石英坩埚气泡检测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种石英坩祸分析过程中使用到的石英坩祸气泡检测装置。
【背景技术】
[0002]石英坩祸可在1450度以下使用，分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩祸是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础器具，随着光伏行业迅速发展，对石英坩祸要求也越来越高，从原来的每只坩祸只拉晶一次，逐步转变成拉晶过程中进行二次投料，增加坩祸使用时间，因而对坩祸真空层内气泡数量及气泡表层与内表面距离要求越来越严格。现有的检测装置在对坩祸真空层气泡进行时，只能先对坩祸进行切片，然后通过显微镜对坩祸切片进行分析。这对切片工人技术水平要求较高，同时工序比较繁琐，工作效率低，检测成本较高。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的是为了提供一种解决上述问题的工作效率高、检验成本低、无需破坏坩祸的石英坩祸气泡检测装置。
[0004]本实用新型的技术方案是:
[0005]—种石英坩祸气泡检测装置，包括机架，其特征在于:所述机架上表面固定有轨道且轨道上设有可移动坩祸夹具，所述机架对应轨道一端的位置设有支柱，所述支柱上部组装有可沿其微量移动的水平支架，所述水平支架上设有蜗轮丝杆升降机构及驱动手轮，所述蜗轮丝杆升降机构的丝杆下端固定有无损检测镜头，所述可移动坩祸夹具由带有行走轮组的夹具支撑架、转动连接于夹具支撑架上的过半圆弧形固定架、均匀分布于过半圆弧形固定架上的多个夹紧机构、连接于过半圆弧形固定架与夹具支撑架间的锁紧机构组成，所述夹紧机构由固定于过半圆弧形固定架上的螺母、与螺母连接的螺杆、与螺杆端部焊接固定的夹紧片组成，所述夹紧片由与坩祸直壁平行的直片段和与坩祸底部圆弧过渡段弧度相符的弧形段组成。
[0006]上述的石英坩祸气泡检测装置，所述水平支架与支柱之间设有微量传动机构，所述微量传动机构的输入端连接有微调手轮，所述支柱顶部设有对应微调手轮的微调表。
[0007]本实用新型的有益效果是:1、可移动坩祸夹具不仅可以移动还可以翻转坩祸，满足了对坩祸全方位检测的要求;2、利用无损检测镜头检测坩祸，并通过蜗轮丝杆升降机构和水平支架的微量移动调节无损检测镜头与坩祸的距离，以满足检测条件。使用方便，检测准确，同时降低了工人劳动强度和检验成本。
【附图说明】
[0008]图1是本实用新型的结构不意图；
[0009]图2是图1的俯视图。
[0010]图中:1.机架、2.夹具支撑架、3.行走轮组、4.坩祸、5.螺杆、6.螺母、7.夹紧片、8.过半圆弧形固定架、9.无损检测镜头、10.蜗轮丝杆升降机构、11.水平支架、12.微调表、13.微调手轮、14.支柱、15.轨道、16.控制电脑、17.锁紧机构、18.驱动手轮。
【具体实施方式】
[0011]如图所示，该石英坩祸气泡检测装置，包括机架1，所述机架1上表面固定有轨道15且轨道15上设有可移动坩祸夹具，所述机架1对应轨道15—端的位置设有支柱14，所述支柱14上部组装有可沿其微量移动的水平支架11，所述水平支架11上设有蜗轮丝杆升降机构10及驱动手轮18。所述蜗轮丝杆升降机构10的丝杆下端固定有无损检测镜头9，无损检测镜头9另与控制电脑16相连接。所述可移动坩祸夹具由带有行走轮组3的夹具支撑架2、转动连接于夹具支撑架2上的过半圆弧形固定架8、均匀分布于过半圆弧形固定架8上的多个夹紧机构、连接于过半圆弧形固定架8与夹具支撑架2间的锁紧机构17组成。所述夹紧机构由固定于过半圆弧形固定架8上的螺母6、与螺母6连接的螺杆5、与螺杆5端部焊接固定的夹紧片7组成。所述夹紧片7由与坩祸直壁平行的直片段和与坩祸底部圆弧过渡段弧度相符的弧形段组成。所述水平支架11与支柱14之间设有微量传动机构，所述微量传动机构的输入端连接有微调手轮13，所述支柱14顶部设有对应微调手轮13的微调表12。
[0012]工作时，坩祸4放在可移动坩祸夹具上，通过夹紧机构将其夹紧，通过蜗轮丝杆升降机构10快速调整无损检测镜头9与坩祸内表面之间的距离，接近后通过微调手轮13进行微调直到可以看清坩祸某一层气泡后停止，通过控制电脑16算出单位面积内气泡数量，当测量坩祸直壁时，需要将坩祸的夹紧机构旋转到某一位置，利用锁紧机构17将其锁紧，然后通过调整无损检测镜头9和控制电脑16算出单位面积内气泡数量和距离坩祸内表面的距离。
【主权项】
1.一种石英坩祸气泡检测装置，包括机架，其特征在于:所述机架上表面固定有轨道且轨道上设有可移动坩祸夹具，所述机架对应轨道一端的位置设有支柱，所述支柱上部组装有可沿其微量移动的水平支架，所述水平支架上设有蜗轮丝杆升降机构及驱动电机，所述蜗轮丝杆升降机构的丝杆下端固定有无损检测镜头，所述可移动坩祸夹具由带有行走轮组的夹具支撑架、转动连接于夹具支撑架上的过半圆弧形固定架、均匀分布于过半圆弧形固定架上的多个夹紧机构、连接于过半圆弧形固定架与夹具支撑架间的锁紧机构组成，所述夹紧机构由固定于过半圆弧形固定架上的螺母、与螺母连接的螺杆、与螺杆端部焊接固定的夹紧片组成，所述夹紧片由与坩祸直壁平行的直片段和与坩祸底部圆弧过渡段弧度相符的弧形段组成。2.根据权利要求1所述的石英坩祸气泡检测装置，其特征在于:所述水平支架与支柱之间设有微量传动机构，所述微量传动机构的输入端连接有微调手轮，所述支柱顶部设有对应微调手轮的微调表。
【专利摘要】本实用新型涉及一种石英坩埚气泡检测装置，包括机架，其特征在于：机架上表面固定有轨道且轨道上设有可移动坩埚夹具，机架对应轨道一端的位置设有支柱，支柱上部组装有水平支架，水平支架上设有蜗轮丝杆升降机构及驱动手轮，蜗轮丝杆升降机构的丝杆下端固定有无损检测镜头，可移动坩埚夹具由夹具支撑架、转动连接于夹具支撑架上的过半圆弧形固定架、分布于过半圆弧形固定架上的夹紧机构、连接于过半圆弧形固定架与夹具支撑架间的锁紧机构组成，夹紧机构由固定于过半圆弧形固定架上的螺母、与螺母连接的螺杆、与螺杆端部焊接固定的夹紧片组成。其工作效率高、检验成本低、无需破坏坩埚。
【IPC分类】G01N21/88
【公开号】CN205103179
【申请号】CN201520954971
【发明人】王震, 侯建
【申请人】锦州佑鑫石英科技有限公司
【公开日】2016年3月23日
【申请日】2015年11月25日