专利名称：检查结果输出装置和方法及基板检查系统和方法
技术领域：
本发明涉及在检查基板上的器件安装部位(其中也包括焊接部位，以下简称为器件安装部位)的工序中根据对基板上的器件安装部位的检查结果生成并输出含有以不合格部位识别标记指示出不合格部位位置的器件安装部位布置图的检查结果输出数据的检查结果输出装置和检查结果输出方法、以及采用该检查结果输出装置的基板检查系统和采用该检查结果输出方法的基板检查方法。
图17示出在基板上安装器件的工序(以下简称器件安装工序)。
在该图的焊膏印刷工序A中，在基板上的焊接部位、即铜箔的焊接区部分上用焊膏印刷装置进行焊膏的印刷涂布。
然后在检查工序B中，利用基板检查装置或基板检查系统检查基板上各个焊接部位的焊膏印刷状态，并将检查合格的基板送到器件装配工序C。
在器件装配工序C中，由组装工将器件装配在印刷涂布了焊膏的基板上。
接着在回流焊接工序D中，将已装配了器件的基板放入回流炉中加热，使焊膏熔化，将器件焊接在基板上。
最后在检查工序E中，用基板检查装置或基板检查系统检查经过上述回流焊接处理已将器件焊接在基板上之后的各器件安装部位的状态。
上述基板检查装置由光投射部、光接收部、控制处理部构成。
光投射部有荧光灯光源、氖灯光源、激光光源、X射线光源等，使从光源发出的光照射在被检查基板的器件安装部位上。光源的通/断由控制处理部控制。
光接收部有CCD彩色摄象机、或光电倍增管等，用于接收从基板上的反射光并将所得到的反射光影像的彩色图象信号、由激光照射焊接部位所形成的光切割线的图象信号、或由X射线照射产生的光电子图象信号等光接收数据送到控制处理部。
控制处理部控制光投射部和光接收部的动作，并根据由光接收部输入的光接收数据对被检查部位进行检查，根据其检查结果生成指示基板是否合格、不合格基板的不合格部位等检查结果数据文件，并将该检查结果数据文件的内容输出。
以下，说明具有上述结构的基板检查装置的动作。
由光投射部将光照射在基板的器件安装部位，由光接收部接收反射光，并获得反射光影像的彩色图象信号等光接收数据，将该光接收数据送到控制处理部。
在控制处理部中，根据由光接收部输入的光接收数据对被检查部位进行检查，根据该检查结果生成检查结果数据文件，并输出该检查结果数据文件的内容。
上述基板检查系统由按照操作人员的要求将在线设置的上述基板检查装置和离线设置的、用于将基板检查装置中生成的检查结果数据文件输出的终端装置构成。
上述基板检查装置或基板检查系统按照预编程序的检查结果输出方法从器件安装部位的检查结果生成检查结果数据文件，并输出该检查结果数据文件的内容。
在上述检查结果输出方法中，有在器件安装部位的布置图上识别和表示不合格部位等方法，例如，可举出在特开平2-76080号公报、特开平5-332948号公报中记述的方法。
特开平2-76080号公报中的检查结果输出方法是用与器件形状对应的形状标记指示出安装基板上的器件安装部位，并显示出用与合格部位标记色彩不同的颜色作出不合格部位标记(例如不合格部位的标记用红色、合格部位标记用白色)来指示出不合格部位位置的布置图。
而且，在上述布置图以外的区域依次以文字显示各不合格部位的不合格内容，同时上述布置图上的不合格部位的标记还赋以不同的颜色(例如用黄色)，或采用将各不合格部位的不合格内容在上述布置图以外的区域汇总显示的方法。
而特开平5-332948号公报中的检查结果输出方法是显示用与合格部位标记色彩不同的颜色作出不合格部位标记的布置图、同时配以该不合格部位周围的放大图进行显示的方法。
操作人员一面观察上述显示，一面进行不合格部位的修正作业。
但是，在上述现有的检查结果输出方法中，从布置图不能知道不合格部位的不合格内容具体是哪一种，即不知道是焊料量不够还是器件脱落等，很难判定放大图放大的是布置图的哪一部分，在依欱显示不格内容的方式中，从其文字显示很难立即看清所注视的不合格部位的不合格内容，在将不合格内容汇总显示的方式中，很难判明所显示的不合格内容与布置图上的哪一个不合格部位相对应，所以不合格部位在基板上的位置及不合格内容的确认很费事，修正作业要花费很多时间。
另外，从上述布置图不可能知道不合格器件的缺陷是突然发生的，还是持续发生的，所以在基板上的特定部位持续发生不合格等情况的器件安装工序内，不能掌握其质量变化趋势，延迟了向上游工序的反馈，因而存在对该工序内基板的器件安装部位不能进行有效的质量管理的问题。
本发明是为解决上述现有技术存在的问题而开发的，其目的是提供一种能够有效地进行基板不合格部位的修正作业及基板上器件安装部位的质量管理的检查结果输出装置和检查结果输出方法、以及采用该检查结果输出装置的基板检查系统和采用该检查结果输出方法的基板检查方法。
为达到上述目的，根据本发明的第1方面和第6方面的检查结果输出装置以及第11方面的基板检查系统都备有布置图生成装置，用于生成以具有与不合格内容对应的不同形状的不合格部位识别标记指示不合格部位的器件安装部位的布置图。
根据本发明的第3方面和第8方面的检查结果输出装置以及第13方面的基板检查系统都备有布置图生成装置，用于生成以不合格部位识别标记指示不合格部位位置并显示所指定区域的放大图、同时显示该放大图所示区域位置的布置图。根据本发明第4方面和第9方面的检查结果输出装置以及第14方面的基板检查系统都备有布置图生成装置，用于生成以不合格部位识别标记指示不合格部位位置并用文字显示出所指定的不合格部位的不合格内容、同时将该文字显示与对应于所指定不合格部位的不合格部位识别标记用引出线相互连接的器件安装部位布置图。
根据本发明第5方面和第10方面的检查结果输出装置以及第15方面的基板检查系统都备有布置图生成装置，用于生成以不合格部位识别标记指示不合格部位位置并显示出各个器件安装部位发生不合格的历史记录的器件安装部位布置图。
根据本发明第16方面的检查结果输出方法及第21方面的基板检查方法用于生成以与不合格内容对应的形状不同的不合格部位识别标记指示出不合格部位的器件安装部位布置图，并将该布置图输出。
根据本发明第18方面的检查结果输出方法及第23方面的基板检查方法，用于生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位位置的器件安装部位布置图，在该布置图上显示指定区域的放大图，同时显示出该放大图所表示区域的位置，并将显示出该放大图所表示区域位置的布置图输出；根据本发明第19方面的检查结果输出方法及第24方面的基板检查方法用于生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位位置的器件安装部位布置图，用文字显示在该布置图上指示出的不合格部位的不合格内容，同时输出将该文字显示与对应于所指定不合格部位的不合格部位识别标记用引出线相互连接、并将该不合格内容与不合格部位识别标记用引出线相互连接的布置图。
根据本发明第20方面的检查结果输出方法及第25方面的基板检查方法用于生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位位置的器件安装部位布置图，在该布置图上，显示各器件安装部位发生不合格的历史记录，并输出显示出该不合格的发生历史情况的布置图。
因此，按照本发明第1方面和第6方面的检查结果输出装置、第11方面的基板检查系统、第16方面的检查结果输出方法及第21方面的基板检查方法，利用布置图生成装置生成以具有与不合格内容对应的不同形状的不合格部位识别标记指示不合格部位的器件安装部位的布置图，并通过输出该布置图，能够从布置图迅速且正确地确认不合格部位的位置及其不合格内容，因而能有效地进行不合格部位的修正作业。
按照本发明第3方面和第8方面的检查结果输出装置、第13方面的基板检查系统、第18方面的检查结果输出方法及第23方面的基板检查方法，利用布置图生成装置生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位位置的器件安装部位布置图，并在该布置图上显示指定区域的放大图，同时显示出该放大图所表示区域的位置，通过将显示出该放大图所表示区域位置的布置图输出，能够迅速且正确地确认放大图放大的是布置图的哪个位置，因而能有效地进行不合格部位的修正作业。
按照本发明第4方面和第9方面的检查结果输出装置、第14方面的基板检查系统、第19方面的检查结果输出方法及第24方面的基板检查方法，利用布置图生成装置生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位位置的器件安装部位布置图，用文字显示在该布置图上所指示的不合格部位的不合格内容、同时输出将该文字显示与对应于所指定不合格部位的不合格部位识别标记用引出线连接、并通过将该不合格内容与不合格部位识别标记用引出线连接的布置图输出，能够迅速且正确地确认各不合格部位的不合格内容，因而能有效地进行不合格部位的修正作业。
按照本发明第5方面和第10方面0的检查结果输出装置、第15方面的基板检查系统、第20方面的检查结果输出方法及第25方面的基板检查方法，生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位位置的器件安装部位布置图，在该布置图上，显示各器件安装部位发生不合格的历史记录，并通过输出显示出该不合格的发生历史情况的布置图，能够掌握器件安装部位的质量变化趋势，因而能有效地进行器件安装部位的质量管理。
图1是表示本发明的检查结果输出装置第1实施例的简略结构图。
图2是表示本发明的检查结果输出装置第1实施例的光投射部的结构图。
图3是表示本发明的检查结果输出装置第1实施例的操作顺序的流程图。
图4是表示本发明的检查结果输出装置第1实施例中焊接面及其周围的彩色图象一例的说明图。
图5是表示设定不合格项目的一例的说明图。
图6是表示本发明的检查结果输出装置第1实施例的检查结果输出画面中的布置图一例的说明图。
图7是表示本发明的检查结果输出装置第1实施例中不合格部位识别标记的一例的说明图。
图8是表示安装部位识别标记的数据结构一例的说明图。
图9是表示安装部位识别标记设定画面的一例的说明图。
图10是表示本发明的检查结果输出装置第1实施例中不合格部位识别标记的数据结构一例的说明图。
图11是表示本发明的检查结果输出装置第2实施例的检查结果输出画面的一例的说明图。
图12是表示本发明的检查结果输出装置第2实施例中不合格部位识别标记的数据结构一例的说明图。
图13是表示本发明的检查结果输出装置第3实施例的检查结果输出画面的一例的说明图。
图14是表示本发明的检查结果输出装置第3实施例中不合格部位识别标记的数据结构一例的说明图。
图15是表示本发明的检查结果输出装置第4实施例的检查结果输出画面中的布置图一例的说明图。
图16是是本发明的检查结果输出装置第5实施例的简略结构图，及表示本发明的基板检查系统的实施例的系统构成图。
图17是表示器件安装工序的说明图。
各附图中的符号意义如下1 光投射部2 摄象部3 X轴工作台部4 Y轴工作台部5 控制处理部6 摄象控制器7 图象处理部8、98 存储部
9、99 输入部10、100 输出部11、101 布置图生成部12、102 检查文件生成部13、103 控制部15 被检查基板91 基板检查装置92 生产线93 检查结果输出装置94 1LAN电缆95 数据输出部96 软盘97 数据输入部图1是表示本发明的检查结果输出装置第1实施例的简略结构图。
在图1中，本检查结果输出装置由光投射部1、摄象部2、X轴工作台3、Y轴工作台4及控制处理部5构成。
控制处理部5由摄象控制器6、图象处理部7、存储部8、输入部9、输出部10、布置图生成部11、检查结果输出文件生成部12、及控制部13构成。
光投射部1具有红色光源、绿色光源、蓝色光源共3个环形荧光灯光源，将该三色光从不同的仰角照射在被检查基板15的被检查部位上。
该三色光源当三色光在被检查部位被混色时具有波长与所得到的纯白色光对应的发光能量分布，光的通/断及光度由控制部13通过摄象控制器6控制。
图2是具有环形红色光源21、绿色光源22、蓝色光源23的光投射部1的结构图。在该图中，上述环形光源21、22、23设置在同心圆上使其中心与摄象部2的摄象中心轴24一致，而且环的半径r1、r2、r3不同，距基板表面25的高度h1、h2、h3也不同，所以从基板表面25与摄象中心轴24的交点A的仰角被设置成不同的角度θ1、θ2、θ3。这里设定为θ1＞θ2＞θ3。
摄象部2是彩色电视摄象机，与光投射部1构成一个整体，按照摄象控制器6的命令对被检查基板15的的器件安装部位依次进行摄象，并将所摄得的彩色图象信号送到图象处理部7。
在X轴工作台3上安装着光投射部1和摄象部2，为对被检查基板15的的器件安装部位依次进行摄象，按照摄象控制器6的命令使光投射部1和摄象部2在X方向移动。
在Y轴工作台4的上部备有基板承台，被检查基板15就放在该基板承台上，为对器件安装部位依次进行摄象，按照摄象控制器6的命令使被检查基板15在Y方向移动。
摄象控制器6具有与光投射部1、摄象部2、X轴工作台3、Y轴工作台4、及控制部13连接的接口等，按照控制部13的命令，控制光投射部1、摄象部2、X轴工作台3、Y轴工作台4的动作。
图象处理部7按照控制部13的命令对由摄象部2所摄得的模拟彩色图象信号进行A/D转换，将其变成数字彩色图象数据，并对该彩色图象数据进行二进制化处理等图象处理。
存储部8具有RAM等存储器，作为图象处理部7、布置图生成部11、检查结果输出文件生成部12、及控制部13的工作区使用，同时按照控制部13的命令存储从图象处理部7、布置图生成部11、检查结果输出文件生成部12、及控制部13输入的各种数据。
输入部9备有键盘、鼠标器、及图象扫描器等，操作人员通过操作输入部9来输入各种数据或命令。
输出部10备有CRT等显示器及打印机，用于显示或打印输出从控制部13输入的各种信息、被检查部位的彩色图象、检查结果输出文件的内容等。
布置图生成部11按照控制部13的命令，根据显示出被检查基板的各器件安装部位是否合格、及不合格部位的不合格内容的检查结果数据，生成以与不合格内容对应的形状不同的不合格部位识别标记指示出不合格部位的被检查基板器件安装部位布置图，并将该布置图送到检查结果输出文件生成部12。
检查结果输出文件生成部12根据由布置图生成部11输入的布置图及上述检查结果数据，生成每个被检查基板的检查结果输出文件。该检查结果输出文件是可按被检查基板的基板编号检索的图象数据形式的文件，由上述布置图、不合格内容的文字显示画面等构成。
控制部13具有微处理机等，用于控制摄象控制器6、图象处理部7、存储部8、输入部9、输出部10、布置图生成部11、及检查结果输出文件生成部12的动作，根据由操作人员从输入部9输入的各种数据或命令，按照图3所示步骤对被检查基板进行检查，并将检查结果输出文件生成部12所生成的检查结果输出文件的内容输出到显示部10，从而将检查结果通知用户。
图3是表示本实施例的操作步骤的流程图。
在图3中，在ST1，操作人员输入执行检查的命令后，输入被检查基板的基板编号，在ST2将被检查基板设置在Y轴工作台4的基板承台上，输入已设置完成的指令。
在ST3，控制部13通过摄象控制部6使X轴工作台3及Y轴工作台4动作，将基板的被检查部位即器件安装部位移动到摄象部2的摄象位置，由光投射部1将三色光照射器件安装部位，用摄象部2对从该器件安装部位反射的光的影像进行摄象，并将所摄得的模拟彩色图象信号送到图象处理部7。
图17的检查工序B中的焊膏表面或在检查工序E中的安装器件等具有漫反射面，当光投射部1的三色光被混色时具有波长与所得到的纯白色光对应的发光能量分布，所以当将该三色光照射焊膏表面或安装器件时，可得到与照射白色光时的反射光影像相同的反射光影像。
另一方面，由于在图17的检查工序E中的焊接面具有镜面反射特性并具有三维曲面形状，所以对基板表面具有斜度的各曲面部分使从斜的方向入射的有色光按与入射角相对应的方向反射，该反射方向与摄象部的摄象中心轴方向(与基板垂直的方向)一致的曲面部分，由于在反射光影像中具有对应的有色光源的颜色，所以当将光投射部1的三色光照射焊接面时，在反射光影像中，焊接面的斜度接近平坦部的曲面部分将呈红色，斜度很大的曲面部分将呈蓝色，而斜度在二者中间的曲面部分将呈绿色。
因此，如用摄象部2对对该反射光影像进行摄象，可得到在焊膏面、铜箔的焊接区部分、基板的阻焊层部、及安装器件等具有漫反射特性的部分呈现各种色彩、而在焊接面等具有镜面特性的部分按照其三维形状分别呈现红色、绿色及蓝色的彩色图象。
图4表示出图17的检查工序E中器件安装部位的彩色图象的一例。
在图4的断面图和俯视图中，31和32是焊接面、33是安装器件、34是安装器件33的引线端子(电极)、35是基板的阻焊层部、36是铜箔的焊接区部分，焊接面31、32及引线端子34具有镜面，安装器件及阻焊层部35具有漫反射面。
在彩色图象中，37、38、39表示焊接面31的彩色部分，37是呈红色的接近平坦的部分，38是呈绿色的部分，39是呈蓝色的斜度很大的部分。而40则是呈现器件颜色的部分，41是呈现阻焊层颜色的部分。此外，在安装器件及基板阻焊层部中省略了焊接面32的色彩。
由摄象部2摄得的模拟彩色图象信号由图象处理部7进行A/D转换，变成数字彩色图象数据。
控制部13使图象处理部7动作，并根据该彩色图象数据进行基板的全部器件安装部位是否合格的判定，对于不合格部位，通过从预先设定的某些不合格项目选择出相符合的项目作为不合格的内容，得到显示各器件安装部位是否合格、和不合格部位的不合格内容的检查结果数据，并将该检查结果数据送到布置图生成部11和检查结果输出文件生成部12。
例如，当检查有关在图17的检查工序E中的焊膏量时，从焊接部位的彩色图象数据抽出呈现焊膏颜色的区域，将抽出后区域的数据“1”生成二进制数据，从该二进制数据计算出焊膏面的面积，并将算出的面积值与预先设定的容许值进行比较，如超过容许值则判定为不合格，如算出的面积值小于容许值，则不合格内容变为“焊膏量不足”，超过容许值时为“焊膏量过多”。
如检查有关在图17的检查工序E中的安装器件，则在器件安装部位的彩色图象数据中，注意观察安装部分所处位置的颜色，如该部分无器件颜色而呈现出基板的阻焊层的色彩，则判定为“器件脱落”，如检查有关焊接部位，则抽出呈现焊接面的红、绿、蓝色彩的部分，根据该抽出的数据进行焊剂量、焊接形状等是否合格的判定。
图5表示出在图17的检查工序B和检查工序E中设定不合格项目的一例。
回到图3，在ST4，控制部13使布置图生成部11动作，根据上述检查结果数据，生成以与不合格内容对应的不同形状的不合格部位识别标记指示出不合格部位的被检查基板的器件安装部位布置图，并将该布置图送到检查结果文件生成部12。
接着，控制部13使检查结果文件生成部12动作，根据由布置图生成部11输入的布置图及上述检查结果，生成检查结果文件。该检查结果文件是可按被检查基板的基板编号检索的图象数据形式的文件，由上述布置图、不合格内容的文字显示画面等构成。
然后控制部13将由检查结果文件生成部12生成的检查结果文件保存在存储部8内，同时，将检查结果文件的内容通过输出部10的显示器或打印机输出，从而将检查结果告知用户。而在这之后如有来自用户的输出检查结果的要求时，从存储部8读出所要求的基板编号的检查结果，并由输出部10将其内容输出。
图6表示出检查结果输出画面中的器件安装部位的布置图的一例。
在图6中，51～53是与不合格内容对应的不同形状的不合格部位识别标记，51、52、53是分别表示器件位置偏斜、焊剂桥结、器件脱落的不合格部位识别标记。
图7表示出不合格内容的不合格部位识别标记的一例。在存储部8内保存着各种不合格部位识别标记，用户在设定不合格项目时，可从存储部8选择表示各不合格项目的不合格部位识别标记来进行设定。用户通过使用输入部9的图象扫描器输入用作不合格部位识别标记的标记，可以将所需要的不合格部位识别标记保存在存储部8内。
这里，说明在由布置图生成部11生成布置图之前生成的安装部位识别标记数据及不合格识别标记数据的结构。安装部位识别标记是表示在布置图中的器件安装部位的标记。
图8是表示安装部位识别标记的数据结构一例的说明图。在该图中，安装部位识别标记数据由器件信息111、标记形状信息112、形状显示颜色信息113构成。器件信息111由表示该标记在布置图中的右上坐标、左下坐标、及器件的种类的数据构成。而标记形状信息112及形状显示颜色信息113由用户预先设定，可设定每个器件的种类。
图9是上述安装部位识别标记中的标记形状信息及形状显示颜色信息设定画面的一例。用户通过操作图1示出的输入部9的键盘或鼠标器，来设定图9所示设定画面中的标记形状及形状显示颜色。
回到图8，假定作为标记形状信息112设定为“□”，作为形状显示颜色信息113设定为蓝色，器件信息111的坐标点设定为其右上顶点及左下顶点，则在布置图上显示具有蓝色轮廓的“□”作为安装部位识别标记。
图10是表示本实施例中不合格部位识别标记的数据结构一例的说明图。利用该不合格部位识别标记数据和图8示出的安装部位识别标记数据，在布置图生成部11中生成上述布置图。
在图10中，不合格部位识别标记数据由器件信息130、不合格标记形状信息132、不合格显示颜色信息133、及不合格形状显示颜色信息134构成。
器件信息131具有表示该标记在布置图中的右上坐标、左下坐标、该器件的种类、及不合格内容的数据。
不合格标记形状信息132是由不合格内容及器件种类决定的不合格部位识别标记的形状数据。在图6和图7中示出的不合格部位识别标记的轮廓部形状，与图9的安装部位识别标记的标记形状设定步骤相同，由用户按每个器件的种类预先设定。在图7中，示出了当不合格部位识别标记的轮廓部形状设定为“□”时与各不合格内容对应的不合格部位识别标记。通常，将不合格部位识别标记的轮廓部形状设定为与安装部位识别标记的标记形状相同的形状。
不合格显示颜色信息133及不合格形状显示颜色信息134由用户按按每个器件的种类或按各不合格内容预先设定，不合格显示颜色信息133是在图6和图7中示出的安装部位识别标记斜线部的显示颜色数据，不合格形状显示颜色信息134是斜线部以外的显示颜色数据。
因此，在图6和图7中示出的不合格部位识别标记中，如将不合格显示颜色信息133设定为红色、将不合格形状显示颜色信息134设定为黄色，则该不合格部位识别标记斜线部将呈现红色，而轮廓部和斜线部以外的部分将呈现黄色。
回到图3，最后在ST5，控制部13通过摄象控制器6使Y轴工作台4动作，将被检查基板移动到取出位置，操作人员将该基板从Y轴工作台4的基板承台上取下。
然后返回ST2，重复以上的步骤。
另外，在上述实施例中的光投射部1由环形彩色荧光灯光源构成，但有时也可用环形氖灯光源、X射线光源、或以扇形平面光从斜的方向对焊接部位进行照射的激光光源等构成。
例如，采用激光光源时，用位于焊接部位正上方的摄象部2对由平面激光在焊接部位上形成的光切割线进行摄象，并根据该光切割线的形状计算出与焊膏的高度、或焊脚角度等三维形状有关的检查数据。而在采用X射线光源时，为了接收从焊接部位释放出的光电子，使用光电倍增管等光接收装置代替摄象部2。
这样，如按照上述本发明的检查结果输出装置的第1实施例，则利用布置图生成部11，根据被检查基板的检查结果数据生成以与不合格内容对应的不同形状的不合格部位识别标记指示出不合格部位的器件安装部位布置图，并将该布置图通过检查结果文件生成部12由输出部10输出，从而能够从布置图迅速且正确地确认不合格部位的位置及不合格内容，因而能有效地进行不合格部位的修正作业。
以下说明本发明的检查结果输出装置的第2实施例。
装置的简略构成与图1所示本发明的检查结果输出装置的第1实施例相同。在以下说明中，与本发明的检查结果输出装置的第1实施例重复的部分省略。
在本实施例中，布置图生成部根据由控制部输入的指示出被检查基板的各器件安装部位是否合格及不合格部位的不合格内容的检查结果数据，生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位的被检查基板器件安装部位布置图、以及将该布置图进行区域分割后放大显示各个区域的放大图，并将该布置图及各区域的放大图送到检查结果输出文件生成部。
检查结果输出文件生成部根据由上述布置图生成部输入的布置图、放大图、及由控制部输入的上述检查结果数据，生成每个被检查基板的检查结果输出文件。
因此，如按照本实施例，控制部利用布置图生成部11根据被检查基板的检查结果数据，生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位的器件安装部位布置图、以及将该布置图进行区域分割后放大显示各个区域的放大图，并利用检查结果输出文件生成部，根据由上述布置图生成部输入的布置图、放大图、及上述检查结果数据，生成每个被检查基板的检查结果输出文件，并将该检查结果输出文件的内容输出到输出部，从而将被检查基板的检查结果告知用户。
图11示出检查结果的输出画面的一例。
在图11中，61是以不合格部位识别标记指示出不合格部位的器件安装部位布置图、62是通过用输入部的鼠标器轻敲布置图中想要放大的区域而被显示的放大图、63是通过操作输入部的键盘或鼠标器起动的各种命令的命令菜单、64是用文字显示基板编号、不合格部位的不合格内容、及来自控制部的各种信息等的区域。
在布置图61及放大图62中，65和66是指示不合格部位位置的不合格部位识别标记，67是表示在放大图中被放大的区域的图形。
检查结果的初期输出画面不显示放大图，通过用鼠标器轻敲不合格部位识别标记来显示敲击的不合格部位识别标记周围的放大图及象67一样的图形。
在图11中通过通过用鼠标器轻敲不合格部位识别标记65，显示出放大图62及表示在放大图中被放大的区域的图形67，在该状态下，如轻敲不合格部位识别标记66周围，则显示出不合格部位识别标记66周围的放大图，同时显示在该放大图中所显示的布置图61上的区域的图形67。
图12是表示本实施例中不合格部位识别标记的数据结构的说明图。利用该不合格部位识别标记数据和图8示出的安装部位识别标记数据，在布置图生成部11中生成上述布置图及放大图。
在图12中，不合格部位识别标记数据由器件信息131、标记形状信息112、形状显示颜色信息113、不合格显示信息141、及放大显示信息142构成。
器件信息131已在图10中作了说明，标记形状信息112及形状显示颜色信息113已在图8中作了说明。
不合格显示信息141由用户按各器件种类或各项不合格内容预先设定，是表示不合格部位识别标记的内部显示颜色的数据。
因此，对于图11示出的不合格部位识别标记65或66，如形状显示颜色信息113设定为蓝色、不合格显示信息141设定为红色，则该不合格部位识别标记的轮廓部呈现蓝色，内部呈现红色。
放大显示信息142是具有在器件信息131的器件右上坐标的X和Y坐标上加上规定值后将其作为X和Y坐标值的显示窗口右上坐标、及从器件左下坐标的X和Y坐标减去规定值后将其作为X和Y坐标值的显示窗口左下坐标的数据，该显示窗口右上坐标及显示窗口左下坐标，就表示放大区域的右上坐标和左下坐标。此外，放大显示信息142还附加于本实施例的安装部位识别标记数据。
这样，如按照上述本发明的检查结果输出装置的第2实施例，则利用布置图生成部，根据被检查基板的检查结果数据，生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位的器件安装部位布置图、及用鼠标器指定的布置图的区域放大图，同时，在布置图上显示在放大图中所显示的区域位置，通过输出该布置图及放大图，能够迅速且正确地确认放大图放大了的是布置图的哪个区域，由于能够迅速且正确地确认在高密度安装基板等器件安装密度高的基板上的不合格部位的位置，所以能有效地进行不合格部位的修正作业。
以下说明本发明的检查结果输出装置的第3实施例。
装置的简略构成与图1所示本发明的检查结果输出装置的第1实施例相同。在以下说明中，与本发明的检查结果输出装置的第1实施例重复的部分省略。
在本实施例中，布置图生成部根据由控制部输入的指示出被检查基板的各器件安装部位是否合格及不合格部位的不合格内容的检查结果数据，生成以各不合格部位的不合格内容的文字显示窗口及不合格部位识别标记指示出不合格部位的被检查基板器件安装部位布置图、并将该布置图及文字显示窗口送到检查结果输出文件生成部。
检查结果输出文件生成部根据由上述布置图生成部输入的布置图和文字显示窗口、以及由控制部输入的上述检查结果数据，生成每个被检查基板的检查结果输出文件。
因此，如按照本实施例，控制部利用布置图生成部11根据被检查基板的检查结果数据，生成以各不合格部位的不合格内容的文字显示窗口及不合格部位识别标记指示出不合格部位的器件安装部位布置图，并利用检查结果输出文件生成部，根据由上述布置图生成部输入的布置图和文字显示窗口、以及上述检查结果数据，生成每个被检查基板的检查结果输出文件，并将该检查结果输出文件的内容输出到输出部，从而将被检查基板的检查结果告知用户。
图13示出检查结果的输出画面的一例。
在图13中，71是以不合格部位识别标记指示出不合格部位的器件安装部位布置图，72、73、74是指示不合格部位位置的不合格部位识别标记，75、76是用输入部的鼠标器轻敲不合格部位识别标记所显示的不合格部位的不合格内容文字显示窗口。各不合格部位识别标记和各不合格部位不合格内容的文字显示窗口分别用引出线对应连接。此外，在不合格部位的不合格内容文字显示窗口中的不合格历史记录中，对于该不合格部位，显示出在过去的检查中该不合格部位发生不合格的次数。即，与不合格部位识别标记75对应的器件安装部位，过去没有发生过不合格，但与不合格部位识别标记76对应的器件安装部位，因不合格历史记录为“3”，表示过去曾发生过3次不合格，换句话说，显示出过去在3块基板上发生过不合格。77是通过操作输入部的键盘或鼠标器起动的各种命令的命令菜单。
检查结果的初期输出画面不显示象75及76那样的不合格内容文字显示窗口，通过用输入部9的鼠标器轻敲想知道不合格内容的不合格部位识别标记，来显示敲击的不合格部位识别标记的不合格内容。
在图13中通过轻敲不合格部位识别标记72，显示出不合格内容文字显示窗口75，不合格部位识别标记72和不合格内容文字显示窗口75通过引出线对应连接，通过轻敲不合格部位识别标记73，显示出不合格内容文字显示窗口76，不合格部位识别标记73和不合格内容文字显示窗口76通过引出线对应连接，在该状态下，如轻敲不合格部位识别标记74，则显示出与不合格部位识别标记74对应的不合格部位的不合格内容，不合格部位识别标记74和所显示的不合格内容通过引出线对应连接。
图14是表示本实施例中不合格部位识别标记的数据结构的说明图。利用该不合格部位识别标记数据和图8示出的安装部位识别标记数据，在布置图生成部11中生成上述布置图及不合格内容的文字显示窗口。
在图14中，不合格部位识别标记数据由标记形状信息112、形状显示颜色信息113、不合格显示信息141、器件信息151、及不合格内容显示信息152构成。
器件信息151由该标记的布置图中的右上坐标、左下坐标、该器件的种类、不合格内容、名称、及不合格历史记录构成。
不合格内容显示信息152由表示图13中所示的不合格内容文字显示窗口右上坐标、左下坐标的显示窗口右上坐标和显示窗口左下坐标构成。该显示窗口右上坐标和显示窗口左下坐标，按照该不合格部位识别标记在布置图上的坐标值及在画面上的位置适当选择可用文字显示不合格内容的区域来决定。
这样，如按照上述本发明的检查结果输出装置的第3实施例，则利用布置图生成部根据被检查基板的检查结果数据生成以用鼠标器指定的不合格部位的不合格内容文字显示数据及不合格部位识别标记指示出不合格部位的器件安装部位布置图，并在生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位的器件安装部位布置图的同时，将在布置图上被指定的不合格部位和文字显示数据用引出线对应连接，通过输出该布置图、文字显示数据、及引出线，能够迅速且正确地确认所指定的不合格部位的不合格内容，所以能有效地进行不合格部位的修正作业。
以下说明本发明的检查结果输出装置的第4实施例。
装置的简略构成与图1所示本发明的检查结果输出装置的第1实施例相同。在以下说明中，与本发明的检查结果输出装置的第1实施例重复的部分省略。
在本实施例中，布置图生成部根据由控制部输入的指示出被检查基板的各器件安装部位是否合格及不合格部位的不合格内容的检查结果数据，生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位、并进一步显示出各器件安装部位发生不合格的历史记录的被检查基板器件安装部位布置图，并将该布置图送到检查结果输出文件生成部。
检查结果输出文件生成部根据由上述布置图生成部输入的布置图及由控制部输入的上述检查结果数据，生成每个被检查基板的检查结果输出文件。
因此，如按照本实施例，控制部利用布置图生成部11根据被检查基板的检查结果数据，生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位、并进一步显示出各器件安装部位发生不合格的历史记录的器件安装部位布置图，并利用检查结果输出文件生成部，根据该布置图及上述检查结果数据，生成每个被检查基板的检查结果输出文件，并将该检查结果输出文件的内容输出到输出部，从而将被检查基板的检查结果告知用户。
图15示出检查结果输出画面中的器件安装部位布置图的一例。
在图15中，81、82、83指示不合格部位位置的不合格部位识别标记，84是判定为合格的器件安装部位。“*”表示各器件安装部位发生不合格的历史记录，即过去发生不合格的次数。在图15示出的被检查基板之前所检查的N个被检查基板发生不合格的次数用“*”的个数表示。该“N”在检查开始之前设定，当其未设定时，在这之前检查过的全部被检查基板发生不合格的次数用“*”的个数表示。
例如，当设定N＝5时，从图15可以看出，不合格部位81的器件安装部位在这之前的5块被检查基板全部被判定为不合格，不合格部位82的器件安装部位在这之前的5块被检查基板中有1块被判定为不合格，而不合格部位83的器件安装部位在这之前的5块被检查基板全部被判定为合格。因此，可以判断出在不合格部位81的器件安装部位持续地发生不合格，而不合格部位82的器件安装部位是突发性地出现不合格，所以可以推测出在不合格部位81的器件安装部位的制造工序中发生着某种异常情况。此外，在判定为合格的器件安装部位84处的2个“*”，表示在这之前的5块被检查基板中有2块被判定为不合格。
这样，如按照上述本发明的检查结果输出装置的第4实施例，则利用布置图生成部，根据被检查基板的检查结果数据，生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位的器件安装部位布置图，同时，在布置图上显示在各器件安装部位发生不合格的历史记录，通过输出该布置图，由于能够掌握质量的变化趋势，所以能有效地进行不合格部位的修正作业。
图16是是本发明的检查结果输出装置第5实施例的简略结构图，及表示采用本第5实施例的本发明基板检查系统实施例的系统构成图。
在图16中，91是组装在器件安装工序的生产线92上的基板检查装置，93是本发明的检查结果输出装置的第5实施例。
基板检查装置91由软盘装置、及具有与LAN电缆94连接的网络连接部的数据输出部95等构成，用于对被检查基板的各个器件安装部位进行检查，对每块基板生成将被检查基板的检查结果、即各个器件安装部位是否合格的判定结果及不合格部位的不合格内容写入的检查结果文件，并将该检查结果文件通过数据输出部95写入软盘96或输出到LAN电缆94。该检查结果文件可按照被检查基板的基板编号识别。
检查结果输出装置93由数据输入部97、存储部98、输入部99、输出部00、布置图生成部101、检查结果输出文件生成部102、及控制部103构成。
数据输入部97具有软盘装置、及与LAN电缆94连接的网络连接部，从基板检查装置91输出的检查结果文件由LAN电缆94接收，或由软盘96读入。检查结果文件的交接是通过LAN电缆94进行、还是通过软盘96进行，由用户选择。
存储部98具有RAM等存储器，作为布置图生成部101、检查结果输出文件生成部102、及控制部103的工作区使用，同时按照控制部103的命令存储从布置图生成部101、检查结果输出文件生成部102、及控制部103输出的各种数据。
输入部99备有键盘、鼠标器、及图象扫描器等，操作人员通过操作输入部99来输入各种数据或命令。
输出部100备有CRT等显示器及打印机，用于显示或打印输出从控制部103输入的检查结果输出文件的内容等各种信息。所输入的数据在显示器上显示、或用打印机打印输出，由操作人员选择。
布置图生成部101根据从控制部103输入的检查结果文件的内容，生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位的器件安装部位布置图。
检查结果输出文件生成部102根据从布置图生成部101输入的布置图及从控制部103输入的检查结果文件，生成检查结果输出文件。该检查结果输出文件是可按被检查基板的基板编号检索的图象数据形式的文件，由上述布置图、不合格内容的文字显示画面等构成。
控制部103具有微处理机等，根据由操作人员从输入部99输入的各种数据或命令，控制数据输入部97、存储部98、输出部100、布置图生成部101、及检查结果输出文件生成部102的动作，并将检查结果输出文件的内容在显示部100的显示器上显示或用打印机打印输出。
以下，说明具有上述结构的本发明的基板检查系统的实施例的动作。
在基板检查装置91中，根据对从生产线上取入的被检查基板的器件安装部位进行光照射而得到的光接收数据，判定被检查基板的各个器件安装部位是否合格，并对指示与不合格部位有关的不合格内容的不合格项目进行特定的检查，对每块基板生成写入各个器件安装部位是否合格的判定结果、不合格部位的不合格内容、及各个器件安装部位的位置坐标的检查结果文件，并将该检查结果文件通过数据输出部95写入软盘96或输出到LAN电缆94。
另一方面，在检查结果输出装置93中，通过数据输入部97将从基板检查装置91输出的检查结果文件由LAN电缆94接收，或由软盘96读入。
控制部103将通过数据输入部97得到的检查结果文件存储在存储部98内，同时输入到布置图生成部101及检查结果输出文件生成部102。
接着，控制部103使布置图生成部101动作，根据检查结果文件的内容，生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位位置的器件安装部位布置图，并将该布置图送到检查结果文件生成部102，并使检查结果文件生成部102动作，生成具有图6至图13所示图象数据的检查结果输出文件，将该检查结果输出文件保存在存储部98内。
当用户操作输入部99的键盘，输入了将检查结果输出的命令时，控制部103从存储部98读出所要求的基板编号的检查结果输出文件，并由输出部100将其内容输出。
这样，如按照上述本发明的检查结果输出装置的第5实施例及采用本第5实施例的本发明基板检查系统的实施例，检查结果输出装置并不组装在器件安装工序的生产线92上，而是按离线构成基板检查系统，利用检查结果输出装置的布置图生成部，根据从基板检查装置输入的检查结果文件，生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位的器件安装部位布置图，并通过将该布置图输出，在需要时，不必停止生产线92，即可迅速且正确地确认被检查基板的不合格部位，并能准确地掌握器件安装部位的质量变化趋势，所以能有效地进行不合格部位的修正作业和器件安装部位的质量管理。
从上述实施例可以看出，本发明根据被检查基板的检查结果数据，生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位的器件安装部位布置图，并通过将该布置图输出，可以迅速且正确地确认被检查基板的不合格部位，并能准确地掌握器件安装部位的质量变化趋势，所以具有能效进行不合格部位的修正作业和器件安装部位的质量管理这样的效果。
权利要求
1.一种检查结果输出装置，将光照射在基板上，接收其反射光并根据所得到的光接收数据对基板上的器件安装部位进行检查，根据其检查结果生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位位置的器件安装部位布置图，并将该布置图输出，该检查结果输出装置的特征在于备有布置图生成装置，用于生成以具有与不合格内容对应的不同形状的不合格部位识别标记指出示不合格部位的上述布置图。
2.根据权利要求1所述的检查结果输出装置，其特征在于能够适当变更上述不合格部位识别标记。
3.一种检查结果输出装置，将光照射在基板上，接收其反射光并根据所得到的光接收数据对基板上的器件安装部位进行检查，根据其检查结果生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位位置的器件安装部位布置图，并将该布置图输出，该检查结果输出装置的特征在于备有布置图生成装置，用于生成显示上述布置图的指定区域的放大图、同时显示出该放大图所示区域位置的上述布置图。
4.一种检查结果输出装置，将光照射在基板上，接收其反射光并根据所得到的光接收数据对基板上的器件安装部位进行检查，根据其检查结果生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位置的器件安装部位布置图，并将该布置图输出，该检查结果输出装置的特征在于备有布置图生成装置，用于生成用文字显示出所指定的不合格部位的不合格内容、同时将该文字显示与对应于所指定不合格部位的不合格部位识别标记用引出线相互连接的上述布置图。
5.一种检查结果输出装置，将光照射在基板上，接收其反射光并根据所得到的光接收数据对基板上的器件安装部位进行检查，根据其检查结果生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位位置的器件安装部位布置图，并将该布置图输出，该检查结果输出装置的特征在于备有布置图生成装置，用于生成显示出各个器件安装部位发生不合格的历史记录的上述布置图。
6.一种检查结果输出装置，根据由基板检查装置得到的基板的器件安装部位的检查结果生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位位置的器件安装部位布置图，并将该布置图输出，该检查结果输出装置的特征在于备有布置图生成装置，用于生成以与不合格内容对应的形状不同的不合格部位识别标记指出示不合格部位的上述布置图。
7.根据权利要求6所述的检查结果输出装置，其特征在于能够适当变更上述不合格部位识别标记。
8.一种检查结果输出装置，根据由基板检查装置得到的基板的器件安装部位的检查结果生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位位置的器件安装部位布置图，并将该布置图输出，该检查结果输出装置的特征在于备有布置图生成装置，用于生成显示上述布置图的指定区域的放大图、同时显示出该放大图所示区域位置的上述布置图。
9.一种检查结果输出装置，根据由基板检查装置得到的基板的器件安装部位的检查结果生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位位置的器件安装部位布置图，并将该布置图输出，该检查结果输出装置的特征在于备有布置图生成装置，用于生成用文字显示出所指定的不合格部位的不合格内容、同时将该文字显示与对应于所指定不合格部位的不合格部位识别标记用引出线相互连接的上述布置图。
10.一种检查结果输出装置，根据由基板检查装置得到的基板的器件安装部位的检查结果生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位位置的器件安装部位布置图，并将该布置图输出，该检查结果输出装置的特征在于备有布置图生成装置，用于生成显示出各个器件安装部位发生不合格的历史记录的上述布置图。
11.一种基板检查系统，它由基板检查装置和检查结果输出装置构成，基板检查装置将光照射在基板上，接收其反射光并根据所得到的光接收数据对基板上的器件安装部位进行检查，检查结果输出装置根据该基板检查装置的检查结果生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位位置的器件安装部位布置图，并将该布置图输出，该检查结果输出装置的特征在于备有布置图生成装置，用于生成以与不合格内容对应的形状不同的不合格部位识别标记指出示不合格部位的上述布置图。
12.根据权利要求11所述的基板检查系统，其特征在于能够适当变更上述不合格部位识别标记。
13.一种基板检查系统，它由基板检查装置和检查结果输出装置构成，基板检查装置将光照射在基板上，接收其反射光并根据所得到的光接收数据对基板上的器件安装部位进行检查，检查结果输出装置根据该基板检查装置的检查结果生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位位置的器件安装部位布置图，并将该布置图输出，该检查结果输出装置的特征在于备有布置图生成装置，用于生成显示上述布置图的指定区域的放大图、同时显示出该放大图所示区域位置的上述布置图。
14.一种基板检查系统，它由基板检查装置和检查结果输出装置构成，基板检查装置将光照射在基板上，接收其反射光并根据所得到的光接收数据对基板上的器件安装部位进行检查，检查结果输出装置根据该基板检查装置的检查结果生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位位置的器件安装部位布置图，并将该布置图输出，该检查结果输出装置的特征在于备有布置图生成装置，用于生成用文字显示出所指定的不合格部位的不合格内容、同时将该文字显示与对应于所指定不合格部位的不合格部位识别标记用引出线相互连接的上述布置图。
15.一种基板检查系统，它由基板检查装置和检查结果输出装置构成，基板检查装置将光照射在基板上，接收其反射光并根据所得到的光接收数据对基板上的器件安装部位进行检查，检查结果输出装置根据该基板检查装置的检查结果生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位位置的器件安装部位布置图，并将该布置图输出，该检查结果输出装置的特征在于备有布置图生成装置，用于生成显示出各个器件安装部位发生不合格的历史记录的上述布置图。
16.一种检查结果输出方法，其特征在于根据对基板的器件安装部位的检查结果生成以具有与不合格内容对应的不同形状的不合格部位识别标记指出示不合格部位的器件安装部位布置图并将该布置图输出。
17.根据权利要求16所述的检查结果输出方法，其特征在于能够适当变更上述不合格部位识别标记。
18.一种检查结果输出方法，其特征在于根据对基板的器件安装部位的检查结果生成以不合格部位识别标记指出示不合格部位的器件安装部位布置图，在该布置图上，显示所指定的区域的放大图，同时显示出该放大图所示出的区域位置，并将显示出该放大图所示区域位置的布置图输出。
19.一种检查结果输出方法，其特征在于根据对基板的器件安装部位的检查结果生成以不合格部位识别标记指出示不合格部位的器件安装部位布置图，用文字显示出在该布置图上所指定的不合格部位的不合格内容、同时将该文字显示与对应于所指示不合格部位的不合格部位识别标记用引出线相互连接，并输出用引出线将该不合格内容与不合格部位识别标记相互连接的布置图。
20.一种检查结果输出方法，其特征在于根据对基板的器件安装部位的检查结果生成以不合格部位识别标记指出示不合格部位的器件安装部位布置图，在该布置图上显示各个器件安装部位发生不合格的历史记录，并输出显示出该不合格发生的历史记录的布置图。
21.一种基板检查方法，其特征在于将光照射在基板上，接收其反射光并根据所得到的光接收数据对基板上的器件安装部位进行检查，根据其检查结果生成以具有与不合格内容对应的不同形状的不合格部位识别标记指示出不合格部位位置的器件安装部位布置图，并将该布置图输出。
22.根据权利要求21所述的基板检查方法，其特征在于能够适当变更上述不合格部位识别标记。
23.一种基板检查方法，其特征在于将光照射在基板上，接收其反射光并根据所得到的光接收数据对基板上的器件安装部位进行检查，根据其检查结果生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位位置的器件安装部位布置图，在该布置图上，显示所指定的区域的放大图，同时显示出该放大图所示出的区域位置，并将显示出该放大图所示区域位置的布置图输出。
24.一种基板检查方法，其特征在于将光照射在基板上，接收其反射光并根据所得到的光接收数据对基板上的器件安装部位进行检查，根据其检查结果生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位位置的器件安装部位布置图，用文字显示出在该布置图上所指定的不合格部位的不合格内容、同时将该文字显示与对应于所指示不合格部位的不合格部位识别标记用引出线相互连接，并输出用引出线将该不合格内容与不合格部位识别标记相互连接的布置图。
25.一种基板检查方法，其特征在于将光照射在基板上，接收其反射光并根据所得到的光接收数据对基板上的器件安装部位进行检查，根据其检查结果生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位位置的器件安装部位布置图，在该布置图上显示各个器件安装部位发生不合格的历史记录，并输出显示出该不合格发生的历史记录的布置图。
全文摘要
本发明的目的是有效地进行不合格部位的修正作业和器件安装部位的质量管理，其结构是由光投射部将光照射在被检查基板上，由摄象部对其反射光影像进行摄象，并根据所得到的彩色图象信号对基板上的器件安装部位进行检查，根据其检查结果生成以与不合格内容对应的形状不同的不合格部位识别标记指出示不合格部位的器件安装部位布置图，并将该布置图通过检查结果输出文件生成部由输出部输出。
文档编号G01B11/24GK1151519SQ96105130
公开日1997年6月11日 申请日期1996年4月19日 优先权日1995年4月20日
发明者石羽正人 申请人:欧姆龙株式会社