一种霍尔测试仪的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于霍尔测试领域，尤其涉及一种霍尔测试仪。
【背景技术】
[0002]现有测试半导体外延片的霍尔测试仪，大多采用大型稳压电源用来提供稳定的磁场，这类测试仪对磁场电源要求极高，否则会造成磁场不稳定从而导致测试误差，而高质量的电磁场电源需大量稳压、滤波及补偿电路，结构复杂，价格昂贵，体积笨重。
[0003]而且现有技术需通过焊锡连结半导体样品与金属电极，高温锡焊过程可能会损害样品，而且锡可能导致半导体样品与金属间的接触类型为肖特基接触，造成不可消除的测试误差，此外锡焊电极不能稳定附着在样品上，测试过程中容易出现掉电极现象。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型为上述技术问题之一，提供一种霍尔测试仪，该霍尔测试仪无需大型电源提供磁场，极大缩小了装置的体积，测试方便。
[0005]本实用新型提供一种霍尔测试仪，包括:壳体，所述壳体包括上壳体和下壳体，上壳体和下壳体之间形成有检测腔，所述上壳体嵌设有第一永磁铁，所述下壳体嵌设有与第一永磁铁相对的第二永磁铁，所述第一永磁铁和第二永磁铁极性相反且在所述检测腔内形成有磁场；支架，所述支架设置在检测腔中，支架上固定有测试件。
[0006]进一步地，所述下壳体的两端设有支撑上壳体的支撑件，所述上壳体、下壳体和支撑件包围形成侧面具有开口的检测腔。
[0007]进一步地，所述支撑件设有卡合所述支架的缺口。
[0008]进一步地，所述支架包括:平板，所述平板上设有容纳测试件的凹槽，所述凹槽内设有电极；用于固定测试件的固定部，所述固定部设置在平板上。
[0009]进一步地，所述固定部包括:旋转件，所述旋转件为长条状，旋转件的一端通过螺钉固定在平板上使得旋转件可绕螺钉转动，所述旋转件的另一端设有压紧测试件的压片部。
[0010]进一步地，所述旋转件的一端设有通孔，通孔中设有弹簧，所述螺钉穿过通孔中的弹簧将旋转件固定在平板上。
[0011 ] 进一步地，所述平板的背面设有与电极相连接的导线。
[0012]进一步地，所述测试件为半导体外延片。
[0013]进一步地，所述半导体外延片上设有铟球，所述铟球与所述电极接触。
[0014]本实用新型提供的霍尔测试仪，通过在壳体上设置相对的永磁铁形成稳定的磁场，无需大型电源提供磁场，极大缩小了装置的体积，测试方便。
【附图说明】
[0015]图1是本实用新型实施例提供的霍尔测试仪的壳体的结构示意图；
[0016]图2是本实用新型实施例提供的霍尔测试仪的支架的结构示意图；
[0017]图3是本实用新型实施例提供的霍尔测试仪的支架的正面示意图；
[0018]图4是本实用新型实施例提供的霍尔测试仪的支架的背面示意图；
[0019]图5是本实用新型实施例提供的霍尔测试仪的固定部的结构示意图。
【具体实施方式】
[0020]下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
[0021]在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底” “内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
[0022]在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0023]在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0024]如图1-图5所示，本实用新型提供一种霍尔测试仪，包括壳体10和支架20，所述壳体10包括上壳体11和下壳体12，上壳体11和下壳体12之间形成检测腔14，所述上壳体11嵌设有第一永磁铁110，所述下壳体12嵌设有与第一永磁铁110相对的第二永磁铁120，所述第一永磁铁110和第二永磁铁120极性相反；支架上固定有测试件30，将支架设置在检测腔中进行霍尔测试。
[0025]本实用新型提供的霍尔测试仪，通过在壳体上设置相对的永磁铁形成稳定的磁场，无需大型电源提供磁场，极大缩小了装置的体积，测试方便。
[0026]在本实用新型的一个实施例中，上壳体11和下壳体12均为水平的面板，在下壳体12的两端设有支撑上壳体11的支撑件13，所述上壳体11、下壳体12和支撑件13包围形成侧面具有开口的检测腔14。也即是说，上壳体11、下壳体12和位于下壳体12两端的支撑件构成一个长方体，该长方体的两侧具有开口，支架20可从开口处插入长方体内进行霍尔测试。优选地，所述支撑件13设有卡合支架20的缺口 130，该缺口 130和支架20的边缘卡接，防止支架20在检测腔14中移动。
[0027]如图3所示，所述支架20包括平板21和用于固定测试件30的固定部22，所述固定部22设置在平板21上，所述平板21上设有容纳测试件30的凹槽210，所述