一种检测清洗液使用程度的方法和系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及基板制备技术领域，尤其涉及一种检测清洗液使用程度的方法和系统。
【背景技术】
[0002]目前，制作阵列基板的工艺包括在玻璃基板上进行成膜、曝光、刻蚀等步骤，而玻璃基板的表面通常存在一些灰尘、油脂等杂质，这些杂质会影响玻璃基板上成膜的质量，为了保证玻璃基板上成膜的质量，在进行成膜步骤之前，需要将玻璃基板浸入清洗液中进行清洗，洗去杂质。清洗液在使用到一定程度后需要更换，以防止出现玻璃基板的清洁结果较差的问题。在现有技术中，往往根据清洗同一标准玻璃基板的块数来决定是否更换清洗液，当清洗同一标准玻璃基板的块数达到规定块数时，更换清洗液。
[0003]但是由于每块玻璃基板的污染程度不同，每块玻璃基板对清洗液的使用程度也不同，根据清洗同一标准玻璃基板的块数来决定是否更换清洗液，会出现清洗液使用不充分就更换造成的清洗液浪费，或清洗液使用过度造成的清洗效果差的现象，使得选择更换清洗液的节点的准确性差。
【发明内容】
[0004]本发明的目的在于提供一种检测清洗液使用程度的方法和系统，用于提高选择更换清洗液的节点的准确性。
[0005]为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案:
[0006]一方面，本发明提供了一种检测清洗液使用程度的方法，包括:
[0007]将扭转模态超声导波通入清洗液中；
[0008]接收返回导波，所述返回导波为所述扭转模态超声导波未泄露到所述清洗液中且返回的部分；
[0009]获取所述返回导波的能量，检测所述返回导波的能量是否小于或等于预设标准能量，所述预设标准能量为需要更换的清洗液对应的返回导波的能量；
[0010]若所述返回导波的能量小于或等于预设标准能量，则确定更换所述清洗液。
[0011]另一方面，本发明提供了一种检测清洗液使用程度的系统，包括扭转模态磁致伸缩传感器和示波器；
[0012]其中，所述扭转模态磁致伸缩传感器，用于将扭转模态超声导波通入清洗液中；还用于接收返回导波，所述返回导波为所述扭转模态超声导波未泄露到所述清洗液中返回的部分；
[0013]所述示波器，用于获取所述返回导波的能量，检测所述返回导波的能量是否小于或等于预设标准能量，所述预设标准能量为需要更换的清洗液对应的返回导波的能量；还用于当所述返回导波的能量小于或等于预设标准能量时，确定更换所述清洗液。
[0014]本发明提供的检测清洗液使用程度的方法和系统中，通过将扭转模态超声导波通入到清洗液中，根据返回导波的能量和预设标准能量进行对比，确定清洗液是否需要更换，与现有技术中根据清洗同一标准的玻璃基板的块数来决定是否更换清洗液的方法相比，本发明利用扭转模态超声导波本身具有的对牛顿液体的粘滞系数较为敏感的特性，根据返回导波的能量能够得知清洗液本身的使用程度，从而能够准确的判断清洗液是否需要更换，提高选择更换清洗液的节点的准确性。
【附图说明】
[0015]此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中:
[0016]图1为本发明实施例一中检测清洗液使用程度的方法的流程图；
[0017]图2为本发明实施例二中检测清洗液使用程度的方法的流程图；
[0018]图3为本发明实施例二中扭转模态超声导波的频率与牛顿液体的粘滞系数之间的变化关系的不意图；
[0019]图4为本发明实施例三中检测清洗液使用程度的方法的流程图；
[0020]图5为本发明实施例四中检测清洗液使用程度的系统的结构示意图；
[0021]图6为本发明实施例五中检测清洗液使用程度的系统的结构示意图。
[0022]附图标记:
[0023]20-扭转模态磁致伸缩传感器，21-示波器，
[0024]22-清洗液，23-函数发生器，
[0025]24-功率放大器。
【具体实施方式】
[0026]为了进一步说明本发明实施例提供的检测清洗液使用程度的方法和系统，下面结合说明书附图进行详细描述。
[0027]实施例一
[0028]请参阅图1，本发明实施例提供一种检测清洗液使用程度的方法，包括:
[0029]步骤101，将扭转模态超声导波通入清洗液中；其中，清洗液属于牛顿液体，而扭转模态超声导波对牛顿液体粘滞系数较为敏感，通过扭转模态超声导波在清洗液中能量的衰减程度，可以得到清洗液的粘滞系数，根据清洗液的粘滞系数可以得知清洗液的使用程度，从而判断清洗液是否需要更换；在本发明实施例中可以利用扭转模态磁致伸缩传感器生成扭转模态超声导波，将扭转模态超声导波通入清洗液中。
[0030]步骤102，接收返回导波；其中，扭转模态磁致伸缩传感器为自激自收传感器，返回导波为扭转模态超声导波未泄露到清洗液中且返回扭转模态磁致伸缩传感器的部分，扭转模态超声导波通入牛顿液体中，有部分扭转模态超声导波会发生衰减，消耗泄漏到清洗液中，无法再返回扭转模态磁致伸缩传感器，扭转模态超声导波未泄露到清洗液中且返回扭转模态磁致伸缩传感器的部分也就是扭转模态超声导波未发生衰减的部分；在本发明实施例中，扭转模态磁致伸缩传感器还可以接收返回导波。
[0031]步骤103，获取所述返回导波的能量，检测所述返回导波的能量是否小于或等于预设标准能量；其中，预设标准能量为需要更换的清洗液对应的返回导波的能量，返回导波的能量的大小与清洗液的使用程度成反比，将返回导波的能量与预设标准能量进行对比，从而根据对比结果决定是否需要更换清洗液。
[0032]步骤104，若所述返回导波的能量小于或等于预设标准能量，则确定更换所述清洗液；当返回导波的能量小于或等于预设标准能量时，说明清洗液的使用程度已经到达需要更换清洗液的程度，确定更换清洗液；当返回导波的能量大于预设标准能量时，说明清洗液的使用程度还未到达需要更换清洗液的程度，清洗液还可以继续使用，确定不需更换清洗液。
[0033]本发明实施例提供的检测清洗液使用程度的方法中，通过将扭转模态超声导波通入到清洗液中，根据返回导波的能量和预设标准能量进行对比，确定清洗液是否需要更换，与现有技术中根据清洗同一标准的玻璃基板的块数来决定是否更换清洗液的方法相比，本发明利用扭转模态超声导波本身具有的对牛顿液体的粘滞系数较为敏感的特性，根据返回导波的能量能够得知清洗液本身的使用程度，从而能够准确的判断清洗液是否需要更换，提高选择更换清洗液的节点的准确性。
[0034]实施例二
[0035]请参阅图2，在实施例一的基础上，还可以在步骤101之前增添步骤105-步骤107，步骤105-步骤107具体说明如何生成扭转模态超声导波，包括:
[0036]步骤105，生成初始导波信号；其中，可以利用函数发生器生成初始导波信号，初始导波信号具体可以是正弦波、方波或三角波等，为了便于观察，初始导波信号还可以是经过汉宁窗调制的正弦波、方波或三角波，优选初始导波信号为经过汉宁窗调制的正弦波，比如，利用函数发生器生成1-10个周期的经汉宁窗调制的正弦波，并将1-10个周期的经汉宁窗调制的正弦波作为初始导波信号。且为了保证初始导波信号的准确性，可以在函数发生器设定初始导波信号的波形的各个参数后，将初始导波信号通入示波器，通过示波器观察初始导波信号是否准确，若不准确，重新调试函数发生器，直至初始导波信号准确为止。
[0037]步骤106，对所述初始导波信号进行功率放大，将功率放大后的所述初始导波信号作为激励信号；为了能够得到能量变化更加明显的扭转模态超声导波，对初始导波信号进行功率放大，将功率放大后的初始导波信号作为激励信号输入扭转模态磁致伸缩传感器，具体可以将初始导波信号通入功率放大器中进行放大，扭转模态磁致伸缩传感器根据激励信号，生成通入清洗液中的扭转模态超声导波。
[0038]步骤107，根据所述激励信号，生成所述扭转模态超声导波；其中，扭转模态磁致伸缩传感器为自激自收传感器，能够根据激励信号，生成扭转模态超声导波。
[0039]此外，还可以在步骤103之前增添步骤108-步骤110，从而获取预设标准能量，包括:
[0040]步骤108，将所述扭转模态超声导波通入需要更换的清洗液中；其中，将需要更换的清洗液作为标准，将扭转模态超声导波通入需要更换的清洗液中。
[0041]步骤109，接收标准返回导波；其中，标准返回导波为扭转模态超声导波未泄露到需要更换的清洗液中且返回扭转模态磁致伸缩传感器的部分。
[0042]步骤110，根据接收的所述标准返回导波，获取所述预设标准能量；预设标准能量