、从外周面73a的一端延伸的第一平坦侧面73b、从第一侧面73b以90°的角度弯折而形成山峰的第二平坦侧面73c、从第二侧面73c以90°的角度弯折而形成谷部的第三平坦侧面73d、从第三侧面73d以90°的角度弯折而形成山峰且向外周面73a的另一端部延伸的第四平坦侧面73e。
[0174]这些侧面成为滑动面部。
[0175]另一柱塞的滑动部83的截面形状也为大致半圆形，为圆弧的两端间由具有两个谷部的锯齿线连接的形状。
[0176]详细地，滑动部83具有在截面形状中，成为中心角比180°大的圆弧状凸曲面的外周面83a、从外周面83a的一端延伸的第一平坦侧面83b、从第一侧面83b以90°的角度弯折而形成谷部的第二平坦侧面83c、从第二侧面83c以90°的角度弯折而形成山峰的第三平坦侧面83d、从第三侧面83d以90°的角度弯折而形成谷部且向外周面83a的另一端部延伸的第四平坦侧面83e。
[0177]这些侧面与另一柱塞的滑动部73的侧面(滑动面部)滑动接触。
[0178]在两柱塞的滑动部73、83接触的状态下，第一柱塞的滑动部73的锯齿状侧面的山峰与第二柱塞的滑动部83的锯齿状侧面的谷部嵌合，整体上，截面形状为圆形。
[0179]详细地，第一柱塞的滑动部73的第一、第二、第三及第四侧面73b、73c、73d及73e分别与第二柱塞的滑动部83的第一、第二、第三及第四侧面83b、83c、83d及83e面接触。
[0180]图10也为第二实施方式的变形例，为表示两柱塞的滑动部的剖面图(与滑动方向正交的面)。
[0181]在图10所示的例中，一柱塞的滑动部93的截面形状为大致半圆形，为圆弧的两端间由具有三个山峰的锯齿线连接的形状。详细地，具有在截面形状中，成为中心角比180°小的圆弧状的凸曲面的外周面93a、从外周面93a的一端延伸的第一平坦侧面93b、从第一侧面93b以90°的角度弯折而形成山峰的第二平坦侧面93c、从第二侧面93c以90°的角度弯折而形成谷部的第三平坦侧面93d、从第三侧面93d以90°的角度弯折而形成山峰的第四平坦侧面93e、从第四侧面93e以90°的角度弯折而形成谷部的第五平坦侧面93f、从第五侧面93f以90°的角度弯折而形成山峰且向外周面93a的另一端部延伸的第六平坦侧面93g。这些侧面成为滑动面部。
[0182]另一柱塞的滑动部103的截面形状也为大致半圆形，我圆弧的两端间由具有三个谷部的锯齿线连接的形状。详细地，具有在截面形状中，成为中心角比180°大的圆弧状的凸曲面的外周面103a、从外周面103a的一端延伸的第一平坦侧面103b、从第一侧面103b以90°的角度弯折而形成谷部的第二平坦侧面103c、从第二侧面103c以90°的角度弯折而形成山峰的第三平坦侧面103d、从第三侧面103d以90°的角度弯折而形成谷部的第四平坦侧面103e、从第四侧面103e以90°的角度弯折而形成山峰的第五平坦侧面103f、从第五侧面103f以90°的角度弯折而形成谷部且向外周面103a的另一端部延伸的第六平坦侧面 103go
[0183]在两柱塞的滑动部93、103接触的状态下，第一柱塞的滑动部93的锯齿状侧面的山峰与第二柱塞的滑动部103的锯齿状侧面的谷部嵌合，作为整体，截面形状为圆形。
[0184]详细地，第一柱塞的滑动部93的第一?第六侧面93b?93g分别与第二柱塞的滑动部103的第一?第六侧面103b?103g面接触。
[0185]在这些变形例中，能够得到与上述第二实施方式的效果实质上同样的效果。
[0186]图9、图10所示的各柱塞的滑动部不以轴心为中心对称地形成，但为各滑动部的侧面彼此实质上密接的形状，故而无需特别考虑对称性。
[0187](变形例)
[0188]本发明不限定于以上说明的实施方式，能够进行各种变形或变更，其也在本发明的技术范围内。
[0189](I)各柱塞的滑动部的面积及长度等尺寸能够根据接触销的使用条件而适当变更。
[0190](2)在第一实施方式中，将扇形部的中心角度设为90°，但也可以为90°以外的角度(例如60° )。另外，扇形部的个数也不特别限定。另外，在扇形部的敞开不易成为问题的情况下，也可以不设置将扇形部间连结的连结部。
[0191](3)在第二实施方式中，将锯齿状侧面间的角度设为90°，但也可以为90°以外的角度。另外，扇形部的个数也不特别限定。
[0192](4)第一及第二柱塞的前端部的形状不限于图1等所示的皇冠状或半球状，能够适当变更。
[0193](5)本发明适用的接触销适合大电流量用、高频用，但用途不限于此，也能够适用于较小电流的测定或高频以外的测定，该情况下，能够得到电阻低、磨损少、可靠性及耐久性尚等优点。
[0194]另外，测定对象物也不特别限定，除了半导体晶圆、半导体封装之外，也可以为任意的测定对象物。
【主权项】
1.一种接触销，其具有: 第一柱塞; 相对于所述第一柱塞沿着规定的伸缩方向相对位移的第二柱塞； 对应于所述第一柱塞和所述第二柱塞的沿着所述伸缩方向的相对位移而产生反力的弹簧元件， 在所述第一柱塞及所述第二柱塞的一方连接有外部电路，在另一方形成有与测定对象物的接触部，其特征在于， 所述第一柱塞和所述第二柱塞经由多个滑动面部而接触，该多个滑动面部形成为包含沿着所述伸缩方向的直线的平面状且沿着所述伸缩方向延伸，并且角度相互不同而配置。2.如权利要求1所述的接触销，其特征在于， 利用与所述伸缩方向正交的平面对所述第一柱塞的包含所述滑动面部的区域进行剖切而看到的截面形状具有同心配置的多个扇形部而构成， 利用与所述伸缩方向正交的平面对所述第二柱塞的包含所述滑动面部的区域进行剖切而看到的截面形状具有在所述第一柱塞的多个扇形部的间隔分别配置的多个扇形部而构成， 所述多个滑动面部沿着所述第一柱塞的所述扇形部及所述第二柱塞的所述扇形部的半径方向而放射状地配置。3.如权利要求2所述的接触销，其特征在于， 将所述第一柱塞的多个所述扇形部和所述第二柱塞的多个所述扇形部的任一方在所述接触销的中心轴附近相互连接。4.如权利要求1所述的接触销，其特征在于， 在利用与所述伸缩方向正交的平面对所述接触销进行剖切而看到的截面形状上，所述多个滑动面部锯齿状地配置。5.如权利要求1?4中任一项所述的接触销，其特征在于， 所述弹簧元件为卷绕在所述第一柱塞及所述第二柱塞的具有所述滑动面部的区域的外径侧，并且具有与所述滑动面部邻接配置的密接部的螺旋弹簧。6.如权利要求1?5中任一项所述的接触销，其特征在于， 所述第一柱塞及所述第二柱塞至少在通过切削加工形成了所述滑动面部之后实施镀敷。
【专利摘要】本发明提供一种电气特性良好且可靠性提高的接触销。本发明的接触销(1)具有第一柱塞(10)、第二柱塞(20)以及根据使第一及第二柱塞沿着伸缩方向的相对位移而产生反力的螺旋弹簧(30)。第一柱塞(10)的滑动部(13)绕轴心对称配置，具有扇形部(17)，该扇形部(17)具有从轴芯放射状延伸的两个侧面。第二柱塞(20)的滑动部(23)也绕轴心对称配置，具有扇形部(27)，该扇形部(27)具有从轴芯放射状延伸的两个侧面。在两柱塞的滑动部啮合的状态下，各柱塞的扇形部在圆周方向交替配置。由此，能够扩大两柱塞的接触面积并且能够将两柱塞在轴心上稳定地定位。
【IPC分类】G01R1/067
【公开号】CN105190320
【申请号】CN201480012610
【发明人】犬塚仁
【申请人】株式会社山景工程
【公开日】2015年12月23日
【申请日】2014年3月6日
【公告号】WO2014136884A1