一种基板检测装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型提供一种基板检测装置，属于基板检测技术领域，其可解决现有的基板边缘缺陷检测效率低，易漏检的问题。本实用新型的基板检测装置中，承载台与基板边缘之间设有多个垫块，所述垫块包括空心垫块，其中的空心垫块用于与基板相邻的面设有凹部，所述凹部连接气体管道，通过气体管道抽吸凹部的空气，根据凹部真空吸附值差异感知基板边缘的缺陷，该基板检测装置检测方便，且检测效率高、精度高，不易出现漏检。本实用新型的基板检测装置适用于检测各种显示基板。
【专利说明】
一种基板检测装置
技术领域
[0001 ]本实用新型属于基板检测技术领域，具体涉及一种基板检测装置。
【背景技术】
[0002]现有技术中检查基板边角缺失有以下方法:
[0003]方法1:利用缺陷传感器，如图1所示，在基板6传输过程中进行检测，一般基板6平行的两边应该长度相同，如果基板6的第一边61无缺陷，第二边62的第一位置63处有边角缺失，则传感器感知基板6平行的第一边61、第二边62的时间不同，进而报警。该方法会对基板6加载速度有限制，加载速度太快会影响检测时间。且一般传感器多用来扫描与加载路线平行的基板6的长边，故基板6的短边中部的缺失无法检测。
[0004]方法2:如图2所示，大面积的基板6—般放置在承载台1(或称检测台)上进行检测，承载台I上设置吸附单元5，吸附单元5将基板6吸附，若第二位置64处有缺陷，会导致吸附单元5吸附异常，发生警报。该方法适于检测大的缺陷，不适于检测基板6边缘处的小缺陷。
[0005]方法3:人工检测基板6缺陷，该方法会浪费检测时间且容易漏检。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型针对现有的基板边缘缺陷检测效率低，易漏检的问题，提供一种基板检测装置。
[0007]解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是:
[0008]—种基板检测装置，包括:
[0009]承载台，用于承载基板；
[0010]多个垫块，设置于所述承载台上与基板边缘对应的位置，其中，所述垫块包括空心垫块，所述空心垫块与基板相邻的面设置有凹部，所述凹部连接气体管道，所述气体管道用于抽吸凹部的空气。
[0011]优选的，所述基板检测装置还包括夹持单元，设于承载台上，用于夹持基板边缘。
[0012]优选的，所述夹持单元包括至少两对，每对夹持单元设置于基板相对的两侧边。
[0013]优选的，所述垫块还包括实心垫块，用于设于被夹持单元夹持的基板边缘处与承载台之间。
[0014]优选的，所述气体管道连接真空度检测单元，用于检测凹部的真空度。
[0015]优选的，所述真空度检测单元包括报警器，用于当凹部的真空度超过阈值时，进行报警。
[0016]优选的，所述承载台上设有吸附单元，用于吸附基板。
[0017]优选的，所述气体管道设于空心垫块与承载台相邻的面。
[0018]本实用新型的基板检测装置中，承载台与基板边缘之间设有多个垫块，所述垫块包括空心垫块，其中空心垫块与基板相邻的面设有凹部，所述凹部连接气体管道，通过气体管道抽吸凹部的空气，根据凹部真空吸附值差异感知基板边缘的缺陷，该基板检测装置检测方便，且检测效率高、精度高，不易出现漏检。本实用新型的基板检测装置适用于检测各种显示基板。
【附图说明】
[0019]图1为现有的检查基板的一种不意图；
[0020]图2为现有的检查基板的另一种不意图；
[0021 ]图3为本实用新型的实施例1的基板检测装置示意图；
[0022]图4为本实用新型的实施例2的基板检测装置示意图；
[0023]图5为本实用新型的实施例2的基板检测装置的空心垫块立体示意图；
[0024]图6为本实用新型的实施例2的基板检测装置的空心垫块侧视示意图；
[0025]图7为本实用新型的实施例2的基板检测装置的实心垫块示意图；
[0026]图8为本实用新型的实施例2的基板检测装置的使用状态示意图；
[0027]其中，附图标记为:1、承载台；2、空心垫块;3、实心垫块;4、夹持单元;5、吸附单元；
6、基板;61、第一边;62、第二边;63、第一位置;64、第二位置;65、第三位置。
【具体实施方式】
[0028]为使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细描述。
[0029]实施例1:
[0030]本实施例提供一种基板检测装置，如图3所示，包括:
[0031]承载台I，用于承载基板；
[0032]多个垫块，设置于承载台I上与基板边缘对应的位置，其中，垫块包括空心垫块2，空心垫块2与基板相邻的面设置有凹部，凹部连接气体管道，气体管道用于抽吸凹部的空气。
[0033]本实施例的基板检测装置中，通过气体管道抽吸凹部的空气，根据凹部真空吸附值差异感知基板边缘的缺陷，该基板检测装置检测方便，且检测效率高、精度高，不会出现漏检。本实用新型的基板检测装置适用于检测各种显示基板。
[0034]实施例2:
[0035]本实施例提供一种基板检测装置，如图4-8所示，包括:
[0036]承载台I，用于承载基板6;
[0037]多个垫块，设置于承载台I与基板6边缘对应的位置，其中，垫块包括空心垫块2，空心垫块2与基板6相邻的面设置有凹部，凹部连接气体管道，气体管道用于抽吸凹部的空气。
[0038]本实施例的基板6检测装置，承载台I与基板6边缘之间设有垫块，其中，如图5、图6所示，空心垫块2用于与基板6相邻的面设有凹部，通过气体管道抽吸凹部的空气，根据凹部真空吸附值差异感知基板6边缘的缺陷。
[0039]具体的，使用时，如图8所示，将基板6放到承载台I，基板6四周边缘会与空心垫块2接触，气体管道开始抽吸凹部的空气，在吸附力作用下基板6与空心垫块2紧密接触，此时凹部接近真空，凹部真空值会在一个固定的真空吸附值上下波动，波动范围较小，且其真空吸附值接近真空阈值。若基板6的第三位置65缺失，对应该段的空心垫块2凹槽则裸漏出来，在基板6远离空心垫块2的一面感知到轻微气流，空心垫块2真空吸附值与真空阈值差异大。
[0040]该基板检测装置检测方便，且检测效率高、精度高，不会出现漏检。本实用新型的基板检测装置适用于检测各种显示基板。
[0041]优选的，基板检测装置还包括夹持单元4，设于承载台I上，用于夹持基板6边缘。
[0042]也就是说，承载台I上设有用于固定基板6的夹持单元4，其中，如图4所示，通常夹持单元4成对设置于基板6相对的两边，保证基板6两侧受力均匀，从而使得基板6对位精确，不移动，进而提尚基板6边缘的检测效率和精度。
[0043]优选的，夹持单元4包括至少两对，每对夹持单元4设置于基板6相对的两侧边。
[0044]也就是说，为了充分固定基板6，夹持单元4可以设置两对，即在基板6的四条边均设置夹持单元4。
[0045]优选的，垫块还包括实心垫块3，用于设于被夹持单元4夹持的基板6边缘处与承载台I之间。
[0046]也就是说，如图7所示，夹持单元4夹持固定基板6，不可避免的，基板6会受到来自夹持单元4的夹力，由于基板6是精密仪器，在被单元夹持夹持的部位设置实心垫块3可以有效保护基板6。
[0047]优选的，气体管道连接真空度检测单元，用于检测凹部的真空度。
[0048]也就是说，设置相应的真空度检测单元，这样气体管道抽吸凹部的空气后，可以根据真空度检测单元检测出的凹部的真空值，自动判断基板6边缘位置是否有缺陷。
[0049]优选的，真空度检测单元包括报警器，用于当凹部的真空度超过阈值时，进行报塾目ο
[0050]也就是说，空度检测单元设置报警器，这样如果空心垫块2真空吸附值超过真空阈值，报警器就会发出报警，提示工作人员，相应位置处有缺陷。具体的，可采用PLC(可编程逻辑控制器)实时的精确监控基板6每个位置处的真空吸附值。其中，为了检测出基板6整个边缘的缺陷，空心垫块2可以沿基板6边缘设置一圈，同时为了提高检测效率和精度，空心垫块2尺寸可以进行调整，设置PLC(可编程逻辑控制器)单独控制每个空心垫块2。
[0051]优选的，承载台I上设有吸附单元5，用于吸附基板6。
[0052]也就是说，以上的空心垫块2主要检测基板6边缘位置处的缺陷，基板6板体大部分的缺陷可以采用吸附单元5进行大面积检测，提高检测效率。
[0053]优选的，气体管道设于空心垫块2与承载台I相邻的面。
[0054]也就是说，原则上气体管道联通于空心垫块2的任意位置处均可，为了操作方便，气体管道优选设于空心垫块2与承载台I相邻的面。
[0055]显然，上述各实施例的【具体实施方式】还可进行许多变化;例如:空心垫块的具体尺寸、基板每条边上设置空心垫块的数量可以根据基板的大小进行调整。
[0056]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种基板检测装置，其特征在于，包括: 承载台，用于承载基板； 多个垫块，设置于所述承载台上与基板边缘对应的位置，其中，所述垫块包括空心垫块，所述空心垫块与基板相邻的面设置有凹部，所述凹部连接气体管道，所述气体管道用于抽吸凹部的空气。2.根据权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述基板检测装置还包括夹持单元，设于承载台上，用于夹持基板边缘。3.根据权利要求2所述的基板检测装置，其特征在于，所述夹持单元包括至少两对，每对夹持单元设置于基板相对的两侧边。4.根据权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述垫块还包括实心垫块，设于被夹持单元夹持的基板边缘处与承载台之间。5.根据权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述气体管道连接真空度检测单元，用于检测凹部的真空度。6.根据权利要求5所述的基板检测装置，其特征在于，所述真空度检测单元包括报警器，用于当凹部的真空度超过阈值时，进行报警。7.根据权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述承载台上设有吸附单元，用于吸附基板。8.根据权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述气体管道设于空心垫块与承载台相邻的面。
【文档编号】G01N33/00GK205426893SQ201620208284
【公开日】2016年8月3日
【申请日】2016年3月16日
【发明人】郑云蛟, 陈鹏, 李坚, 高越, 车静
【申请人】鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司, 京东方科技集团股份有限公司