理算法的计算和处理，设计用户接口和通信接口，用于与用户交互和数据传输，在数据处理模块中设计数据存储和管理功能，将处理后的数据通过用户接口或通信接口进行显示和输出，然后进行数据处理模块的系统调试和测试，根据测试和应用反馈，对数据处理模块进行优化和改进。
6.根据权利要求1所述的一种mems工艺的nox基气体传感器测试方法，其特征在于：在s5的步骤中，对制作完成的传感器进行实体测试和优化：
7.根据权利要求1所述的一种mems工艺的nox基气体传感器测试方法，其特征在于：包括微纳加工的传感器芯片、传感器驱动电路和数据处理模块，传感器芯片由气体敏感层、微加工结构和传感电极组成，其中气体敏感层用于与待测气体发生反应，微加工结构用于转换气体浓度变化为电信号，传感电极用于接收和测量电信号，传感器驱动电路用于提供稳定的工作电压和时钟信号，以及对传感器芯片进行控制和驱动，数据处理模块用于接收和处理传感器输出的电信号，并转化为气体浓度数据。
8.根据权利要求3所述的一种mems工艺的nox基气体传感器测试方法，其特征在于：在s2的步骤中，通过化学气相沉积系统中对优化后的mo薄膜在催化剂(nacl)作用下进行硫化获得2d-mos2薄膜；
9.根据权利要求1所述的一种mems工艺的nox基气体传感器测试方法，其特征在于：首先对气体传感器进行性能检测，准备恒温箱，将待测试的气体传感器放置箱体内部，将气体传感器引脚a0与arduino的a0对接，d0对接arduino的a1，gnd对接gnd vcc接5伏，使用mixly2.0rc3版本，将程序上传好后，打开串口监视器，默认数字信号为1，模拟信号为100多，为保证准确性，关闭恒温箱，使用喷火枪或者其他气枪通过气孔持续对箱内加入气体，可以发现数字信号变化为0，模拟信号稳定变化为800多，停止对箱体内部加入气体，打开排气扇，数字信号为0，模拟信号持续缩减，由此数据可以看出，气体传感器可以对可燃气体进行检测，且检测数值稳定，响应快速，灵敏度较高，打开恒温箱，在恒温箱内设置湿度控制器，关闭恒温箱后启动湿度控制器改变恒温箱内部温湿度，首先降低恒温箱内部温度，通过气枪持续箱恒温箱内部注入气体，发现数字信号由1变化为0，模拟信号数值持续增加，模拟信号稳定变化为800多，调节湿度控制器对恒温箱内部增温增湿，发现模拟信号数值出现波动，但稳定维持为800多，中断气体输入，打开排气扇，模拟信号缓慢减小，关闭湿度控制器，模拟信号最终停留在100多，数字信号由0变化为1，确定传感器在温湿度变化下可以对烟雾气体进行检测，通过多样化的测试，对传感器的输出数据进行对比分析，重复进行操作，对不同测试方法数值进行分样统计，将相同测试方法的模拟信号的波动数值进行拟合曲线，对传感器在长时间使用中的性能变化进行评估分析，观测气体传感器在重复测试下的稳定性。