激光精密振镜校正准确度检测方法及系统的制作方法

文档序号:8359391阅读:629来源:国知局
激光精密振镜校正准确度检测方法及系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及激光精密加工技术领域,特别涉及一种激光精密振镜校正准确度检测方法及系统。
【背景技术】
[0002]在激光精密切割领域中,通常采用振镜扫描的加工方式来保证激光精密系统的加工精度。在采用振镜的激光精密系统中,需要通过振镜自带的软体控制系统间隔对振镜扫描系统进行校准,该过程被称为振镜的校正。当振镜完成校正后,需要通过对校正的准确度进行检测评估,以判断激光加工精度是否达到要求。
[0003]现有的振镜校正准确度检测方法是通过软体直接读取校正后补偿坐标,并进行矩阵坐标二次元计算,得到偏差数值是否满足精度要求。而由于振镜校正准确度往往都是通过振镜扫描区域的衔接来反映,但由于直接读取校正坐标需要比较繁琐的计算及流程,因此,该方法的检测过程较复杂,且效率不高。

【发明内容】

[0004]本发明的目的是提出一种激光精密振镜校正准确度检测方法及系统,其能快速准确地对振镜校正准确度检测验证。
[0005]为达到上述目的,本发明提出了一种激光精密振镜校正准确度检测方法,包括:在至少一振镜扫描区域的边界上放置验证素材,且所述验证素材是至少放置在所述边界相互垂直的两个方向上,在所述验证素材上分别激光加工多个部分标准图形,使得所述部分标准图形进行拼接得到至少一个标准图案,检测拼接后的所述标准图案的完整度是否达到预设值,从而判断振镜校正的准确度。
[0006]进一步,在上述激光精密振镜校正准确度检测方法中,包括以下步骤:
[0007]步骤S1:通过激光控制装置输入具有接口衔接图形的接口文件,所述接口衔接图形由至少一个标准图案组成,所述标准图案的中心位于至少一振镜扫描区域的边界上;
[0008]步骤S2:选择一用于激光加工且线宽均匀的验证素材,并将所述验证素材放置于所述至少一振镜扫描区域边界上;
[0009]步骤S3:通过激光装置产生激光,根据所述接口衔接图形通过激光在所述验证素材上进行加工,且于所述至少一振镜扫描区域内加工得到多个部分标准图形;以及
[0010]步骤S4:将所述多个部分标准图形进行拼接形成至少一个所述标准图案,检测拼接后该标准图案的完整度并判断该完整度是否达到预设值,若是,则表示所述振镜校正准确;若否,则表示需要重新对振镜进行校正。
[0011]进一步,在上述激光精密振镜校正准确度检测方法中,所述至少一振镜扫描区域为一个,所述步骤S3具体包括:
[0012]通过激光装置产生激光,根据所述接口衔接图形通过激光在所述验证素材上进行加工,且于所述一个振镜扫描区域的横向边界与纵向边界相交处加工得到四个具有1/4标准图案的加工图形。
[0013]进一步,在上述激光精密振镜校正准确度检测方法中,所述至少一振镜扫描区域为两个,所述步骤S3具体包括:
[0014]通过激光装置产生激光,根据所述接口衔接图形通过激光在所述验证素材上进行加工,且于所述两个振镜扫描区域的横向边界及纵向边界加工得到各一组具有1/2标准图案的加工图形。
[0015]进一步,在上述激光精密振镜校正准确度检测方法中,所述至少一振镜扫描区域为四个,所述步骤S3具体包括:
[0016]通过激光装置产生激光,根据所述接口衔接图形通过激光在所述验证素材上进行加工,且于所述四个振镜扫描区域的横向边界及纵向边界加工得到至少一组具有1/4标准图案的加工图形。
[0017]进一步,在上述激光精密振镜校正准确度检测方法中,所述标准图案为圆形或方形。
[0018]进一步,在上述激光精密振镜校正准确度检测方法中,所述标准图案为圆形的情况下,所述步骤S4具体包括:
[0019]所述部分标准图形为1/4或1/2圆形,将所述多个1/4或1/2圆形拼接成圆形,检测拼接圆形的圆度并判断该圆度是否达到预设值,若是,则表示所述振镜校正准确;若否,则表示需要重新对振镜进行校正。
[0020]进一步,在上述激光精密振镜校正准确度检测方法中,所述检测拼接圆形的圆度的步骤具体包括:
[0021]通过圆度检测装置分别测定所述拼接圆形的短轴直径及长轴直径的长度,所述圆形的圆度=(短轴直径/长轴直径)X 100%,所述短轴直径与长轴直径相互垂直,所述短轴直径为圆形中长度最小的直径,所述长轴直径为圆形内长度最大的直径。
[0022]本发明还提供一种激光精密振镜校正准确度检测系统,包括:激光加工装置、振镜扫描装置、激光控制装置、用于激光加工且线宽均匀的验证素材、完整度检测装置及具有接口衔接图形的接口文件;
[0023]所述激光控制装置包括:
[0024]输入模块,用于输入具有接口衔接图形的接口文件;所述接口衔接图形由至少一个标准图案组成,所述标准图案的中心位于至少一振镜扫描区域边界上,所述验证素材放置于所述至少一振镜扫描区域边界上;
[0025]扫描加工模块,用于根据所述输入模块中的接口衔接图形控制所述激光加工装置及振镜扫描装置在所述验证素材上进行加工,且于所述至少一振镜扫描区域内加工得到多个具有部分标准图案的加工图形;
[0026]拼接模块,用于将所述多个具有部分标准图案的加工图形进行拼接形成至少一个所述标准图案;以及
[0027]所述完整度检测装置用于检测拼接后的标准图案的完整度。
[0028]进一步,在上述激光精密振镜校正准确度检测系统中,还包括:
[0029]比较判断模块,用于比较判断该标准图案的完整度是否达到预设值;以及
[0030]校正模块,用于在该标准图案的完整度未达到预设值的情况下重新对所述振镜扫描装置进行校正。
[0031]本发明激光精密振镜校正准确度检测方法及系统简化了振镜校正后检测验证的过程,提高了检测效率,实现了快速准确地对振镜校正准确度检测验证。
【附图说明】
[0032]图1为本发明激光精密振镜校正准确度检测方法的流程示意图;
[0033]图2为图1中接口文件一实施例的示意图;
[0034]图3为图1中接口文件另一实施例的示意图;
[0035]图4a为图3中拼接标准图案一实施例的示意图;
[0036]图4b为图3中另一拼接圆形一实施例的示意图;
[0037]图5为本发明激光精密振镜校正准确度检测系统的示意图。
【具体实施方式】
[0038]为了便于理解本发明,下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的较佳实施例。但是,本发明可以以许多不同的形式来实现,并不限于本文所描述的实施例。相反地,提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容的理解更加透彻全面。
[0039]本发明的激光精密振镜校正准确度检测方法,是在至少一振镜扫描区域的边界上放置验证素材,且所述验证素材是放置在至少边界相互垂直的两个方向上,在所述验证素材上分别激光加工多个部分标准图形,使得所述部分标准图形进行拼接得到至少一个标准图案,检测拼接后的所述标准图案的完整度是否达到预设值,从而判断振镜校正的准确度。
[0040]下面结合附图详细说明本发明的优选实施例。
[0041]请参阅图1,本发明激光精密振镜校正准确度检测方法是一种通过材料加工间接的验证方式,其包括以下步骤:
[0042]步骤S1:通过激光控制装置输入具有接口衔接图形的接口文件,所述接口衔接图形由至少一个标准图案组成,所述标准图案的中心位于至少一振镜扫描区域的边界上;在本发明优选实施例中,所述接口衔接图形由多个依次排列的标准图案组成,所述多个依次排列的标准图案的中心位于至少一振镜扫描区域相邻边界上;
[0043]步骤S2:选择一用于激光切割且线宽均匀的验证素材,并将所述验证素材放置于所述至
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