一种ATE设备DC校准预补偿电压实现方法与流程

本发明属于半导体自动化测试设备领域，涉及一种ate设备dc校准预补偿电压实现方法。

背景技术：

1、在当今自动测试设备(automatic test equipment，简称ate)中，dc电压模块是一个主要的功能模块，针对dc电压模块在工作中所产生误差值指标，通常都有严格的要求，并且通过需要通过dc电压校准模块进行定期的校准。

2、例如，一般dc电压模块输出的误差值允许在1v以内，会碰到个别芯片的dc电压模块输出的误差值较大，有时可能超过5v以上。

3、然而，当想校准量程范围内的电压(-2～30v)，如果校准26v时，则dc电压模块输出会到31v(误差超过5v)，超出量程范围，这样dc电压校准不在量程范围内，此时dc电压校准模块对0v做出的校准没有办法进行。因此，dc电压校准模块后续的补偿就很难进行。

技术实现思路

1、为解决的上述技术问题，本发明提出一种ate设备dc校准预补偿电压实现方法，用于解决当dc电压校准时，当起始偏差较大，采样对0v时偏差电压预补偿整数部分电压，后面小数部分的电压误差采用最小二乘法来进行误差分析校准。

2、为实现上述目的，本发明的技术方案如下：

3、一种ate设备dc校准预补偿电压实现方法，应用于ate设备的dc校准装置；其包括校准参数计算步骤s1和校准步骤s2；其中，

4、所述步骤s1包括：

5、步骤s11：搭建好ate设备的dc校准装置；在做dc校准之前，先加压零伏到dc校准装置的输入端，测量出在零伏状态下的偏差电压，取出所述偏差电压的整数部分作为第一补偿电压；

6、步骤s12：校准不同电压范围内的电压，采用最小二乘法来进行误差分析校准，得到第二补偿电压；

7、步骤s13：将所述第一补偿电压加上第二补偿电压得到所述ate设备的校准参数；

8、步骤s2：采用所述ate设备的校准参数对所述ate设备进dc测量。

9、从上述技术方案可以看出，本发明提出的一种ate设备dc校准预补偿电压实现方法，对ate设备的dc校准可以满足在电压偏差较大时，也能对其进行校准，而不会超出电压量程范围。

技术特征：

1.一种ate设备dc校准预补偿电压实现方法，应用于ate设备的dc校准装置；其特征在于，包括：校准参数计算步骤s1和校准步骤s2；

技术总结
一种本发明提出的一种ATE设备DC校准预补偿电压实现方法，应用于ATE设备的DC校准装置，其包括校准参数计算步骤和校准步骤；校准参数计算步骤包括搭建好ATE设备的DC校准装置；在做DC校准之前，先加压零伏到DC校准装置的输入端，测量出在零伏状态下的偏差电压，取出所述偏差电压的整数部分作为第一补偿电压；校准不同电压范围内的电压，采用最小二乘法来进行误差分析校准，得到第二补偿电压；将所述第一补偿电压加上第二补偿电压得到所述ATE设备的校准参数。因此，本发明在对ATE系统设备校准可以满足在电压偏差较大时，也能对其进行校准，而不会超出电压量程范围。

技术研发人员：黄海明
受保护的技术使用者：上海御渡半导体科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/5/16