式的固有振动数之差为Af = 2.25KHz。
[0158]根据该结果，可知，在本实施例所涉及的陀螺传感器M200中，与比较例所涉及的陀螺传感器M200D向笔，能够使反相模式的固有振动数进而同相模式的固有振动数分离。
[0159]3.第三实施方式
[0160]接下来，参照附图，对第三实施方式所涉及的电子设备进行说明。图13为第三实施方式所涉及的电子设备1000的功能框图。
[0161]电子设备1000包括本发明所涉及的陀螺传感器。以下，作为本发明所涉及的陀螺传感器，对包括陀螺传感器100的情况进行说明。
[0162]电子设备1000被构成为，还包括CPU(Central Processing Unit，中央处理单元)1020、操作部 1030、ROM (Read Only Memory，只读存储器)1040、RAM (Random AccessMemory,随机存取存储器)1050、通信部1060、显示部1070。并且，本实施方式的电子设备可以被设为如下的结构，省略或变更了图13的结构要素(各部)的一部分，或者，附加了其他结构要素。
[0163]陀螺传感器100对角速度进行检测，从而将包含所检测的角速度的信息的检测信号输出值CPU1020。
[0164]CPU1020根据R0M1040等中所存储的程序而实施各种的计算处理或控制处理。CPU1020实施对应于从陀螺传感器100输入的检测信号的各种处理。另外，CPU1020实施对应于来自操作部1030的操作信号的各种的处理、为了实施与外部装置的数据通信而对通信部1060进行控制的处理、发送用于使显示部1070显示各种信息的显示信号的处理等。
[0165]操作部1030为由操作键和按钮开关等构成的输入装置，并将对应于用户的操作的操作信号输出至CPU1020。
[0166]R0M1040存储用于CPU1020实施各种计算处理或控制处理的程序或数据等。
[0167]RAM1050作为CPU1020的工作区域而被使用，并暂时存储从R0M1040读出的程序或数据、从陀螺传感器100输入的数据、从操作部1030输入的数据、CPU1020根据各种程序而实施的运算结果等。
[0168]通信部1060实施用于使CPU1020与外部装置之间的数据通信成立的各种控制。
[0169]显示部1070为由IXD (Liquid Crystal Display)等构成的显示装置，根据从CPU1020输入的显示信号而显示各种信息。在显示部1070上，也可以设置有作为操作部1030而发挥功能的触屏。
[0170]另外，作为电子设备1000，考虑了各种电子设备。例如，可举出个人计算机(例如，移动式个人计算机、膝上型个人计算机、平板式个人计算机)、移动电话机等移动体终端、数码照相机、喷墨式喷出装置(例如，喷墨式打印机)、路由器或开关等存储区域网络设备、局域网设备、移动体终端基站用设备、电视机、摄像机、录像机、车辆导航装置、寻呼机、电子记事本(包括带有通信功能的产品)、电子词典、电子计算器、电子游戏机设备、游戏用控制器、文字处理器、工作站、可视电话、防盗用电视监视器、电子双筒望远镜、POS(point Ofsale)终端、医疗设备(例如电子体温计、血压计、血糖仪、心电图测量装置、超声波诊断装置、电子内视镜)、魚群探测器、各种测量设备、计量仪器类(例如，车辆、飞机、船舶的计量仪器类)、飞行模拟器、头戴式显示器、运动轨迹、运动跟踪、运动控制器、PDR(行人位置方位计测)等。
[0171]图14为表示电子设备1000的一个示例即智能电话的外观的一个示例的图。作为电子设备1000的智能电话具备按钮，以作为操作部1030，具备LCD，以作为显示部1070。作为电子设备1000的智能电话使用陀螺传感器100，例如，用于对智能电话主体的旋转进行检测。
[0172]图15为表不电子设备1000的一个不例手表式的可佩带设备的外观的一个不例的图。作为电子设备1000的可佩带设备具备IXD，以作为显示部1070。在显示部1070中，也可以设置有作为操作部1030而发挥功能的触屏。作为电子设备1000的可佩带设备例如使用陀螺传感器100，用于获得用户的身体运动的信息。
[0173]另夕卜，作为电子设备1000的可佩带设备具备GPS接收器(GPS =GlobalPosit1ning System)等的位置传感器，可以对用户的移动距离或移动轨迹进行计测。
[0174]4.第四实施方式
[0175]接下来，参照幅图，对第四实施方式所涉及的移动体进行说明。第四实施方式所涉及的移动体具备本发明所涉及的陀螺传感器。以下，作为本发明所涉及的陀螺传感器，对具备陀螺传感器100的移动体进行说明。
[0176]图16为作为第四实施方式所涉及的移动体而模式化表示汽车1100的立体图。在汽车1100中，内置有陀螺传感器100。如图16所示，在汽车1100的车身1110中，搭载有内置对汽车1100的角速度进行检测的3陀螺传感器100并对发动机的输出进行控制的电子控制单元(EQJ-Electronic Control Unit) 1120。另外，陀螺除此以外，陀螺传感器100还能够广泛应用于车身姿态控制单元、防抱死制动系统(ABS)、安全气囊、轮胎压力监测系统(TPMS:Tire Pressure Monitoring System)等。
[0177]并且，本发明并不限定于上述的实施方式，能够在本发明的主旨的范围内实施各种各样的变形。
[0178]例如，在第一实施方式中，对检测绕Z轴的角速度ωζ的陀螺传感器100进行说明，在第二实施方式中，可以对检测绕Y轴的角速度coy的陀螺传感器200、以及检测绕X轴的角速度ωχ的陀螺传感器进行说明，但也可以将这些本申请发明所涉及的陀螺传感器模式化，作为能够对绕X轴、Y轴、Z轴的角速度进行检测的陀螺传感器模块来使用。另外，还可以将包含本申请发明所涉及的陀螺传感器的各轴的陀螺传感器、以及各轴的加速度传感器模式化，作为能够对三个轴(X轴、Y轴、Z轴)的角速度以及加速度进行检测的惯性传感器模块来使用。
[0179]本发明包括与在实施方式中说明的结构实质相同的结构(例如，功能、方法以及结果相同的结构、或者目的以及效果相同的结构)。此外，本发明包括对在实施方式中说明的结构的非本质部分进行置换的结构。此外，本发明包括与在实施方式中说明的结构起到相同的作用效果的结构或者能够实现相同目的的结构。此外，本发明包括对在实施方式中说明的结构附加公知技术的结构。
[0180]符号说明
[0181]2…空腔、4…硅基板、10…基板、12…第一面、14…第二面、16…凹部、20…盖体、30…固定部、32a…第一悬架弹簧、32b…第二悬架弹簧、33...梁部、34...固定驱动电极部、36…固定驱动电极部、40a…第一振动体、40b…第二振动体、42…振动部、43…可动驱动电极部、44...检测弹簧、45...梁部、46...可动部、48...可动检测电极部、50...固定检测电极部、60…连结弹簧、62...第一延伸部、64...第二延伸部、70...连结质量体、72...悬架弹簧、74...支承部、100…陀螺传感器、102…功能元件、112…结构体、112a...第一结构体、112b...第二结构体、140…可动部、142...梁部、144…可动检测电极部、150...固定检测电极部、200…陀螺传感器、1000…电子设备、1020." CPU、1030…操作部、1040." ROM、1050." RAM、1060…通信部、1070…显示部、1100...汽车、1110...车身、1120…电子控制单元。
【主权项】
1.一种陀螺传感器，其包括: 基板； 第一振动体以及第二振动体； 第一悬架弹簧，其对所述第一振动体进行支承； 第二悬架弹簧，其对所述第二振动体进行支承； 连结弹簧，其连结所述第一振动体和所述第二振动体， 当将所述第一悬架弹簧以及所述第二悬架弹簧的弹簧常数设为K1，将所述连结弹簧的弹簧常数设为K2时，满足2K2 ( Kl。2.如权利要求1所述的陀螺传感器，其中， 所述第一悬架弹簧对所述第一振动体进行四点支承， 所述第二悬架弹簧对所述第二振动体进行四点支承， 所述第一悬架弹簧和所述第二悬架弹簧独立。3.如权利要求1所述的陀螺传感器，其中， 所述连结弹簧的一端与所述第一振动体连接， 所述连结弹簧的另一端与所述第二振动体连接。4.如权利要求1所述的陀螺传感器，其中， 所述第一振动体以及所述第二振动体相互以反相进行驱动振动。5.如权利要求1至4中的任一项所述的陀螺传感器，其中， 所述第一悬架弹簧以及所述第二悬架弹簧的弹簧常数K1、以及所述连结弹簧的弹簧常数K2为，所述第一振动体以及所述第二振动体的驱动振动的方向上的弹簧常数。6.一种电子设备，其包括: 权利要求1所述的陀螺传感器。7.—种移动体，其包括: 权利要求1所述的陀螺传感器。
【专利摘要】本发明提供一种陀螺传感器、电子设备以及移动体。所述陀螺传感器能够降低正交相位的影响，且能够使反相模式的固有振动数和同相模式的固有振动数分离。陀螺传感器(100)包括基板(10)、第一振动体(40a)以及第二振动体(40b)、对第一振动体(40a)进行支承的第一悬架弹簧(32a)、对第二振动体(40b)进行支承的第二悬架弹簧(32b)、连结第一振动体(40a)和第二振动体(40b)的连结弹簧(60)，当将第一悬架弹簧(32a)以及第二悬架弹簧(32b)的弹簧常数设为K1，将连结弹簧(60)的弹簧常数设为K2时，满足2K2≤K1。
【IPC分类】G01C19/5684
【公开号】CN105628012
【申请号】CN201510818295
【发明人】古畑诚
【申请人】精工爱普生株式会社
【公开日】2016年6月1日
【申请日】2015年11月23日
【公告号】US20160146605