一种测量精度高的影像测量仪的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种测量精度高的影像测量仪，包括CCD传感器、玻璃平台和导轨行程支撑台，还包括气浮轴承，所述玻璃平台的中间部位上方放置有待测工件，所述CCD传感器安装在待测工件的上方，所述玻璃平台通过四角的支撑脚放置在导轨行程支撑台的上方，所述气浮轴承安装在玻璃平台中间部位下方的导轨行程支撑台上，所述气浮轴承与玻璃平台之间的距离为3-8μm。本实用新型结构简单、使用方便，克服了尤其是大行程的影像测量仪的玻璃平台受到自身重力和待测工件重量的影响而变形的问题，使大行程影像测量仪的玻璃平台的平面度在测量时保持一致，从而提高了测量精度。
【专利说明】
一种测量精度高的影像测量仪
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种玻璃平台，具体是一种测量精度高的影像测量仪。
【背景技术】
[0002]如图1所示，应用影像仪测量工件尺寸时因为需要应用底光，所以影像仪的平台都以玻璃台面为主，也由于有底光在玻璃平台下面，所以玻璃平台的支撑点都只能设计在边上以防止对底光的干扰，如果玻璃台面太大，由于中间部分没有支撑，则玻璃平台的中间部分就会由于自身重量下陷变形，平台越大或工件越重则下陷越严重，使得平面度过大，玻璃平台的平面无法和导轨行程面平行，影响了测量的准确性。
[0003]目前还没有解决方案，多数都采取软件补正来勉强维持精度。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于提供一种结构简单、防下垂变形的测量精度高的影像测量仪，以解决上述【背景技术】中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案:
[0006]—种测量精度高的影像测量仪，包括CCD传感器、玻璃平台和导轨行程支撑台，还包括气浮轴承，所述玻璃平台的中间部位上方放置有待测工件，所述CCD传感器安装在待测工件的上方，所述玻璃平台通过四角的支撑脚放置在导轨行程支撑台的上方，所述气浮轴承安装在玻璃平台中间部位下方的导轨行程支撑台上。
[0007]作为本实用新型再进一步的方案:所述气浮轴承与玻璃平台之间的距离为3_8μπι。
[0008]与现有技术相比，本实用新型的有益效果是:
[0009]本实用新型结构简单、使用方便，克服了尤其是大行程的影像测量仪的玻璃平台受到自身重力和待测工件重量的影响而变形的问题，使大行程影像测量仪的玻璃平台的平面度在测量时保持一致，从而提高了测量精度。
【附图说明】
[0010]图1为现有技术的结构示意图。
[0011]图2为本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0012]下面结合【具体实施方式】对本专利的技术方案作进一步详细地说明。
[0013]请参阅图2，一种测量精度高的影像测量仪，包括CXD传感器1、玻璃平台2和导轨行程支撑台3，还包括气浮轴承4，所述玻璃平台2的中间部位上方放置有待测工件5，所述CCD传感器I安装在待测工件5的上方，所述玻璃平台2通过四角的支撑脚6放置在导轨行程支撑台3的上方，所述气浮轴承4安装在玻璃平台2中间部位下方的导轨行程支撑台3上，所述气浮轴承4与玻璃平台2之间的距离为3-8μηι。
[0014]所述测量精度高的影像测量仪在运行时，由于气浮轴承4的反作用力托在玻璃平台2的下方，使得玻璃平台2的重力下垂作用得到缓解，从而使得玻璃平台2不会因为自身重量或待测工件5的重量使得下垂或变形；同时由于气浮轴承4与玻璃平台2自检存在3-8μπι的距离，所以不会影响测量仪的整体结构和玻璃平台2的使用寿命，气浮轴承4起着支撑玻璃平台2的作用却又不和玻璃平台2接触，当平台导轨移动时，玻璃平台2被支撑着却不会被磨损。
[0015]本实用新型结构简单、使用方便，克服了尤其是大行程的影像测量仪的玻璃平台2受到自身重力和待测工件5重量的影响而变形的问题，使大行程影像测量仪的玻璃平台2的平面度在测量时保持一致，从而提高了测量精度。
[0016]上面对本专利的较佳实施方式作了详细说明，但是本专利并不限于上述实施方式，在本领域的普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本专利宗旨的前提下作出各种变化。
【主权项】
1.一种测量精度高的影像测量仪，其特征在于，包括CCD传感器(I)、玻璃平台(2)和导轨行程支撑台(3)，还包括气浮轴承(4)，所述玻璃平台(2)的中间部位上方放置有待测工件(5)，所述CCD传感器(I)安装在待测工件(5)的上方，所述玻璃平台(2)通过四角的支撑脚(6)放置在导轨行程支撑台(3)的上方，所述气浮轴承(4)安装在玻璃平台(2)中间部位下方的导轨行程支撑台(3)上。2.根据权利要求1所述的测量精度高的影像测量仪，其特征在于，所述气浮轴承(4)与玻璃平台(2)之间的距离为3-8μηι。
【文档编号】G01B11/00GK205482786SQ201521112425
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2015年12月28日
【发明人】王德新
【申请人】威申精密仪器(上海)有限公司