专利名称：：计算机系统与处理方法
技术领域：
：本发明关于一种计算机系统，特别是关于一种适用于自动化制造环境的计算机整合制造系统。
背景技术：
：计算机集成制造(ComputerIntegratedManufacturing，CIM)广泛地使用于半导体装置的制造，用以控制物料以及信息流程。制造自动化可有效且精确地控制物料移动(materialmovement)和重要的相关数据，因而降低生产周期、降低浪费以及改善产量。即使在一些使用自动物料搬运系统(AutomatedMaterialHandlingSystem，AMHS)的自动化制造环境中，仍不可避免手动搬运一些物料。当手动搬运物料时，可能会造成物料实体位置与计算机系统中数据不一致的风险。换言之，通过计算机数据追踪物料的位置并执行处理变得越来越不精确，并且会引起后续的处理步骤发生错误。这种物料不一致所产生的错误可能会造成生产周期的延迟、增加返工(rework)与废料(scrap)并且减少产量。
发明内容为解决所述问题，本发明的目的是提供一种计算机系统，包括剖析器、比较器以及自动校正模块。剖析器用以接收具有详细处理工具执行数据的记录文件，并且产生具有部分以已知格式所设置的详细处理工具执行数据的操作记录。比较器用以接收自动化物料追踪数据，并且与操作记录数据进行比较。自动校正模块用以当自动化物料追踪数据与操作记录数据不一致时，自动地校正自动化物料追踪数据。根据所述的计算机系统，其中所述比较器还在检测到所述自动化物料追踪数据与所述操作记录数据之间的不一致时产生一警告电子邮件。根据所述的计算机系统，其中所述比较器还在检测到所述自动化物料追踪数据与所述操作记录数据之间的不一致时产生一不一致报告。根据所述的计算机系统，其中所述操作记录包括设置于所述处理工具的多个物料载具的多个独特的辨识器、由每个所述载具所运送的大量物料以及时间戳记。根据所述的计算机系统，其中所述记录文件包括一预定时间周期的详细处理工具数据。根据所述的计算机系统，其中所述记录文件包括实时的详细处理工具数据。此外，本发明还提供一种处理方法，包括接收具有详细处理工具执行数据的记录文件，并且产生具有部分以已知格式所设置的详细处理工具执行数据的操作记录；接收自动化物料追踪数据，并且将自动化物料追踪数据与操作记录数据进行比较；当检测到自动化物料追踪数据与操作记录数据不一致时，自动地校正自动化物料追踪数据。根据所述的处理方法，还包括当检测到所述自动化物料追踪数据与所述操作记录数据不一致时产生一警告电子邮件。根据所述的处理方法，还包括当检测到所述自动化物料追踪数据与所述操作记录数据不一致时产生一不一致报告。根据所述的处理方法，其中产生所述操作记录包括提供设置于所述处理工具的多个物料载具的多个独特的辨识器、由每个所述载具所运送的大量物料以及时间戳记。根据所述的处理方法，其中接收所述记录文件包括接收具有一预定时间周期的详细处理工具数据的所述记录文件。根据所述的处理方法，其中接收所述记录文件包括接收具有实时的详细处理工具数据的所述记录文件。通过本发明的计算机系统和处理方法对数据执行校正与更新，从而导致产量的增加、较少的废料并且降低生产周期。图1显示根据本发明实施例所述的制造环境的简化方框图。图2显示根据本发明实施例所述的在自动化制造环境中，用以校正物料与数据不一致的系统与方法的简化数据流程图。图3显示根据本发明实施例所述的晶片分类机记录文件的部分内容。图4显示应用本发明实施例所述的审核算法的流程图。图5显示应用本发明实施例所述在自动化制造环境中，用以校正物料与数据不一致的方法流程图。其中，附图标记说明如下10制造环境12、13、14、15、16处理工具20、21、22自动物料搬运机24手动物料传送30自动化制造环境32处理工具记录文件34剖析器36处理工具操作记录38比较器40MES数据42审核算法44比较结果46结束48校正程序50不一致报告52产生并传送警告电子邮件具体实施方式为让本发明的所述和其它目的、特征、和优点能更明显易懂，下文特举出优选实施例，并结合附图，作详细说明如下实施例图1显示根据本发明实施例所述的制造环境10的简化方框图。制造环境10可以为半导体装置厂或是任何自动化或半自动化制造环境，在制造环境10中物料流程的控制以及关于物料流程的数据的精确度极为重要。在这样的环境中，通过不精确的数据来辨识物料的处理与位置可导致产量明显的减少、物料的交错污染(cross-contamination)、增加生产周期以及产生较多浪费的物料(higherproductionofwastedmaterials)。制造环境10包括多个处理工具以及设备12-16。在半导体制造设备中，处理工具12-16可以为独立的设备或是群组设备(clustersofequipment)。这些处理工具包括执行例如化学机械研磨、蚀刻、薄膜制造、光刻、清洗、测试等步骤的设备，以在晶片基板上形成半导体装置。这些处理工具通常会全自动的将晶片覆盖于例如前开式晶片盒(frontopeningunifiedpods，FOUPs)、前开式运输盒(frontopeningshippingboxes，FOSBs)以及卡式磁带等介质中，并根据指定的方法执行预定步骤。半导体厂中的物料或晶片通过自动物料搬运系统(AutomatedMaterialHandlingSystem，AMHS)的自动物料搬运机20-22的操作是从处理工具获取晶片并且将晶片传送至下一个处理工具执行其它处理。这些自动物料搬运机可包括传送带(conveyor)、轨道(rail)、高架轨道(overheadtrack)、回转台(turntable)、机器人以及自动仓储系统(stocker)等。制造执行系统(manufacturingexecutionsystem，MES)用以追踪工作进展(work-in-progess)以及物料与数据流。虽然许多先进的制造环境已经自动化，但是大部分的制造环境仍使用某些形式的手动物料搬运。例如，介于处理工具14与16之间的物料24传送为手动执行。例如，在半导体厂中，手动搬运与输送晶片仍然常用于工具监视或是步骤验证。当手动搬运物料时，除非操作员小心的更新制造执行系统，否则将会造成制造执行系统中的数据记录与物料的实体位置不一致。图2显示根据本发明实施例所述的系统的简化数据流程图，以及校正自动化制造环境30中物料与数据不一致的方法。系统30用以实时或于预定时间周期(例如每天、每四小时或是每八小时等)存取处理工具记录文件32。处理工具记录文件32中包括物料搬运的详细执行记录或是执行搬运的处理工具。记录文件为自动产生的晶片搬运设备的物料内容的详细说明。图3显示根据本发明实施例所述的处理工具记录文件32。处理工具记录文件32记录搬运是由晶片分类机所执行。处理工具记录文件32作为剖析器(parser)34的输入，剖析器用以读取记录文件的内容，且记录文件通常为私有(proprietary)的数据格式。接下来，剖析器选取数据并且对所选取的数据进行语法分析而产生具有以已知的数据格式而设置的分析数据的操作记录(operationjournal)36。操作记录36可指出设置于处理工具的晶片载具、载具中的晶片数量、相关的时间戳记(日期或时间)以及其它数据。例如，操作记录36可包括下列数据星期一5月10日19:39:012005PFB00013910晶片PFF0005013晶片在所述例子中，操作记录的内容指出在2005年5月10日星期一时，晶片载具PFB000139包括十个晶片，且晶片载具PFF000501包括三个晶片。接下来，提供处理工具的处理工具操作记录至比较器38，与储存于MES中由制造执行系统自动产生的数据40进行比较。比较器38根据审核算法(checkeralgorithm)42来判断操作记录数据36与MES数据40之间是否为不一致，并且产生比较结果44。关于更详细的审核算法在图4中讨论。当操作记录数据36与MES数据40一致时，代表工具实际执行，且MES数据代表自动物料搬运系统发生于工具，接下来程序结束于方框46，直到预定间隔处的下一个执行叠代(executioniteration)。如上所述，可实时或周期性的(例如每四个小时、每次变动或是每天)进行比较。当比较结果显示MES数据与操作记录数据不一致时，MES数据可通过校正程序48执行自动更新，如此一来便可使操作记录数据与MES数据一致。因此，MES数据反应现实并且提供晶片设置的精确图片。另外可结合自动校正而产生不一致报告50，并且将不一致报告50传送至使用者或操作员。不一致报告可通过产生警告电子邮件信息52或其它装置传送给操作员。不一致警告电子邮件52可能包括下列数据对于PFB000139没有发现不匹配的晶片数@星期一5月10日19:39:012005FOUP中的晶片10pcsMES中的晶片8pcs此警告电子邮件中根据设备记录文件/操作记录指出在特定的日期及时间，标记为PFC000139的载具包括十个晶片，但是MES数据仅显示包括八个晶片。因此，必须注意MES数据与操作记录数据之间的不一致。当没有执行自动校正时，操作员可手动的更新MES数据使其符合操作记录数据。图2所示的元件或函式34、38、44、48、50以及52可以为在计算机平台上所执行的个别的应用程序或是用以执行横跨设置于分布式架构中多个计算机平台的多个模块。系统可监视并且挑出可能发生于半导体制造厂中所操作的个别处理工具、部分处理工具或是所有处理工具的错误。通过这样的操作方法来检查MES数据或其它用以追踪物料处理与物料流程的数据对照由处理设备或工具所产生的数据的正确性，当发现不一致时即可对MES数据执行校正与更新。MES数据的正确性将导致产量的增加、较少的废料并且降低生产周期。图4显示根据本发明实施例所述的审核算法42的流程图。当在前开式晶片盒中的晶片编号被操作记录36的记录数据辨识时，开始步骤54。在步骤56中，前开式晶片盒中的晶片编号被MES数据40辨识。在步骤58中，审核算法42判断来自记录数据的前开式晶片盒中的晶片编号是否与来自MES数据的前开式晶片盒中的晶片编号一致。在步骤60中，当来自记录数据的前开式晶片盒中的晶片编号与MES数据的前开式晶片盒中的晶片编号一致时，将一致的信息告知比较器，因此终止了处理步骤。在步骤62中，当来自记录数据的前开式晶片盒中的晶片编号与MES数据的前开式晶片盒中的晶片编号不一致时，将不一致的信息告知比较器，并且执行自动校正。因此终止处理步骤。图5显示根据本发明实施例所述的在自动化制造环境30中用以校正物料与数据不一致的方法流程图。当从处理工具获取到记录文件时，开始步骤66。在步骤68中，剖析器34分析记录文件而产生操作记录。在步骤70中，比较器38根据审核算法42对MES数据40与操作记录36的数据进行比较。在步骤72中，审核算法42判断MES数据40与操作记录36的数据是否一致。在步骤74中，当MES数据40与操作记录36的数据一致时，将一致的数据储存至数据库中，并且因而终止处理步骤。然而，在步骤76中，当MES数据40与操作记录36的数据不一致时，将不一致的数据储存至数据库中。在步骤78中使用不一致的数据而对MES数据40执行自动校正。在步骤80中自动产生并且传送警告邮件，用以通知操作员不一致的信息，并因此终止处理步骤。本发明虽以优选实施例揭示如上，然而其并非用以限定本发明的范围，所属领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，可做些许的更动与润饰，因此本发明的保护范围应当视后附的权利要求所界定的范围为准。权利要求1.一种计算机系统，包括一剖析器，用以接收具有一详细处理工具执行数据的一记录文件，并且产生具有部分以一已知格式所设置的所述详细处理工具执行数据的一操作记录；一比较器，用以接收一自动化物料追踪数据，并且与所述操作记录数据进行比较；以及一自动校正模块，用以当所述自动化物料追踪数据与所述操作记录数据不一致时，自动地校正所述自动化物料追踪数据。2.如权利要求1所述的计算机系统，其中所述比较器还在检测到所述自动化物料追踪数据与所述操作记录数据之间的不一致时产生一警告电子邮件。3.如权利要求1所述的计算机系统，其中所述比较器还在检测到所述自动化物料追踪数据与所述操作记录数据之间的不一致时产生一不一致报告。4.如权利要求1所述的计算机系统，其中所述操作记录包括设置于所述处理工具的多个物料载具的多个独特的辨识器、由每个所述载具所运送的大量物料以及时间戳记。5.如权利要求1所述的计算机系统，其中所述记录文件包括一预定时间周期的详细处理工具数据。6.如权利要求1所述的计算机系统，其中所述记录文件包括实时的详细处理工具数据。7.一种处理方法，适用于具有编码的计算机可读取介质，包括如下步骤接收具有一详细处理工具执行数据的一记录文件，并且产生具有部分以一已知格式所设置的所述详细处理工具执行数据的一操作记录；接收一自动化物料追踪数据，并且将所述自动化物料追踪数据与所述操作记录数据进行比较；当检测到所述自动化物料追踪数据与所述操作记录数据不一致时，自动地校正所述自动化物料追踪数据。8.如权利要求7所述的处理方法，还包括当检测到所述自动化物料追踪数据与所述操作记录数据不一致时产生一警告电子邮件。9.如权利要求7所述的处理方法，还包括当检测到所述自动化物料追踪数据与所述操作记录数据不一致时产生一不一致报告。10.如权利要求7所述的处理方法，其中产生所述操作记录包括提供设置于所述处理工具的多个物料载具的多个独特的辨识器、由每个所述载具所运送的大量物料以及时间戳记。11.如权利要求7所述的处理方法，其中接收所述记录文件包括接收具有一预定时间周期的详细处理工具数据的所述记录文件。12.如权利要求7所述的处理方法，其中接收所述记录文件包括接收具有实时的详细处理工具数据的所述记录文件。全文摘要一种计算机系统与处理方法，该计算机系统包括剖析器、比较器以及自动校正模块。剖析器用以接收具有详细处理工具执行数据的记录文件，并且产生具有部分以已知格式所设置的详细处理工具执行数据的操作记录。比较器用以接收自动化物料追踪数据，并且与操作记录数据进行比较。自动校正模块用以当自动化物料追踪数据与操作记录数据不一致时，自动地校正自动化物料追踪数据。通过本发明的计算机系统和处理方法对数据执行校正与更新，从而导致产量的增加、较少的废料并且降低生产周期。文档编号G05B19/418GK101034289SQ20071000517公开日2007年9月12日申请日期2007年2月15日优先权日2006年3月8日发明者张永政,傅学士申请人:台湾积体电路制造股份有限公司