垂直耦合纳米光波导双光路芯片级原子钟的制作方法

文档序号:11917068阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种垂直耦合纳米光波导双光路芯片级原子钟,包括激光器,其特征在于:所述激光器出射的光束通过垂直耦合光栅Ⅰ耦合进入Y波导分束器,其中一束光经过相位调制单元后输出,另外一束光经调节补偿后输出,两路光束再分别经过垂直耦合光栅Ⅱ和垂直耦合光栅Ⅲ输出,依次经过偏振片、衰减片、波片、准直、聚焦之后进入气室,出射后,两束光经过探测单元转化为电信号后经过减法器输入集成电路芯片,所述集成电路芯片对激光器和相位调制单元进行调控。

2.根据权利要求1所述的垂直耦合纳米光波导双光路芯片级原子钟,其特征在于:所述气室为铷原子气室,所述铷原子气室位于磁场线圈中,其上下布置有BF33玻璃,并配有加热单元。

3.根据权利要求1所述的垂直耦合纳米光波导双光路芯片级原子钟,其特征在于:所述Y波导分束器中,其中一束光经调制电极产生相位差恒定的相干光后输出,另外一束光由欧姆电极调节补偿以此与调制光路一致后输出。

4.根据权利要求1所述的垂直耦合纳米光波导双光路芯片级原子钟,其特征在于:所述垂直耦合光栅Ⅱ和垂直耦合光栅Ⅲ均为渐变光栅。

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