一种具有四个自由度的显微视觉测量装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种具有四个自由度的显微视觉测量装置，属于光学测量技术领域。
【背景技术】
[0002]随着科学技术的发展，显微视觉测量得到了广泛的应用。在显微视觉测量装置中，国际上尚无统一标准的测量装置，存在着许多形式不一的测量装置，由于测量的对象不同从而研制和使用不同的测量装置；同时，在机器视觉测量领域，比较成熟的实验仪器和设备主要是适用于宏观物体的测量与研宄。而在显微视觉测量中所涉及到的物体都是纳米级的物体。此时对于测量装置的灵活性有了更高的要求。为了适应测量的要求，则需要测量装置具有多个自由度。
【发明内容】
[0003]本实用新型提供了一种具有四个自由度的显微视觉测量装置，以用于解决现有测量装置复杂灵活性低的问题。
[0004]本实用新型的技术方案是:一种具有四个自由度的显微视觉测量装置，包括在装置上设置有X轴移动机构和X轴移动平台5，X轴移动平台与可带动其沿着X轴移动的X轴移动机构连接；在X轴移动平台5上设置有Y轴移动机构和Y轴移动平台7，Y轴移动平台7与可带动其沿着Y轴移动的Y轴移动机构连接；在Y轴移动平台上设置有绕Z轴转动的机构I，在绕Z轴转动的机构I上设置有Z轴移动机构和Z轴移动平台17，Z轴移动平台17与可带动其沿着Z轴移动的Z轴移动机构连接；在Z轴移动平台17上设置有绕Z轴转动的机构II，在绕Z轴转动的机构II上设置有相机支撑板20，在相机支撑板20上设置带有显微摄像头的CCD摄像机21。
[0005]所述X轴移动机构包括X轴滑轨1、X轴丝杠2、X轴移动电机3、支架I 4 ;其中X轴移动电机3与X轴丝杠2固定连接在支架I 4上，X轴移动平台5与X轴滑轨I成滑动连接；
[0006]所述Y轴移动机构包括Y轴滑轨6、Y轴移动平台7、Y轴丝杠8、Y轴移动电机9、支架II 10 ;其中Y轴移动电机9与Y轴丝杠8固定连接在支架II 10上，Y轴移动平台7与Y轴滑轨6成滑动连接；
[0007]所述绕Z轴转动的机构I包括底座11、控制机构12、转动平台13 ;其中Y轴移动平台7与控制机构12通过底座11固定连接，控制机构12上固定有转动平台13 ；
[0008]所述Z轴移动机构包括Z轴移动架14、Z轴丝杠15、Z轴移动电机16 ;其中Z轴移动电机16与Z轴丝杠15连接，Z轴移动平台17与Z轴移动架14成滑动连接，与Z轴丝杠15配合的Z轴螺母固定在Z轴移动平台17上；
[0009]所述绕Z轴转动的机构II包括横梁18、绕Z轴转动电机19 ;其中Z轴移动平台17上沿X轴方向固定一横梁18，在横梁上设置绕Z轴转动电机19，平行于Z轴的绕Z轴转动电机19转轴的下端连接绕Z轴转动的相机支撑板20。
[0010]所述CXD摄像机21下装有显微摄像头，显微摄像头下连接有光源。
[0011]本实用新型的工作原理是:
[0012]根据待测物体的位置来调整带有显微摄像头的CCD摄像机21的位置。X轴移动电机3通过X轴丝杠2使得X轴移动平台5在X轴滑轨I上移动从而来调整带有显微摄像头的CXD摄像机21在X轴上的位置。在X轴移动平台5上固定有Y轴滑轨6和Y轴移动电机9，Y轴移动电机与Y轴丝杠8固定连接在支架II 10上。Y轴移动平台7与Y轴滑轨6成滑动连接。Y轴移动电机9通过Y轴丝杠8使得Y轴移动平台7在Y轴滑轨6上移动从而来调整带有显微摄像头的CXD摄像机21在Y轴上的位置。在Y轴移动平台7上固定连接有控制机构12，11为控制机构的底座，Y轴移动平台7与控制机构12通过底座11固定连接。在控制机构12上固定有转动平台13，通过人工干预控制机构来调整带有显微摄像头的CCD摄像机21绕Z轴的位置。在转动平台13上固定有Z轴移动架14和Z轴移动电机16，Z轴移动电机16与Z轴丝杠15连接。Z轴移动平台17与Z轴移动架14成滑动连接，与Z轴丝杠15配合的Z轴螺母固定在Z轴移动平台17上。Z轴移动电机16通过Z轴丝杠15使得Z轴移动平台17在Z轴移动架14上移动从而来调整带有显微摄像头的CCD摄像机21在Z轴上的位置。在Z轴移动平台17上沿X轴方向固定一横梁18，在横梁上设置绕Z轴转动电机19，平行于Z轴的绕Z轴转动电机19转轴的下端连接绕Z轴转动的相机支撑板20。相机支撑板20连接带有显微摄像头的CCD摄像机21。绕Z轴转动电机19通过转动轴使得相机支撑板20绕Z轴转动从而来调整带有显微摄像头的CCD摄像机21绕Z轴的位置。
[0013]CXD摄像机21经过图像采集卡连接到电脑上，其中光源用于提供照明，从而提高采集的效果。
[0014]本实用新型的有益效果是:结构简单，成本较低，既增加了测量装置的自由度，又提高了装置的灵活性从而提高了所采集到的图像的质量减少了测量误差。
【附图说明】
[0015]图1为本实用新型的结构示意图；
[0016]图中各标号:1-X轴滑轨、2-X轴丝杠、3-X轴移动电机、4-支架1、5_X轴移动平台、6-Y轴滑轨、7-Y轴移动平台、8-Y轴丝杠、9-Y轴移动电机、10-支架I1、11-底座、12-控制机构、13-转动平台、14-Z轴移动架、15-Z轴丝杠、16-Z轴移动电机、17-Z轴移动平台、18-横梁、19-绕Z轴转动电机、20-相机支撑板、21-CXD摄像机。
【具体实施方式】
[0017]实施例1:如图1所示，一种具有四个自由度的显微视觉测量装置，包括在装置上设置有X轴移动机构和X轴移动平台5，X轴移动平台与可带动其沿着X轴移动的X轴移动机构连接；在X轴移动平台5上设置有Y轴移动机构和Y轴移动平台7，Y轴移动平台7与可带动其沿着Y轴移动的Y轴移动机构连接；在Y轴移动平台上设置有绕Z轴转动的机构I，在绕Z轴转动的机构I上设置有Z轴移动机构和Z轴移动平台17，Z轴移动平台17与可带动其沿着Z轴移动的Z轴移动机构连接；在Z轴移动平台17上设置有绕Z轴转动的机构II，在绕Z轴转动的机构II上设置有相机支撑板20，在相机支撑板20上设置带有显微摄像头的CCD摄像机21。
[0018]所述X轴移动机构包括X轴滑轨1、X轴丝杠2、X轴移动电机3、支架I 4 ;其中X轴移动电机3与X轴丝杠2固定连接在支架I 4上，X轴移动平台5与X轴滑轨I成滑动连接；
[0019]所述Y轴移动机构包括Y轴滑轨6、Y轴移动平台7、Y轴丝杠8、Y轴移动电机9、支架II 10 ;其中Y轴移动电机9与Y轴丝杠8固定连接在支架II 10上，Y轴移动平台7与Y轴滑轨6成滑动连接；
[0020]所述绕Z轴转动的机构I包括底座11、控制机构12、转动平台13 ;其中Y轴移动平台7与控制机构12通过底座11固定连接，控制机构12上固定有转动平台13 ；
[0021]所述Z轴移动机构包括Z轴移动架14、Z轴丝杠15、Z轴移动电机16 ;其中Z轴移动电机16与Z轴丝杠15连接，Z轴移动平台17与Z轴移动架14成滑动连接，与Z轴丝杠15配合的Z轴螺母固定在Z轴移动平台17上；
[0022]所述绕Z轴转动的机构II包括横梁18、绕Z轴转动电机19 ;其中Z轴移动平台17上沿X轴方向固定一横梁18，在横梁上设置绕Z轴转动电机19，平行于Z轴的绕Z轴转动电机