一种正压漏孔和真空漏孔检测装置的制作方法

本技术涉及计量，具体是一种正压漏孔和真空漏孔检测装置。

背景技术：

1、标准漏孔有两种形式：一种，漏孔一端真空另一端为一个大气压的示漏气体，称做真空标准漏孔；另一种，漏孔一端大气另一端加高于一个大气压的示漏气体，常称做正压标准漏孔。前一种漏孔大多用来对氦质谱检漏仪进行校准；后者多用在对卤素检漏仪的校准，也有一些对吸枪式氦质谱检漏仪进行校准的正压漏孔。

2、漏孔漏率计算公式为q＝pv/t，根据这个公式，常用的漏率测量方法有两种，一种是控制压力不变，计算一定时间内的体积变化；一种是控制体积不变，计算一定时间内的压力变化。

3、在《真空科学与技术学报》2004年11、12月期，刊发了王金锁等作者发表的论文《正压漏孔校准装置的研制》，文中提出了体积补偿法提高了正压漏孔校准速率和准确度，即在校准室设置一活塞，通过先测量推进活塞引起的压差，等效于漏孔流入的气体量，计算出体积系数k，再测量由被检漏孔流入校准室引起的压力随时间的变化率，从而得出被检漏孔的漏率。采用体积补偿法测量，不确定度小，易操作，成本低。

4、上述体积补偿法目前已应用于正压漏孔校准装置中，但是真空漏孔仍未采用此种方法。本申请欲提出一种应用体积补偿法且能同时适用测量正压漏孔和真空漏孔漏率的检测装置。

技术实现思路

1、为了克服上述现有技术的不足，本实用新型的目的是提供了一种正压漏孔和真空漏孔检测装置。

2、为达到上述目的，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种正压漏孔和真空漏孔检测装置，包括机械真空泵、真空计组、校准室、参考室、差压薄膜真空计和气源；

3、所述校准室内设有用于调节校准室压力的活塞，与所述活塞连接的活塞杆贯穿至所述校准室外，所述校准室的外壁体上还安装有与活塞杆连接的位移调节机构；

4、所述差压薄膜真空计的两个接口分别经管路连接至所述校准室和参考室，所述差压薄膜真空计用于测量校准室和参考室的压力差；

5、所述气源经管路和第一阀门连接至所述校准室；

6、所述真空计组用于测量校准室的实际压力；

7、所述校准室经管路和第二阀门连接至待测漏孔，待测漏孔的类型为正压漏孔或真空漏孔；

8、所述机械真空泵先经总管路连接第三阀门，再从第三阀门后经一分管路和第四阀门连接至所述校准室，同时从第三阀门后经另一分管路和第五阀门连接至所述参考室；

9、所述参考室经管路和第六阀门连接至大气。

10、采用本实用新型技术方案，在进行正压漏孔校准时，无需启用气源和机械真空泵，通过调节校准室的活塞位置，实现体积补偿法对正压漏孔的校准；在进行真空漏孔校准时，先用机械真空泵对校准室和参考室抽真空，然后通过第一阀门接入气源，缓慢往校准室和参考室充入介质气体，控制校准室和参考室内压力至真空漏孔真空端指定压力，再通过位移调节机构调节校准室的活塞位置，实现体积补偿法对真空漏孔的校准，将体积补偿法应用于真空漏孔检测装置中，提高了真空漏孔校准的准确度和速率。本实用新型检测装置能适用正压漏孔和真空漏孔漏率的校准，一机两用，大大提高日常检测效率。

11、进一步地，所述真空计组包括量程分别为1torr、10torr、100torr、1000torr的四个电容薄膜真空计。

12、采用上述优选的方案，能精确检测出正压漏孔和真空漏孔检测时校准室和参考室内实际压力。

13、进一步地，所述真空计组安装在所述第一阀门与校准室之间的连接管路上。

14、采用上述优选的方案，精简管路布局结构；在对真空漏孔检测时，提高对校准室真空度检测的响应速度。

15、进一步地，所述位移调节机构为千分尺，所述千分尺的尺架与所述校准室的外壁体固定连接，所述千分尺的测微螺杆顶端与所述校准室的活塞杆连接。

16、采用上述优选的方案，提高活塞复位的位置精度，提高体积系数k计算准确度。

17、进一步地，所述气源提供的介质气体为氢气、氦气、氘气、氮气或空气等。

18、采用上述优选的方案，根据检测需要选择合适的介质气体。

技术特征：

1.一种正压漏孔和真空漏孔检测装置，其特征在于，包括机械真空泵、真空计组、校准室、参考室、差压薄膜真空计和气源；

2.根据权利要求1所述的正压漏孔和真空漏孔检测装置，其特征在于，所述真空计组包括量程分别为1torr、10torr、100torr、1000torr的四个电容薄膜真空计。

3.根据权利要求2所述的正压漏孔和真空漏孔检测装置，其特征在于，所述真空计组安装在所述第一阀门与校准室之间的连接管路上。

4.根据权利要求1所述的正压漏孔和真空漏孔检测装置，其特征在于，所述位移调节机构为千分尺，所述千分尺的尺架与所述校准室的外壁体固定连接，所述千分尺的测微螺杆顶端与所述校准室的活塞杆连接。

5.根据权利要求1所述的正压漏孔和真空漏孔检测装置，其特征在于，所述气源提供的介质气体为氢气、氦气、氘气、氮气或空气。

技术总结
本技术提供一种正压漏孔和真空漏孔检测装置，包括机械真空泵、真空计组、校准室、参考室、差压薄膜真空计和气源；校准室内设有用于调节校准室压力的活塞。在进行正压漏孔校准时，无需启用气源和机械真空泵；在进行真空漏孔校准时，先用机械真空泵对校准室和参考室抽真空，再缓慢往校准室和参考室充入介质气体，控制校准室和参考室内压力至真空漏孔真空端指定压力，然后通过位移调节机构调节校准室的活塞位置，实现体积补偿法对真空漏孔的校准，将体积补偿法应用于真空漏孔检测装置中，提高了真空漏孔校准的准确度和速率。本技术检测装置能适用正压漏孔和真空漏孔漏率的校准，一机两用，大大提高日常检测效率。

技术研发人员：刘贝贝,张忠立,王灿,李雪菁,林正皓,刘春光,刘燚,蒋厚庸,周宇仁
受保护的技术使用者：上海市计量测试技术研究院（中国上海测试中心、华东国家计量测试中心、上海市计量器具强制检定中心）
技术研发日：20230919
技术公布日：2024/5/10