一种基于非球面透镜的共振腔测量系统

文档序号:36929000发布日期:2024-02-02 21:54阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于非球面透镜的共振腔测量系统,其特征在于,包括有调控装置、调位滑台、非球面整光透镜组、光束发射器和测量机构;所述调位滑台设置两个,且其上分别安装有第一共振腔透镜和波前透镜,所述第一共振腔透镜和所述波前透镜之间设置有第二共振腔透镜;所述调控装置包括有图像传感器以及与所述图像传感器相连的分析控制单元;所述光束发射器发射的光束依次经过所述非球面整光透镜组、所述波前透镜、所述第二共振腔透镜和所述第一共振腔透镜,并在所述第一共振腔透镜上生成被所述图像传感器接收的光斑;

2.根据权利要求1所述的共振腔测量系统,其特征在于,所述非球面整光透镜组包括有第一非球面透镜和第二非球面透镜,且所述第一非球面透镜的第一外凸曲面和所述第二非球面透镜的第二外凸曲面相背设置;

3.根据权利要求2所述的共振腔测量系统,其特征在于,所述波前透镜为一个非球面透镜,且所述波前透镜的一侧面形成有一个第三外凸曲面,以及所述第二共振腔透镜开设有内凹曲面;

4.根据权利要求3所述的共振腔测量系统,其特征在于,所述第一共振腔透镜具有一个第一平面,且所述第一平面与所述内凹曲面对应设置;所述第一平面与所述传播方向相垂直;

5.根据权利要求3所述的共振腔测量系统,其特征在于,所述波前透镜的另一侧面还形成有第二平面,所述第二平面与所述内凹曲面距所述第一平面最远一点之间形成有配光腔;

6.根据权利要求5所述的共振腔测量系统,其特征在于,所述第二共振腔透镜的对应位置还设置有测距仪,所述测距仪用于测量所述配光腔的长度。

7.根据权利要求2所述的共振腔测量系统,其特征在于,所述调位滑台包括:

8.根据权利要求7所述的共振腔测量系统,其特征在于,所述测量机构包括有与所述第二共振腔透镜应对安装的激光接收器以及安装在所述电驱动卡盘上的激光发射器;沿所述传播方向,所述激光发射器与所述激光接收器对应设置,以实现测量所述共振腔的长度。

9.根据权利要求8所述的共振腔测量系统,其特征在于,所述分析控制单元包括:

10.根据权利要求9所述的共振腔测量系统,其特征在于,所述图像截取模块内包括有目标检测模型,所述目标检测模型用于根据预先存储的标定图像裁剪所述图像数据,以增大所述光斑在所述图像数据中的占比;以及所述识别分析模块内包括有卷积神经网络模型,所述卷积神经网络模型用于识别所述图像数据中的光斑的形状,并生成控制所述调位滑台的x轴滑台移动的位置数据。


技术总结
本发明属于光学仪器测量技术领域,具体公开了一种基于非球面透镜的共振腔测量系统,包括有调控装置、调位滑台、非球面整光透镜组、光束发射器和测量机构;调位滑台设置两个,且其上分别安装有第一共振腔透镜和波前透镜,第一共振腔透镜和波前透镜之间设置有第二共振腔透镜;调控装置包括有图像传感器以及与图像传感器相连的分析控制单元;光束发射器发射的光束在第一共振腔透镜上生成被图像传感器接收的光斑;具有如下优点:具有非常高的测量精度;非球面整光透镜组和波前透镜的设计优化了光束的聚焦和传播,减少了像差和光学损耗;图像传感器和分析控制单元的使用提供了实时的反馈和自动化调整,提高操作的便利性和系统的适应性。

技术研发人员:于博,王桂龙,李研,王利涛,于雷,李春梅,付胡代,曹延欣,王烨,王大宇,李薇薇,陈志红
受保护的技术使用者:长春工程学院
技术研发日:
技术公布日:2024/2/1
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