压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟表的制作方法

压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟表的制作方法
【专利摘要】本发明提供能够使CI值进一步下降并且防止振动臂部以二阶弯曲模式振动的压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟表。本发明的压电振动片，具备：多个振动臂部，沿宽度方向并排地配置；基部，将这些振动臂部的长度方向的基端连结；以及槽部，在所述振动臂部的主面或背面的至少一方，从所述基端侧朝向所述振动臂部的前端侧形成，所述压电振动片的特征在于，在使所述振动臂部的振动模式为二阶弯曲模式时的所述振动臂部的所述基端侧的振动节部与所述振动臂部的所述前端侧的振动节部之间，设有抑制二阶弯曲模式下的所述振动臂部的弯曲变形的变形抑制部。
【专利说明】 压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟表
【技术领域】
[0001]本发明涉及压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟表。
【背景技术】
[0002]在便携电话或便携信息终端设备中，作为时刻源或控制信号的定时源、参考信号源等，使用利用石英(水晶)等的压电振动器。关于这种压电振动器，提供有各种各样的，作为其中I个，已知将音叉型的压电振动片封入封装件的压电振动器。
[0003]图20是现有的压电振动片的平面图。
[0004]如该图所示，音叉型的压电振动片2001是具备沿宽度方向并排地配置的一对振动臂部2010、2011和将这一对振动臂部2010、2011的长度方向基端连结的基部2020的薄板状的石英片。而且，在一对振动臂部2010、2011的外表面上，形成有使这一对振动臂部2010、2011振动的激振电极2030。
[0005]图21、图22是示出压电振动片的举动的说明图。
[0006]如该图所示，关于压电振动片2001，如果将电压施加至形成于各振动臂部2010的激振电极2030，则以一对振动臂部2010、2011的前端接近、离开的方式，沿既定方向以既定的谐振频率振动。如图所示，称各个振动臂部2010、2011弯曲且以一对振动臂部2010、2011的前端接近、尚开的方式振动的振动模式为弯曲振动模式。在该弯曲振动模式下，振动臂部的前端成为自由端。而且，在弯曲振动模式中，除了以基波振动的“基波模式”以外，还存在二阶弯曲模式、三阶弯曲模式等以高次谐波振动的“高次谐波模式”。例如，图21所图示的振动模式是“基波模式”，图22所图示的振动模式是“高次谐波模式(二阶弯曲模式)”。在“高次谐波模式”下，分别在振动臂部2010、2011的基端形成有振动节部2010a、2011a，并且，还在前端侧形成有振动节部2010b、2011b，以这些振动节部之间的大致中央的位移量为最大的方式振动。
[0007]如果在任一个振动模式下都能够以期望的谐振频率(例如，32.768kHz)稳定地振动，则能够用作各种定时源，但由于一般而言，在高次谐波模式下，以比通常要求的频率更高的频率振动，因而难以用作各种定时源。另一方面，在以基波模式振动的情况下，容易得到上述期望的谐振频率。
[0008]在此，近年来，伴随着搭载有封装件的设备的小型化，期望压电振动片的进一步的小型化。在压电振动片的小型化中，如果狭窄地形成振动臂部的宽度，则激振电极的形成宽度也变狭窄，Cl值(Crystal Impedance:晶体阻抗)上升。因此，提出了抑制Cl值的上升并且谋求压电振动片的小型化的各种各样的技术。此外，由于还能够为了方便起见而将Cl值标明为R，因而以下将基波模式下的Cl值作为R1、将二阶波模式下的Cl值作为R2来进行说明。
[0009]已知为了使压电振动片效率良好且精度良好地振动，R越低，就越能得到该效果。因而，一直以来，已知谋求R的降低的构成。例如，如图20所不，已知在一对振动臂部2010、2011的表面部或背面部形成有槽部2040的压电振动片。依照该构成，由于能够使异极的激振电极2030的间隔变窄，因而能够降低R。结果，由于即使将振动器小型化也能够抑制R的上升，因而能够提供小型化且高性能的振动器(例如，参照专利文献I)。
[0010]专利文献1:日本特开2002 - 261558号公报。
[0011 ] 然而，在上述现有技术中，存在以下的课题。
[0012]在将槽部形成于振动臂部的表面部或背面部的振动器中，在想要使R进一步降低的情况下，考虑延长相对于振动臂的槽的长度方向的长度。例如，已知，在比较槽的长度方向的长度相对于振动臂的全长而为55%的情况和为60%的情况时，后者R下降。此外，在以下简单地记载为“振动臂的长度”、“槽的长度”的情况下，是指长度方向的臂的长度、槽的长度。
[0013]不过，已由本发明的
【发明者】们确认:如果延长槽的长度方向的长度，则在相对于振动臂的长度的槽的长度超过某个比例时，成为Rl (基波模式下的R)> R2 (二阶高次谐波下的R)。在这种情况下，由于压电振动器以二阶高次谐波振动，因而无论R怎么低，都得不到期望的谐振频率。
[0014]在此若对Rl与R2的大小关系进行说明，则已知一般而言，具有弯曲振动模式的压电振动片以R低的振动模式振动。即，如果在Rl和R2中Rl小，则该振动片以“基波模式”振动，另一方面，如果R2小，则该振动片以“高次谐波模式”振动。所以，为了使振动片以“基波模式”振动，有必要为Rl < R2。
[0015]即了解到，如果延长使R2降低的槽的长度，则Rl和R2降低，但是由于R2的下降率比Rl的下降率更大，因而Rl < R2的关系转变为Rl > R2。
[0016]参照图23，对这点进行详细阐述。图23是示出在将纵轴设为Rl值和R2值、将横轴设为TL100/L100时的现有的Rl值和R2值的变化的图表。此外，TL100是槽的长度，LlOO是振动臂的长度(图20)。
[0017]如该图所示，能够确认，随着TL100/L100的值变大，R2值的下降斜率比Rl值的下降斜率更大。结果，如图23所示，如果TL100/L100的值成为约0.58，则R2值比Rl值更小，存在振动臂部2010以二阶弯曲模式振动的课题。此外，作为高次谐波模式，在此列举有二阶弯曲模式的情况，但得到确认，即使是除此以外的高次谐波模式，即三阶、四阶等，R2也比Rl更小。

【发明内容】

[0018]于是，本发明是鉴于上述的情况而做出的，提供能够使Rl进一步下降并且防止振动臂部以二阶弯曲模式振动的压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟表。
[0019]为了解决上述的课题，本发明所涉及的压电振动片具备:多个振动臂部，沿宽度方向并排地配置；基部，将所述振动臂部的长度方向的基端连结；以及槽部，在所述振动臂部的主面或背面的至少一方，从所述基端侧朝向所述振动臂部的前端侧形成，其特征在于，在使所述振动臂部的振动模式为二阶弯曲模式时的所述振动臂部的所述基端侧的振动节部与所述振动臂部的所述前端侧的振动节部之间，设有抑制二阶弯曲模式下的所述振动臂部的弯曲变形的变形抑制部。
[0020]这样，由于在振动臂部在二阶弯曲模式下位移的部分设有变形抑制部，因而振动臂部的二阶弯曲模式下的变形(变形量)得到抑制。即，能够提高R2。而且，由于如果能够提高R2，则即使相对于振动臂的长度而加长槽的长度，也能够使Rl有效地降低并且保持Rl< R2的关系，因而能够使压电振动片以基波模式振动。此外，具体而言，在将振动臂的长度设为L、将槽的长度设为TLl的情况下，如果TL1/L~0.6，则能够维持Rl < R2的关系。而且，确认到即使TL1/L ^ 0.68，也能够维持Rl < R2的关系。
[0021]本发明所涉及的压电振动片，其特征在于，所述变形抑制部设在使所述振动臂部的振动模式为二阶弯曲模式时的所述振动臂部的最大振幅部的附近。
[0022]这样，通过在最大振幅部的附近(例如，弯曲变形的“腹”的部分)设置变形抑制部，从而能够有效地抑制二阶弯曲模式下的振动臂的变形(变形量)，能够提高R2。因而，能够延长槽的长度而使Rl降低，并且防止振动臂部以二阶弯曲模式振动。另外，在这种情况下，确认到即使TL1/L ^ 0.68,也能够维持Rl < R2的关系。
[0023]另外，所述变形抑制部，是将所述槽部在所述振动臂部的长度方向分割的分割部。
[0024]通过这样构成，从而如果与保持一定的宽度并且未将槽部在长度方向分割的情况相比，则分割部处的振动臂部的刚性较高。即，在分割部，由于“难以振动”，因而能够抑制二阶弯曲模式的变形(变形量)。即，能够通过简易的构成来防止振动臂部以二阶弯曲模式振动。
[0025]另外，所述变形抑制部，是所述槽部的宽度方向的尺寸变窄的宽度狭窄部。
[0026]通过这样构成，从而如果与保持一定的宽度并且槽部沿长度方向连续的情况相比，则宽度狭窄部处的振动臂部的刚性较高。即，在宽度狭窄部，由于“难以振动”，因而能够抑制二阶弯曲模式的变形(变形量)。即，能够通过简易的构成来防止振动臂部以二阶弯曲模式振动。
[0027]另外，在所述分割部形成有凹部`。
[0028]在此所说的凹部，是指小槽、宽度狭窄槽、狭缝等。这样构成，也能够在分割部的凹部抑制二阶弯曲模式的变形(变形量)，即，能够通过简易的构成来防止振动臂部以二阶弯曲模式振动。
[0029]本发明所涉及的压电振动器，其特征在于，具有所述压电振动片。
[0030]通过这样构成，从而能够提供能够使Rl进一步下降并且防止振动臂部以二阶弯曲模式振动的压电振动器。
[0031]本发明所涉及的振荡器，其特征在于，所述压电振动器作为振子而与集成电路电连接。
[0032]通过这样构成，从而能够提供能够使Rl进一步下降并且防止振动臂部以二阶弯曲模式振动的振荡器。
[0033]本发明所涉及的电子设备，其特征在于，所述压电振动器与计时部电连接。
[0034]通过这样构成，从而能够提供能够使Rl进一步下降并且防止振动臂部以二阶弯曲模式振动的电子设备。
[0035]本发明所涉及的电波钟表，其特征在于，所述压电振动器与滤波部电连接。
[0036]通过这样构成，从而能够提供能够使Rl进一步下降并且防止振动臂部以二阶弯曲模式振动的电波钟表。
[0037]发明的效果
依照本发明，能够提供能够使Rl进一步下降并且防止振动臂部以二阶弯曲模式振动 的压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟表。
【专利附图】

【附图说明】
[0038]图1是从盖基板侧观看本发明的实施方式中的压电振动器时的外观立体图；
图2是本发明的第I实施方式中的压电振动器的内部构成图，是在拆卸掉盖基板的状态下从上方观看压电振动片时的图；
图3是沿着图2的A-A线的剖面图；
图4是本发明的第I实施方式中的压电振动器的分解立体图；
图5是本发明的第I实施方式中的压电振动片的平面图；
图6 Ca)是沿着图5的B-B线的剖面图，(b)是沿着图5的C-C线的剖面图；
图7是本发明的第2实施方式中的压电振动片的平面图；
图8是示出本发明的第2实施方式中的Rl值和R2值的变化的图表，Ca)示出TL2/TLl=0.5的情况，(b)示出TL2/TL1=0.6的情况，(c)示出TL2/TL1=0.8的情况；
图9是本发明的第3实施方式中的压电振动片的平面图；
图10是本发明的第4实施方式中的压电振动片的平面图；
图11是本发明的第5实施方式中的压电振动片的平面图；
图12是本发明的第6实施方式中的压电振动片的平面图；
图13是本发明的第7实施方式中的压电振动片的平面图；
图14是本发明的第8实施方式中的压电振动片的平面图；
图15是本发明的第9实施方式中的压电振动片的平面图；
图16是本发明的第10实施方式中的压电振动片的平面图；
图17是示出本发明的振荡器的一个实施方式的构成图；
图18是示出本发明的电子设备的一个实施方式的构成图；
图19是示出本发明的电波钟表的一个实施方式的构成图；
图20是现有的压电振动片的平面图；
图21是示出现有的压电振动片的举动的说明图；
图22是现有的压电振动片以二阶弯曲模式振动的情况的举动说明图；
图23是示出现有的Rl值和R2值的变化的图表。
【具体实施方式】
[0039](第I实施方式)
(压电振动器)
接着，基于图广图6，说明本发明的第I实施方式。
[0040]图1是从盖基板侧观看本实施方式中的压电振动器时的外观立体图，图2是压电振动器的内部构成图，是在拆卸掉盖基板的状态下从上方观看压电振动片时的图，图3是沿着图2的A-A线的剖面图，图4是压电振动器的分解立体图。
[0041]如图f图4所示，本实施方式的压电振动器I是具备将基底基板2和盖基板3经由未图示的接合材料而阳极接合的盒状的封装件10和收纳于封装件10的空腔C内的压电振动片5的表面安装型的压电振动器I。压电振动片5和设置于基底基板2的第I面2a(图3中的下表面)的外部电极6、7由贯通基底基板2的一对贯通电极8、9电连接。
[0042]基底基板2，利用由例如碱石灰玻璃的玻璃材料构成的透明的绝缘基板来形成为板状。在基底基板2，形成有一对贯通孔21、22，该一对贯通孔21、22形成有一对贯通电极
8、9。
[0043]盖基板3与基底基板2同样是由例如碱石灰玻璃的玻璃材料构成的透明的绝缘基板，形成为能够与基底基板2叠合的大小的板状。在盖基板3的第I面3b (图3中的下表面)侧，形成有矩形状的凹部3a，以使该凹部3a与基底基板2侧对置的状态将基底基板2与盖基板3叠合，由此，形成容纳压电振动片5的空腔C。
[0044]在形成有该空腔C的状态下，盖基板3相对于基底基板2经由接合材料而阳极接合。即，在盖基板3的第I面3b侧，在中央部设有凹部3a，并且，在其周围，设有成为与基底基板2的接合面的框区域3c。此外，本实施方式的接合材料由Si膜形成，但也能够由AL形成接合材料。另外，还能够由通过掺杂等而低电阻化的Si松散材料形成接合材料。此外，在本实施方式中，对使用玻璃材料的封装件进行说明，但封装件的方式不限于此。例如，也可以是使用陶瓷基板的陶瓷封装件。在这种情况下，在由陶瓷基板构成的基底基板层叠框状的陶瓷基板或密封环，由此形成空腔。另外，能够将金属盖或玻璃盖用作盖。
[0045](压电振动片)
图5是压电振动片的平面图，图6 (a)是沿着图5的B-B线的剖面图，图6 (b)是沿着图5的C-C线的剖面图。
[0046]如图5?图6 (b)所示，压电振动片5是由石英、钽酸锂或铌酸锂等压电材料形成的音叉型的振动片，在施加既定的电压时振动。该压电振动片5形成由互相平行地延伸的一对振动臂部24、25和将沿着这一对振动臂部24、25的延伸方向的基端部彼此一体地连接固定的基部26构成的音叉型。
[0047]在基部26的宽度方向两侧分别形成有凹部23，从而使基部26的宽度变窄。该凹部23用于使由一对振动臂部24、25激励的振动传递至基部26侧的路线变窄。由此，能够将振动约束在一对振动臂部24、25侧而抑制泄漏至基部26侦U。
[0048]一对振动臂部24、25由下列部件构成:臂部主体24a、25a，从基部26延伸；锤部24b,25b,从臂部主体24a、25a的前端以沿着臂部主体24a、25a的长度方向的方式延伸形成，而且，由于阶梯差而导致宽度比臂部主体24a、25a更为扩大。而且，锤部24b、25b被设定为以基部26为固定端而沿宽度方向振动的自由端。
[0049]在一对振动臂部24、25的外表面上，形成有使这一对振动臂部24、25振动的未图示的激振电极。另外，在基部26的外表面，形成有未图示的装配电极，通过未图示的引出电极而与激振电极连接。而且，如果将既定的电压施加至这些各电极，则由于一对振动臂部24,25的双方的激振电极彼此的相互作用而导致一对振动臂部24、25沿互相接近或离开的方向(宽度方向)以既定的谐振频率振动。
[0050]另外，在一对振动臂部24、25的两个主面24c、25c上，以从振动臂部的基端侧朝向前端侧延伸的方式形成有槽部。这些槽部由分割部43在长度方向分割，在此，以所分割的槽中的配置于基端侧的槽部作为第I槽部41，以与该第I槽部41隔开间隔而配置于前端侧的槽部作为第2槽部42。这些第I槽部41和第2槽部42沿着一对振动臂部24、25的长度方向形成。[0051]在一对振动臂部24、25，与形成有各槽部41、42之处相比，形成有分割部43之处的刚性高。
[0052]在此，在将各振动臂部24、25的全长设为L时，各振动臂部24、25的基端与第2槽部42的前端之间的距离TLl设定为满足:
TLl ^ 0.6L......(I)。
[0053]另外，各振动臂部24、25的基端与分割部43的中心之间的距离TL2设定为满足: TL2 ^ L/2......(2)。
[0054]而且，第I槽部41的宽度Wl和第2槽部42的宽度W2设定为满足:
Wl ^ W2......(3)。
[0055]而且，第I槽部41的槽深Hl和第2槽部42的槽深H2设定为满足:
Hl ^ H2......(4)。
[0056]返回至图图4，这样构成的压电振动片5，利用金等的凸点B (参照图3)，凸点接合于在基底基板2的第2面2b (图3中的上表面)形成的迂回电极27、28上。具体而言，压电振动片5的各激振电极中的一个激振电极，经由形成于基部26的表面上的一个装配电极和凸点B而凸点接合于一个迂回电极27上，另一个激振电极经由形成于基部26的表面上的另一个装配电极和凸点B而凸点接合于另一个迂回电极28上。此外，在将陶瓷封装件利用于封装件的情况下，也可以利用例如导电性粘接剂等将压电振动片5固定支撑于陶瓷基板上。
[0057]这样，关于压电振动片5,基部26的一部分(从各振动臂部24、25起较远的一侧的部分)接合于封装件10侧的迂回电极27、28上，由此，以该接合的部分(以下，称为装配部26a)作为支撑固定点，以从基底基板2的第2面2b浮起的状态被支撑。另外，成为由装配部26a将各装配电极与迂回电极27、28分别电连接的状态。
[0058]外部电极6、7设置于基底基板2的第I面2a的长度方向的两侧，经由各贯通电极
8、9和各迂回电极27、28而与压电振动片5电连接。更具体而言，一个外部电极6经由一个贯通电极8和一个迂回电极27而与压电振动片5的一个装配电极电连接。另外，另一个外部电极7经由另一个贯通电极9和另一个迂回电极28而与压电振动片5的另一个装配电极电连接。
[0059]贯通电极8、9是相对于贯通孔21、22而一体地固定的导电性的芯材，形成为:贯通方向的两端平坦，而且成为与基底基板2的厚度大致相同的厚度。各贯通电极8、9担负着这样的作用:将贯通孔21、22完全堵塞，维持空腔C内的气密，并且，使外部电极6、7与迂回电极27、28导通。具体地阐述的话，一个贯通电极8，在外部电极6与压电振动片5的基部26之间,位于迂回电极27的下方；另一个贯通电极9,在外部电极7与压电振动片5的振动臂部25之间，位于迂回电极28的下方。
[0060](压电振动片的制造方法)
接下来，对压电振动片的制造方法进行说明。
[0061]首先，通过光刻技术在未图不的圆片的两面形成具有一对振动臂部24、25和基部26的压电振动片5的外形图案 。此外，此时，在圆片上形成多个外形图案。
[0062]接下来，以外形图案作为掩模，分别对圆片的两面进行蚀刻加工。由此，能够选择性地除去未被外形图案掩盖的区域而形成压电振动片5的外形形状。此外，在该状态下，各压电振动片5成为经由未图示的连结部而与圆片连结的状态。
[0063]在此，在压电振动片5的各振动臂部24、25的两个主面24c、25c，形成有第I槽部41和第2槽部42。具体而言，通过光刻技术而使相当于各槽部41、42的区域相对于上述的外形图案而开口。然后，以这样形成的外形图案作为掩模，在圆片的两面分别施行蚀刻加工(半蚀刻)。由此，在各振动臂部24、25的两个主面24c、25c，形成第I槽部41和第2槽部42。
[0064]此后，通过众所周知的方法，在压电振动片5的外表面上将电极膜构图，形成激振电极、引出电极以及装配电极。
[0065]然后，最后进行切断将圆片与压电振动片5连结的连结部而将多个压电振动片5从圆片断开而单片化的切断工序。由此，能够从I块圆片一次制造多个音叉型的压电振动片5。
[0066](压电振动器的动作)
接着，对压电振动器I的动作进行说明。
[0067]在使压电振动器I工作的情况下，对形成于基底基板2的外部电极6、7施加既定的驱动电压。由此，能够使电流流动于压电振动片5的各激振电极，能够使一对振动臂部24、25沿互相接近、离开的方向(宽度方向)以既定的频率振动。而且，能够利用这一对振动臂部24、25的振动，作为时刻源、控制信号的定时源或参考信号源等而利用。
[0068]在此，在各振动臂部24、25的两个主面24c、25c上，夹着分割部43而分别形成有第I槽部41和第2槽部42。而且，各振动臂部24、25的基端与第2槽部42的前端之间的距离TL1，在将各振动臂部24、25的全长设为L时，设定为约0.6L (参照图5)。参照图23，如上所述，如果相对于振动臂部24、25的全长的槽部的长度超过0.58，则成为Rl > R2，因而压电振动片容易以二阶弯曲模式振动，但在本实施方式中，存在分割部43，由此，即使将槽部的长度设为约0.6L，也能够为Rl < R2。
[0069]即使将槽部的长度设为约0.6L也能够为Rl < R2的理由如下。即，在一对振动臂部24、25中，与形成有各槽部41、42之处相比，形成有分割部43之处的刚性高。而且，形成有该分割部43的地方，相当于二阶弯曲振动中的振动的节与节之间。因此，分割部43作为“妨碍二阶弯曲模式下的振动的部分”，即抑制一对振动臂部24、25的二阶弯曲变形的“变形抑制部”而起作用。
[0070]除此之外，各振动臂部24、25的基端与分割部43的中心之间的距离TL2设定为满足式(2)(参照图5)。即，分割部43形成于一对振动臂部24、25的振动模式为二阶弯曲模式时的最大位移量的位置(参照现有的图22中的最大振幅部P100)。换言之，各振动臂部24,25的基端与分割部43的中心之间的距离TL2设定为，成为与现有的图22中的各振动臂部2010、2011的基端与最大振幅部PlOO之间的距离SL2大致相同的距离。因此，得以防止一对振动臂部24、25由于不需要的弯曲变形而以二阶弯曲模式振动，即使延长槽部的长度TLl并降低R1，也能够保持Rl < R2，能够使一对振动臂部24、25以基波模式振动。
[0071](效果)
依照第I实施方式，在一对振动臂部24、25的两个主面24c、25c，形成有第I槽部41、第2槽部42以及配置于这些槽部41、42之间的分割部43，由此，即使在将各振动臂部24、25的基端与第2槽部42的前端之间的距离TLl (槽部的长度)设定为满足式(I)的情况下，SP，即使在将包括分割部43的第I槽部41和第2槽部42的全长设定为各振动臂部24、25的全长的一半以上的情况下，也能够使这些振动臂部24、25的振动模式为基波模式。因此，能够延长槽部的长度并使Rl进一步下降，并且防止一对振动臂部24、25以二阶弯曲模式振动。
[0072]另外，使分割部43作为抑制一对振动臂部24、25的弯曲变形的变形抑制部而起作用。因此，与在第I槽部41与第2槽部42之间施行用于抑制一对振动臂部24、25的变形的加工的情况相比，能够抑制压电振动片5的制造成本的增大。此外，变形抑制部的位置在本实施方式中为TL2=约L/2，但只要处于二阶弯曲模式下的节与节之间，就能得到“提高R2”的效果。更有效地，在节与节的大致中央，即位移量最大的位置设置变形抑制部即可。在本实施方式的情况下，其位置成为TL2=约L/2。
[0073]而且，将形成于各振动臂部24、25的分割部43的中心与各振动臂部24、25的基端之间的距离TL2设定为，与一对振动臂部24、25以二阶弯曲模式振动的情况下的最大位移量的位置和各振动臂部24、25的基端之间的距离大致相同。因此，能够有效地防止一对振动臂部24、25以二阶弯曲模式振动。此外，在本实施方式中，对在锤部24b、25b或基部26设有凹部23的构成进行了说明，但能够适用本发明的压电振动片的形状不限于此，也可以是不采用锤部或凹部的构成。另外，对于振动臂部24、25在主面、背面的任一面设置槽部即可(以下所说明的其他实施方式也是如此)。
[0074](第2实施方式)
接着，引用图1、图3，基于图7、图8，来说明本发明的第2实施方式。此外，对与第I实施方式相同的形态标记相同符号而说明(对于以下的实施方式也是如此)。
[0075]图7是该第2实施方式中的压电振动片的平面图。
[0076]在该第2实施方式中，以下各点等的基本的构成与前述的第I实施方式相同(对于以下的实施方式，也是如此):压电振动器I是具备将基底基板2和盖基板3经由未图示的接合材料而阳极接合的盒状的封装件10和收纳于封装件10的空腔C内的压电振动片105的表面安装型的压电振动器I (或也可以是陶瓷封装件)；压电振动片105与设置于基底基板2的第I面2a (图3中的下表面)的外部电极6、7由贯通基底基板2的一对贯通电极8、9电连接；压电振动片105是由石英、钽酸锂或铌酸锂等压电材料形成的音叉型的振动片，由互相平行地延伸的一对振动臂部124、125和将沿着这一对振动臂部124、125的延伸方向的基端部彼此一体地连接固定的基部26构成；一对振动臂部124、125由从基部26延伸的臂部主体124a、125a和从臂部主体124a、125a的前端以沿着臂部主体124a、125a的长度方向的方式延伸形成且由于阶梯差而导致宽度比臂部主体124a、125a更为扩大的锤部24b、25b构成,锤部24b、25b被设定为以基部26为固定端而沿宽度方向振动的自由端。
[0077]在此,第2实施方式与第I实施方式的不同点在于:在第I实施方式的一对振动臂部24、25，在第I槽部41与第2槽部42之间形成有分割部43，与此相对的是，在第2实施方式的一对振动臂部124、125，在第I槽部41与第2槽部42之间的分割部43，形成有细槽部51 (凹部)。
[0078]更详细而言，如图7所示，在各振动臂部124、125的两个主面124c、125c上，在第I槽部41与第2槽部42之间，形成有细槽部51。该细槽部51的宽度W3设定为，比第I槽部41的宽度Wl和第2槽部42的宽度W2更窄。另外，为了不与第I槽部41或第2槽部42连通，细槽部51与两者41、42隔开间隔而形成。
[0079]在这样形成的情况下，由于在细槽部51振动臂部124、125的刚性提高(与形成有槽长相同且宽度一定的槽的情况相比)，因而也能够起到与前述的第I实施方式同样的效
果O
[0080]基于图8，对第2实施方式的效果更具体地进行说明。
[0081]图8是示出将纵轴设为Rl值和R2值并将横轴设为TL1/L时的第2实施方式中的Rl值和R2值的变化的图表，(a)示出用各振动臂部124、125的基端与第2槽部42的前端之间的距离TLl除以各振动臂部124、125的基端与分割部43的中心之间的距离TL2 (以下，简称为“TL2/TL1”)而得到的值为0.5的情况，(b)示出TL2/TL1的值为0.6的情况，(c)示出TL2/TL1的值为0.8的情况。
[0082]如图8 Ca)所示，能够确认在TL2/TL1为0.5时，如果TL1/L的值成为约0.6，则R2值比Rl更小。
[0083]另外，如图8 (b)所示，能够确认在TL2/TL1为0.6时，如果TL1/L的值成为约
0.61，则R2值比Rl值更小。
[0084]而且，如图8 (C)所示，能够确认在TL2/TL1为0.8时，如果TL1/L的值成为约
0.62，则R2值比Rl值更小。
[0085]所以，依照上述的第2实施方式，与现有技术相比(参照图23)能够使Cl值下降，并且防止一对振动臂部124、125以二阶弯曲模式振动。
[0086]另外，如从图8 (a)~图8 (C)显而易见的，通过将各振动臂部124、125的基端与分割部43的中心之间的距离TL2和各振动臂部124、125的基端与第2槽部42的前端之间的距离TLl设定为满足:
TL2/TL1 < 0.5......(5)，
从而能够有效地防止一对振动臂部124、125以二阶弯曲模式振动。此外，更有效地，如果为TL2/TL1~0.8，则即使在延长槽部的长度TLl的情况下，也能够维持Rl < R2的关系。
[0087](第3实施方式)
接着，基于图9，说明本发明的第3实施方式。
[0088]图9是该第3实施方式中的压电振动片的平面图。
[0089]如该图所示，第3实施方式的压电振动片205与第2实施方式的压电振动片105的不同点在于:第3实施方式中的形成于一对振动臂部224、225的分割部43的槽的形状，与第2实施方式中的形成于一对振动臂部124、125的分割部43的槽的形状不同。
[0090]更具体而言，如图9所示，在各振动臂部224、225的分割部43，形成有厚度方向平面视图呈大致圆形状的槽部52。在这样形成的情况下，由于在槽部52振动臂部224、225的刚性提高(与形成有槽长相同且宽度一定的槽的情况相比)，因而也能够起到与前述的第I实施方式同样的效果。
[0091](第4实施方式)
接着，基于图10，说明本发明的第4实施方式。
[0092]图10是该第4实施方式中的压电振动片的平面图。
[0093]如该图所示，第4实施方式的压电振动片305与第2实施方式的压电振动片105的不同点在于:形成于振动臂部324、325的分割部43的槽的形状，与第2实施方式中的形成于一对振动臂部124、125的分割部43的槽的形状不同。
[0094]更具体而言，如图10所示，在一对振动臂部324、325的分割部43，沿宽度方向并排地配置有2个细槽53。各细槽部53的宽度W4设定为，比第I槽部41的宽度Wl和第2槽部42的宽度W2的约一半更窄。所以，各细槽部53与第I槽部41和第2槽部42隔开间隔而配置。
[0095]这样，在分割部43形成有2个细槽部53的情况下，由于在细槽部53振动臂部324、325的刚性提高(与形成有槽长相同且宽度一定的槽的情况相比)，因而能够起到与前述的第I实施方式同样的效果。
[0096]此外，在上述的第4实施方式中，对在分割部43形成有2个细槽部53的情况进行了说明，但不限于此，也可以在分割部43形成3个以上细槽部。
[0097](第5实施方式)
接着，基于图11，说明本发明的第5实施方式。
[0098]图11是该第5实施方式中的压电振动片的平面图。
[0099]如该图所示，第5实施方式的压电振动片405与第2实施方式的压电振动片105的不同点在于:在第5实施方式中的一对振动臂部324、325的基端，形成有细槽部54，与此相对的是，在第2实施方式的压电振动片105,未形成细槽部54。
[0100]更具体而言，如图11所示,在一对振动臂部424、425的两个主面424c、425c，在基端形成有细槽部54。该细槽部54的宽度W5设定为，比第I槽部41的宽度Wl和第2槽部42的宽度W2更窄。另外，第I槽部441与细槽部54隔开间隔而形成，从而不与细槽部54连通。
[0101]在这样形成的情况下，由于在细槽部51振动臂部424、425的刚性提高(与形成有槽长相同且宽度一定的槽的情况相比)，因而也能够起到与前述的第I实施方式同样的效果。而且，通过以基端侧作为细槽部54，从而能够提高振动臂部424、425的基端侧的强度。
[0102](第6实施方式)
接着，基于图12，说明本发明的第6实施方式。
[0103]图12是该第6实施方式中的压电振动片的平面图。
[0104]如该图所示，第6实施方式与第I实施方式的不同点在于:在第I实施方式的一对振动臂部24、25，在第I槽部41与第2槽部42之间形成有分割部43，与此相对的是，在第6实施方式的一对振动臂部524、525，第I槽部41与第2槽部42之间由宽度狭窄的细槽部55 (宽度狭窄部)连结。
[0105]更详细而言，如图12所示，在一对振动臂部524、525的两个主面524c、525c上，在第I槽部41与第2槽部42之间，形成有细槽部55。该细槽部55的宽度W6设定为，比第I槽部41的宽度Wl和第2槽部42的宽度W2更窄，即可以说是宽度狭窄部。另外，细槽部55形成为，横跨第I槽部41与第2槽部42，与两者41、42连通。
[0106]在这样形成的情况下，由于在细槽部55振动臂部524、525的刚性提高(与形成有槽长相同且宽度一定的槽的情况相比)，因而也能够起到与前述的第I实施方式同样的效
果O
[0107](第7实施方式)
接着，基于图13，说明本发明的第7实施方式。[0108]图13是该第7实施方式中的压电振动片的平面图。
[0109]如该图所示，第7实施方式与第I实施方式的不同点在于:在第I实施方式的一对振动臂部24、25，在第I槽部41与第2槽部42之间，形成有分割部43，与此相对的是，第7实施方式的形成于一对振动臂部624、625的第I槽部641和第2槽部642相连，在将这些第I槽部641和第2槽部642连结的连结部56形成有肋57。该肋57作为对二阶弯曲振动的“变形抑制部”而起作用。
[0110]肋57的宽度W7设定为，比第I槽部41的宽度Wl和第2槽部42的宽度W2更窄。通过形成肋57，从而即使第I槽部641的宽度Wl和第2槽部642连续形成，二阶弯曲模式下的变形区域的刚性也提高。因此，肋57作为抑制一对振动臂部624、625的弯曲变形的变形抑制部而起作用。
[0111]所以，依照上述的第7实施方式，由于在肋57振动臂部624、625的刚性提高(与未形成肋的情况相比)，因而能够起到与前述的第I实施方式同样的效果。
[0112](第8实施方式)
接着，基于图14，说明本发明的第8实施方式。
[0113]图14是该第8实施方式中的压电振动片的平面图。
[0114]如该图所示，第8实施方式与第2实施方式的不同点在于:第2实施方式的构成压电振动片105的基部26和第8实施方式的构成压电振动片705的基部726的形状不同。
[0115]更具体而言，如图14所示，随着从与一对振动臂部724、725的连接部侧朝向与这些振动臂部724、725相反的一侧(图14中的下侧)，第8实施方式的基部726多级地扩大。SP，基部726具有与一对振动臂部724、725的连接部侧的第I基部727和与相对于第I基部727而与一对振动臂部724、725相反的一侧连接设置且与第I基部727相比宽度较宽的第2基部728 (所谓二级基部类型)。
[0116]另外，在第I基部727的与各振动臂部724、725的连接部分和各基部727、728之间的连接部分，以随着从各振动臂部724、725侧朝向与这些振动臂部724、725相反的一侧而宽度逐渐扩大的方式，形成有倾斜面727a、728a。
[0117]所以，依照上述的第8实施方式，由于形成为宽度狭窄的第I基部727导致能够使由一对振动臂部724、725激励的振动传递至第2基部728侧的路线变窄，因而能够将振动约束在一对振动臂部724、725侧而抑制泄漏至第2基部728侧。由此，能够有效地抑制振动泄漏，能够抑制Cl值上升并抑制输出信号的品质下降。
[0118]另外，由于能够不延长基部726的长度LK地增加基部726的体积，而且，能够利用形成为宽度较宽的第2基部728来装配，因而关于装配性也能够提高。
[0119]此外，在上述的第I?第7实施方式中，对在构成压电振动片5、105、205、305、405、505,605的基部26的宽度方向两侧分别以使基部26的宽度变窄的方式形成凹部23的情况进行了说明。另外，在上述的第8实施方式中，对在构成压电振动片705的基部726的宽度方向两侧分别形成凹部23的情况进行了说明。然而，不限于这些情况，也可以不在基部26,726形成凹部23。
[0120](第9实施方式)
接着，基于图15，说明本发明的第9实施方式。
[0121]图15是该第9实施方式中的压电振动片的平面图。[0122]如该图所示，第9实施方式与第2实施方式的不同点在于:在第9实施方式的压电振动片805，在基部826的宽度方向两侧，分别一体成形有侧臂58、59 (所谓侧臂类型)，与此相对的是，在第2实施方式中的压电振动片105的基部26,未一体成形侧臂58。
[0123]更具体而言，各侧臂58、59形成为，在从基部826的与一对振动臂部824、825相反的一端(图15中的下端)朝向宽度方向两侧延伸之后，沿着各振动臂部824、825的长度方向且朝向各振动臂部824、825的前端弯曲延伸。另外，各侧臂58、59的前端部58a、59a比第2槽部42的长度方向大致中央稍微更延伸至各振动臂部824、825的前端侧。
[0124]在这样的构成下，能够使各侧臂58、59的接合部58a、59a作为装配部而起作用，能够经由该装配部而安装于例如封装件。
[0125]所以，依照上述的第9实施方式，除了与前述的第2实施方式同样的效果之外，在基部826，还能够确保与各振动臂部824、825的连接部和装配部(侧臂58、59的前端部58a、59a)的距离较长。结果，能够不使压电振动片805的全长增大地抑制振动泄漏而抑制Cl值上升并抑制输出信号的品质下降。
[0126](第10实施方式)
接着，基于图16，说明本发明的第10实施方式。
[0127]图16是该第10实施方式中的压电振动片的平面图。
[0128]如该图所示，第10实施方式与第9实施方式的不同点在于:在第10实施方式的基部926，在宽度方向两侧形成有凹部923，与此相对的是，在第9实施方式的基部826，未在宽度方向两侧形成凹部923。
[0129]通过这样构成，从而能够使将由一对振动臂部924、925激励的振动传递至基部926侧的路线变窄。
[0130]所以，依照上述的第10实施方式，除了与前述的第9实施方式同样的效果之外，由于能够将振动约束在一对振动臂部924、925侧而抑制泄漏至基部926侧，因而还能够防止Cl值上升。
[0131](振荡器)
接着，基于图17，对本发明所涉及的振荡器的一个实施方式进行说明。
[0132]图17是示出振荡器的一个实施方式的构成图。
[0133]如该图所示，本实施方式的振荡器1100作为将压电振动器I与集成电路1101电连接的振子而构成。该振荡器1100具备安装有电容器等电子零件1102的基板1103。在基板1103，安装有振荡器用的上述的集成电路1101，在该集成电路1101的附近，安装有压电振动器I。这些电子零件1102、集成电路1101以及压电振动器I分别由未图示的布线图案电连接。此外，各构成零件由未图示的树脂模制。
[0134]在这样构成的振荡器1100中，如果将电压施加至压电振动器I，则该压电振动器I内的压电振动片5 (105、205、305、405、505、605、705、805、905)振动。利用压电振动片5所具有的压电特性将该振动变换成电信号，作为电信号而输入至集成电路1101。所输入的电信号由集成电路1101进行各种处理，作为频率信号而输出。由此，压电振动器5作为振子而起作用。
[0135]另外，根据要求而选择性地设定集成电路1101的构成，例如RTC (实时时钟)模块等，由此，除了钟表用单功能振荡器等以外，还能够附加控制该设备或外部设备的动作日或时刻或者提供时刻或日历等的功能。
[0136]如上所述，依照本实施方式的振荡器1100，由于具备具有高强度并且能够将Cl值抑制得较低的小型化且高性能化的压电振动器1，因而能够提供具有高可靠性和高性能的振荡器1100。
[0137](电子设备)
接着，基于图18，对本发明所涉及的电子设备的一个实施方式进行说明。此外，作为电子设备，以具有上述的压电振动器I的便携信息设备(电子设备)1110为例而进行说明。
[0138]在此，本实施方式的便携信息设备1110以例如便携电话为代表，发展并改良现有技术中的手表。外观与手表类似，在相当于表盘的部分配置有液晶显示，能够使现在的时刻等显示在该画面上。另外，在用作通信机的情况下，从手腕摘下，能够由内置于带的内侧部分的扬声器和麦克风进行与现有技术的便携电话同样的通信。然而，与现有的便携电话相t匕，格外小型化且轻型化。
[0139]接着，对本实施方式的便携信息设备1110的构成进行说明。
[0140]图18是便携信息设备的构成图。
[0141]如该图所示，该便携信息设备1110具备压电振动器I和用于供给电力的电源部1111。电源部1111由例如锂二次电池构成。在该电源部1111，并联地连接有进行各种控制的控制部1112、进行时刻等的计数的计时部1113、进行与外部的通信的通信部1114、显示各种信息的显示部1115以及检测各个功能部的电压的电压检测部1116。而且，由电源部1111将电力供给至各功能部。
[0142]控制部1112控制各功能部而进行声音数据的发送或接收、现在时刻的计测或显示等、系统整体的动作控制。另外，控制部1112具备预先写入有程序的ROM、将写入该ROM的程序读出并执行的CPU以及用作该CPU的工作区的RAM等。
[0143]计时部1113具备内置有振荡电路、寄存器电路、计数器电路以及接口电路等的集成电路和压电振动器I。如果将电压施加至压电振动器1，则压电振动片5 (105、205、305、405、505、605、705、805、905)振动，利用石英所具有的压电特性而将该振动变换成电信号，作为电信号而输入至振荡电路。振荡电路的输出被二值化，由寄存器电路和计数器电路计数。然后，经由接口电路而与控制部1112进行信号的发送和接收，在显示部1115，显示有现在时刻或现在日期或者日历信息等。
[0144]通信部1114具有与现有的便携电话同样的功能，具备无线部1117、声音处理部1118、切换部1119、放大部1120、声音输入输出部1121、电话号码输入部1122、来电音产生部1123以及呼叫控制存储部1124。
[0145]无线部1117将声音数据等各种数据经由天线1125而与基站进行发送和接收的交换。声音处理部1118对从无线部1117或放大部1120输入的声音信号进行编码和译码。放大部1120将从声音处理部1118或声音输入输出部1121输入的信号放大至既定的等级。声音输入输出部1121由扬声器和麦克风等构成，扩大来电音或接电话声音，或者将声音集音。[0146]另外，来电音产生部1123响应来自基站的呼叫而生成来电音。切换部1119只有在来电时才将与声音处理部1118连接的放大部1120切换成来电音产生部1123，由此，将在来电音产生部1123中生成的来电音经由放大部1120而输出至声音输入输出部1121。[0147]此外，呼叫控制存储部1124储存与通信的呼叫和被叫控制相关的程序。另外，电话号码输入部1122具备例如O至9的号码键和其他键，通过按下这些号码键等，从而输入通话对方的电话号码等。
[0148]在由电源部1111对控制部1112等的各功能部施加的电压低于既定值的情况下，电压检测部1116检测该电压下降并通知至控制部1112。此时的既定的电压值是为了使通信部1114稳定地进行动作而预先设定以作为必要的最低限度的电压的值，例如为3V左右。从电压检测部1116接收电压下降的通知的控制部1112禁止无线部1117、声音处理部1118、切换部1119以及来电音产生部1123的动作。尤其是，消耗电力大的无线部1117的动作停止成为必须。而且，在显示部1115,显示有通信部1114由于电池余量的不足而不能使用的要旨。
[0149]即，能够由电压检测部1116和控制部1112禁止通信部1114的动作并将该要旨显示在显示部1115。该显示也可以是文字消息，也可以对在显示部1115的显示面的上部显示的电话图标标记X (叉)记号，以作为更直观的显示。
[0150]此外，具备能够选择性地截断与通信部1114的功能相关的部分的电源的电源截断部1126，由此，能够更可靠地停止通信部1114的功能。
[0151]如上所述，依照本实施方式的便携信息设备1110，由于具备具有高强度并且能够将Cl值抑制得较低的小型化且高性能化的压电振动器1，因而能够提供具有高可靠性和高性能的便携信息设备1110。
[0152](电波钟表)
接着，基于图19，对本发明所涉及的电波钟表的一个实施方式进行说明。
[0153]图19是示出电波钟表的一个实施方式的构成图。
[0154]如该图所示，本实施方式的电波钟表1130具备与滤波部1131电连接的压电振动器I，是具备接收含有钟表信息的标准电波并自动修正成正确的时刻而显不的功能的钟表。
[0155]在日本国内，在福岛县(40kHz )和佐贺县(60kHz )有发送标准电波的发送所(发送局)，分别发送标准电波。由于像40kHz或60kHz那样的长波兼具在地表传播的性质和在电离层与地表一边反射一边传播的性质，因而传播范围广，由上述的2个发送所覆盖整个日本国内。
[0156]以下，对电波钟表1130的功能的构成详细地进行说明。
[0157]天线1132接收40kHz或60kHz的长波的标准电波。长波的标准电波是将被称为时间代码的时刻信息AM调制到40kHz或60kHz的载波而成的。所接收的长波的标准电波由放大器1133放大，由具有多个压电振动器I的滤波部1131滤波并调谐。
[0158]本实施方式中的压电振动器I分别具备具有与上述的载频相同的40kHz和60kHz的谐振频率的石英振动器部1138、1139。
[0159]而且，滤波后的既定频率的信号由检波、整流电路1134检波并解调。
[0160]接下来，经由波形整形电路1135取出时间代码，由CPU 1136计数。在CPU 1136中，读取现在的年或累积日、星期、时刻等的信息。所读取的信息反映于RTC 1137，显示正确的时刻信息。
[0161]由于载波是40kHz或60kHz，因而石英振动器部1138、1139优选为拥有上述的音叉型的构造的振动器。[0162]此外，上述的说明以日本国内的示例示出，但长波的标准电波的频率在海外是不同的。例如，在德国使用77.5 kHz的标准电波。所以，将在海外也能够对应的电波钟表1130装入便携设备的情况下，还需要与日本的情况不同的频率的压电振动器I。[0163]如上所述，依照本实施方式的电波钟表1130，由于具备具有高强度并且能够将Cl值抑制得较低的小型化且高性能化的压电振动器1，因而能够提供具有高可靠性和高性能的电波钟表1130。[0164]此外，本发明不限于上述的实施方式，包括在不脱离本发明的要旨的范围内在上述的实施方式添加各种变更而成的实施方式。[0165]例如，在上述的实施方式中，在表面安装型的压电振动器I采用本发明的压电振动片5、105、205、305、405、505、605、705、805、905，但不限于此，也可以在圆柱封装件类型的压电振动器采用本发明的压电振动片5、105、205、305、405、505、605、705、805、905。[0166]另外，在上述的实施方式中，对在一对振动臂部24、24、25~925的各个各形成I处分割部43的情况进行了说明。然而，不限于此，也可以在长度方向形成多个分割部43。在这种情况下，在形成于一对振动臂部24~924、25~925的第I槽部41、441、641和/或形成有第2槽部42、642之处的一部分形成分割部43。此外，这些分割部有必要至少形成于二阶弯曲模式下的节与节之间。在节与节之间，即在二阶弯曲模式下变形的部分设置分割部43，由此，在二阶弯曲模式下难以振动，R2上升。[0167]另外，在形成多个分割部43的情况下，也可以在各分割部43的各个形成细槽部51、53、54、55和槽部52，也可以在多个分割部43中的一部分形成细槽部51、53、54、55和槽部52。[0168]而且，在上述的实施方式中，对将形成于一对振动臂部24、24、25~925的分割部43的中心与各振动臂部24、24、25~925的基端之间的距离TL2 (参照图5)设定为满足式(2)的情况进行了说明。即，对将分割部43形成于在一对振动臂部24、24、25~925的振动模式为二阶弯曲模式时的一对振动臂部24、24、25~925的最大位移量的位置、进一步换言之现有的图22中的最大振幅部PlOO的位置的情况进行了说明。[0169]然而，不限于此，在一对振动臂部24、24、25~925的振动模式为二阶弯曲模式时的基端侧的振动节部(例如，图22中的2010a、2011a)与前端侧的振动节部(例如，图22中的2010b、2011b)之间形成分割部43即可。更优选，可以将分割部43的位置设定为，距离TL2相对于各振动臂部24~924、25~925的全长L而满足: L/2TL ( TL2 ( 2L/3......(6)。[0170]通过将分割部43形成为满足式(6)，从而能够起到与前述的第I实施方式同样的效果。[0171]根据以上，依照本发明，在假定为振动臂部以高阶弯曲模式振动的情况的变形区域，设有抑制高阶振动的“变形抑制部”。由此，如果与大致同一宽度且沿长度方向延伸的槽形成于振动臂部的情况相比，则即使槽的长度大致相同，设置“变形抑制部”也能够增大R2。所以，由于即使在想要降低压电振动片的R值(Cl值)而延长槽的长度的情况下，也能够保持Rl < R2的关系，因而能够使压电振动片以基波模式振动。例如，即使槽的长度TLl相对于振动臂的长度1而为111/11~0.6，也能够达成1?1<1?2。而且，已由本发明的
【发明者】们确认，如果将“变形抑制部”的位置形成于在二阶弯曲模式下最大程度地变形的位置(例如，腹的位置)，则即使11/1~0.68，也能够维持R1 < R2，即能够以基波模式振动。此外，在作为变形抑制部而设置槽的分割部的情况下，与设置分割部相应地，槽的长度变短，但波及电解效率的影响微细，而能够维持Rl < R2的关系的好处大得多。
[0172]附图标记说明
I压电振动器；5、105、205、305、405、505、605、705、805、905 压电振动片；24、25、124、125、224、225、324、325、424、425、524、525、624、625、724、725、824、825、924、925 振动臂部；24c、25c、124c、125c、524c、525c 主面；26、726、826、926 基部；41、441、641 第 I槽部；42、642第2槽部；43 分割部；51、53、54、55 细槽部；52槽部；1100 振荡器；1101集成电路；1110便携信息设备(电子设备)；1113钟表部；1130电波钟表；1131滤波部；2010a、2011a振动节部(基端侧的振动节部)2010b、2011b 振动节部(前端侧的振动节部);P100最大振幅部；L全长。
【权利要求】
1.一种压电振动片，具备: 多个振动臂部，沿宽度方向并排地配置； 基部，将所述振动臂部的长度方向的基端连结；以及 槽部，在所述振动臂部的主面或背面的至少一方，从所述基端侧朝向所述振动臂部的前端侧形成， 所述压电振动片的特征在于，在使所述振动臂部的振动模式为二阶弯曲模式时的所述振动臂部的所述基端侧的振动节部与所述振动臂部的所述前端侧的振动节部之间，设有抑制二阶弯曲模式下的所述振动臂部的弯曲变形的变形抑制部。
2.如权利要求1所述的压电振动片，其特征在于，所述变形抑制部设在使所述振动臂部的振动模式为二阶弯曲模式时的所述振动臂部的最大振幅部的附近。
3.如权利要求1或2所述的压电振动片，其特征在于，所述变形抑制部是将所述槽部在所述振动臂部的长度方向分割的分割部。
4.如权利要求1或2所述的压电振动片，其特征在于，所述变形抑制部是所述槽部的宽度方向的尺寸变窄的宽度狭窄部。
5.如权利要求3所述的压电振动片，其特征在于，在所述分割部形成有凹部。
6.一种压电振动器，其特征在于，具有权利要求1或2所述的压电振动片。
7.一种振荡器，其特征在于，权利要求6所述的压电振动器作为振子而与集成电路电连接。
8.一种电子设备，其特征在于，权利要求6所述的压电振动器与计时部电连接。
9.一种电波钟表，其特征在于，权利要求6所述的压电振动器与滤波部电连接。
【文档编号】G04F5/06GK103580638SQ201310318639
【公开日】2014年2月12日 申请日期:2013年7月26日 优先权日:2012年7月26日
【发明者】有松大志 申请人:精工电子水晶科技股份有限公司