及校正模块309 ；
[0070]所述输入模块302与所述接口文件60相连，用于输入具有接口衔接图形的接口文件60 ;所述接口衔接图形由一个或多个标准图案组成，所述一个或多个标准图案的中心位于至少一振镜扫描区域边界上，所述验证素材40放置于所述至少一振镜扫描区域边界上；
[0071]所述扫描加工模块304用于根据输入模块302中的接口衔接图形控制所述激光加工装置10及振镜扫描装置20在所述验证素材40上进行切割，且于所述至少一振镜扫描区域内切割得到多个具有部分标准图案的切割图形；
[0072]所述拼接模块306用于将验证素材40上加工完成后的所述多个部分标准图案进行拼接，形成所述标准图案；
[0073]所述完整度检测装置50用于检测验证素材40上拼接完成后的标准图案的完整度，并将结果传送给比较判断模块308 ；
[0074]所述比较判断模块308用于将该标准图案的完整度与输入模块302中的接口衔接图形进行比较，并判断是否达到预设值；
[0075]所述校正模块309根据比较判断模块308的判断结果，在该标准图案的完整度未达到预设值的情况下重新对振镜扫描装置20进行校正。
[0076]其中，所述标准图案为圆形时，所述完整度检测装置50为二次元设备，其圆度可以判断振镜扫描区域的接口衔接的品质，由于振镜校正准确度往往都是通过振镜扫描区域的接口衔接来反映，因此，可通过该拼接圆形的圆度来检测验证振镜校正的准确度。
[0077]本发明激光精密振镜校正准确度检测方法及系统只涉及振镜校正的效果检测验证，检测验证后，用户可以根据效果而决定是否再次校正。但是校正后的检测验证是必需的环节，可以帮助用户在一些系统出现漂移误差后，找到问题的关键。
[0078]相比于现有技术，本发明激光精密振镜校正准确度检测方法及系统简化了振镜校正后检测验证的过程，提高了检测效率，实现了快速准确地对振镜校正准确度检测验证。
[0079]这里本发明的描述和应用是说明性的，并非想将本发明的范围限制在上述实施例中。这里所披露的实施例的变形和改变是可能的，对于那些本领域的普通技术人员来说实施例的替换和等效的各种部件是公知的。本领域技术人员应该清楚的是，在不脱离本发明的精神或本质特征的情况下，本发明可以以其它形式、结构、布置、比例，以及用其它组件、材料和部件来实现。在不脱离本发明范围和精神的情况下，可以对这里所披露的实施例进行其它变形和改变。
【主权项】
1.一种激光精密振镜校正准确度检测方法，其特征在于，包括: 在至少一振镜扫描区域的边界上放置验证素材，且所述验证素材是至少放置在所述边界相互垂直的两个方向上，在所述验证素材上分别激光加工多个部分标准图形，使得所述部分标准图形进行拼接得到至少一个标准图案，检测拼接后的所述标准图案的完整度是否达到预设值，从而判断振镜校正的准确度。
2.根据权利要求1所述的激光精密振镜校正准确度检测方法，其特征在于，包括以下步骤: 步骤S1:通过激光控制装置输入具有接口衔接图形的接口文件，所述接口衔接图形由至少一个标准图案组成，所述标准图案的中心位于至少一振镜扫描区域的边界上； 步骤S2:选择一用于激光加工且线宽均匀的验证素材，并将所述验证素材放置于所述至少一振镜扫描区域边界上； 步骤S3:通过激光装置产生激光，根据所述接口衔接图形通过激光在所述验证素材上进行加工，且于所述至少一振镜扫描区域内加工得到多个部分标准图形；以及 步骤S4:将所述多个部分标准图形进行拼接形成至少一个所述标准图案，检测拼接后该标准图案的完整度并判断该完整度是否达到预设值，若是，则表示所述振镜校正准确；若否，则表示需要重新对振镜进行校正。
3.根据权利要求2所述的激光精密振镜校正准确度检测方法，其特征在于，所述至少一振镜扫描区域为一个，所述步骤S3具体包括: 通过激光装置产生激光，根据所述接口衔接图形通过激光在所述验证素材上进行加工，且于所述一个振镜扫描区域的横向边界与纵向边界相交处加工得到四个具有1/4标准图案的加工图形。
4.根据权利要求2所述的激光精密振镜校正准确度检测方法，其特征在于，所述至少一振镜扫描区域为两个，所述步骤S3具体包括: 通过激光装置产生激光，根据所述接口衔接图形通过激光在所述验证素材上进行加工，且于所述两个振镜扫描区域的横向边界及纵向边界加工得到各一组具有1/2标准图案的加工图形。
5.根据权利要求2所述的激光精密振镜校正准确度检测方法，其特征在于，所述至少一振镜扫描区域为四个，所述步骤S3具体包括: 通过激光装置产生激光，根据所述接口衔接图形通过激光在所述验证素材上进行加工，且于所述四个振镜扫描区域的横向边界及纵向边界加工得到至少一组具有1/4标准图案的加工图形。
6.根据权利要求1?5任一项所述的激光精密振镜校正准确度检测方法，其特征在于，所述标准图案为圆形或方形。
7.根据权利要求6所述的激光精密振镜校正准确度检测方法，其特征在于，所述标准图案为圆形的情况下，所述步骤S4具体包括: 所述部分标准图形为1/4或1/2圆形，将所述多个1/4或1/2圆形拼接成圆形，检测拼接圆形的圆度并判断该圆度是否达到预设值，若是，则表示所述振镜校正准确；若否，则表示需要重新对振镜进行校正。
8.根据权利要求7所述的激光精密振镜校正准确度检测方法，其特征在于，所述检测拼接圆形的圆度的步骤具体包括: 通过圆度检测装置分别测定所述拼接圆形的短轴直径及长轴直径的长度，所述圆形的圆度=(短轴直径/长轴直径)X 100%,所述短轴直径与长轴直径相互垂直，所述短轴直径为圆形中长度最小的直径，所述长轴直径为圆形内长度最大的直径。
9.一种激光精密振镜校正准确度检测系统，其特征在于，包括:激光加工装置、振镜扫描装置、激光控制装置、用于激光加工且线宽均匀的验证素材、完整度检测装置及具有接口衔接图形的接口文件； 所述激光控制装置包括: 输入模块，用于输入具有接口衔接图形的接口文件；所述接口衔接图形由至少一个标准图案组成，所述标准图案的中心位于至少一振镜扫描区域边界上，所述验证素材放置于所述至少一振镜扫描区域边界上； 扫描加工模块，用于根据所述输入模块中的接口衔接图形控制所述激光加工装置及振镜扫描装置在所述验证素材上进行加工，且于所述至少一振镜扫描区域内加工得到多个具有部分标准图案的加工图形； 拼接模块，用于将所述多个具有部分标准图案的加工图形进行拼接形成至少一个所述标准图案；以及 所述完整度检测装置用于检测拼接后的标准图案的完整度。
10.根据权利要求9所述的激光精密振镜校正准确度检测系统，其特征在于，所述激光控制装置还包括: 比较判断模块，用于比较判断该标准图案的完整度是否达到预设值；以及校正模块，用于在该标准图案的完整度未达到预设值的情况下重新对所述振镜扫描装置进行校正。
【专利摘要】本发明提出了一种激光精密振镜校正准确度检测方法及系统，所述方法包括：在至少一振镜扫描区域的边界上放置验证素材，且所述验证素材是至少放置在所述边界相互垂直的两个方向上，在所述验证素材上分别激光加工多个部分标准图形，使得所述部分标准图形进行拼接得到至少一个标准图案，检测拼接后的所述标准图案的完整度是否达到预设值，从而判断振镜校正的准确度。本发明简化了振镜校正后检测验证的过程，提高了检测效率，实现了快速准确地对振镜校正准确度检测验证。
【IPC分类】G01M11-00
【公开号】CN104677594
【申请号】CN201310616067
【发明人】苏培林, 覃涛, 吕洪杰, 翟学涛, 杨朝晖, 高云峰
【申请人】大族激光科技产业集团股份有限公司, 深圳市大族数控科技有限公司
【公开日】2015年6月3日
【申请日】2013年11月27日