基于硅谐振式传感器的压力生成方法
【技术领域】
[0001] 本发明属于压力生成方法，具体涉及一种基于娃谐振式传感器的压力生成方法。
【背景技术】
[0002] 当前，航天飞行器对于压力测量要求愈来愈高，主要体现方面包括量程大、精度 高、有效期长等方面。在传统应用中，W应用娃压阻传感器进行测量为主。当前，娃压阻传感 器技术发展相对比较成熟。娃压阻式压力传感器利用材料的压阻效应进行压力测量，当材 料受到应力作用时，其电阻或电阻率发生明显变化，娃压阻式压力传感器则通过敏感电阻 或电阻率变化进而敏感压力大小。娃压阻式压力传感器的迟滞性极小，重复性极好，但是作 为一种半导体器件，娃压阻传感器对温度的非线性依赖使得传感器必须实施温度补偿。同 时，在长时间应用的情况下，由于电阻的应力均分效应而使得传感器灵敏度下降。因此，娃 压阻式传感器存在温度补偿难度大，应用有效期短等不足。
【发明内容】
[0003] 本发明的目的是针对现有技术缺陷，提供一种基于娃谐振式传感器的压力生成方 法。
[0004] 本发明是该样实现的；一种基于娃谐振式传感器的压力生成方法，包括下述步 骤：
[0005] 步骤一：数据采集
[0006] 由娃谐振传感器采集压力信息，该压力信息W频率的形式被输出，同时娃谐振传 感器还采集实时的温度数据，
[0007] 步骤二：数据转换
[0008] 娃谐振传感器W频率形式输出的压力信息被转换为脉冲计数；娃谐振传感器输出 的模拟信号的温度信息被转换数字信号形式，
[000引步骤S ;计算 [0010] 用下述公式计算压力值
【主权项】
1. 一种基于硅谐振式传感器的压力生成方法，其特征在于，包括下述步骤： 步骤一：数据采集 由硅谐振传感器采集压力信息，该压力信息以频率的形式被输出，同时硅谐振传感器 还采集实时的温度数据， 步骤二：数据转换 硅谐振传感器以频率形式输出的压力信息被转换为脉冲计数；硅谐振传感器输出的模 拟信号的温度信息被转换数字信号形式， 步骤三：计算 用下述公式计算压力值
其中，fi是硅谐振传感器输出的频率信号，/为选定的硅谐振传感器振动频率基准，是 硅谐振传感器最大量程的一半对应的数值，uSi是转换为数字信号的温度信息值，J是温度 20°C时娃谐振传感器输出的温度信息值，系数kn?k56分别为：
P就是最终输出的压力值。
【专利摘要】本发明属于压力生成方法，具体涉及一种基于硅谐振式传感器的压力生成方法。它包括：步骤一：数据采集，步骤二：数据转换，步骤三：计算最终输出的压力值P。使用本发明的效果是：①与传统压力测量传感器相比，具有较高测量精度。总压在1MPa量程内不超过300Pa，静压在500KPa量程内不超过120Pa。②基于本方法，硅谐振式传感器可在(-40，60)℃的范围内进行高精度压力测量。
【IPC分类】G01L19-04, G01L9-00
【公开号】CN104568289
【申请号】CN201310503082
【发明人】刘海东, 李彬, 王斌, 张金盛, 窦小明, 刘莉, 赵佳媚, 李亮, 张银辉
【申请人】北京临近空间飞行器系统工程研究所, 中国运载火箭技术研究院
【公开日】2015年4月29日
【申请日】2013年10月23日