提供化学物品的控制系统的制作方法
【专利摘要】本发明提出一种提供化学物品的控制系统，通过添加信号线直接连接输入输出控制盘与化学物品供应系统，制程设备机台的需求信号能够通过输入输出控制盘直接传输至化学物品供应系统，化学物品供应系统能够根据需求信号做出相应的反应，同时输入输出控制盘也根据需求信号来控制阀门箱，并将相应的化学物品提供给制程设备机台。从而避免了现有技术中出现从输入输出控制盘到化学物品供应系统中的信号线和中央数据采集盘出现的信号传输中断问题，进而能够根据制程设备机台发出的需求信号正常的为制程设备机台提供所需化学物品。
【专利说明】提供化学物品的控制系统
【技术领域】
[0001]本发明设计半导体制造领域，尤其涉及一种提供化学物品的控制系统。
【背景技术】
[0002]在半导体集成电路制造工艺中，通常需要用到大量的具有剧毒性和高腐蚀性的化学物品来满足生产需要，例如氢氟酸、磷酸等。在正常的生产过程中，制程设备机台向厂务的化学物品供应系统发出需求信号，厂务的化学物品供应系统接受到需求信号后会做出相应的反应并且发出反应信号，从而控制阀门打开，向制程设备机台输送所需的化学物品。
[0003]目前，半导体行业通常都是采用控制网线来传递需求信号，实现制程设备机台和厂务的化学物品供应系统之间的通讯。请参考图1，现有的提供化学物品的控制系统包括:制程设备机台(POU) 10 ;与所述制程设备机台10连接的阀门箱(VMB) 20 ;与所述阀门箱20连接的输入输出控制盘(I/O Panel)30 ;与所述输入输出控制盘30连接的中央数据采集盘(DCP Master) 40 ;以及与所述中央数据采集盘40连接的化学物品供应系统(CCSS Unit)50，所述化学物品供应系统50包括化学物品供应单元(图未示)和信号输入单元(图未示)。此外，所述制程设备机台10与阀门箱20之间设置有第一段管路61，所述阀门箱20与化学物品供应系统50之间设置有第二段管路62。
[0004]所述制程设备机台10、阀门箱20、输入输出控制盘30、中央数据采集盘40以及化学物品供应系统50依次通过信号线进行信号连接。具体地说，所述制程设备机台10提出需求信号并传输至所述阀门箱20 ;所述阀门箱20再将需求信号传输至所述输入输出控制盘30 ;所述输入输出控制盘30将需求信号传输至所述中央数据采集盘40 ;所述中央数据采集盘40将需求信号传输至所述化学物品供应系统50中的信号输入单元；所述化学物品供应系统再根据所述需求信号做出相应的反应，控制所述化学物品供应单元通过第二段管路62向制程设备机台10供应化学物品(例如是氢氟酸、磷酸等酸液);所述输入输出控制盘30会根据需求信号做出相应的反应，再将反应信号反馈至所述阀门箱20 ;所述阀门箱20根据所述反应信号来打开或者关闭所述阀门单元中的阀门，从而达到为所述制程设备机台10提供或不提供所需化学物品的效果。这样便能够实现所述制程设备机台10与所述化学物品供应系统50的化学物品的传输。
[0005]但是在实际生产过程中，输入输出控制盘30与中央数据采集盘40之间的信号线、中央数据采集盘40与化学物品供应系统50之间的信号线、或者中央数据采集盘40其中任何一处出现问题都将会导致信号传输的中断，化学物品供应系统50无法接受到需求信号，从而致使制程设备机台10无法获得所需的化学物品。若制程设备机台10无法获得化学物品，必须停止生产。此时不但需要花费时间分别对各处信号线和中央数据采集盘40进行故障排查，而且还将导致制程设备机台10中正在生产的晶圆损伤甚至报废。因此，如何避免此类问题的发生，便成了本领域亟需解决的技术问题。
【发明内容】
[0006]本发明提出一种提供化学物品的控制系统，其目的在于解决现有技术中从输入输出控制盘到化学物品供应系统中的信号线和中央数据采集盘出现故障时不能继续为制程设备机台提供化学物品的问题。
[0007]为了实现上述目的，本发明提出一种提供化学物品的控制系统，包括:制程设备机台(POU);与所述制程设备机台连接的阀门箱(VMB);与所述阀门箱连接的输入输出控制盘(I/O Panel);以及化学物品供应系统(CCSS Unit);所述制程设备机台与阀门箱之间设置有第一段管路，所述阀门箱与化学物品供应系统之间设置有第二段管路；其中，所述输入输出控制盘直接通过信号线与所述化学物品供应系统进行信号连接。
[0008]进一步的，所述阀门箱包括信号单元和阀门单元；所述信号单元与所述制程设备机台与所述输入输出控制盘连接，所述阀门单元与所述制程设备机台通过所述第一段管路连接，所述信号单元控制所述阀门单元中的阀门的开关。
[0009]进一步的，所述化学物品供应系统包括化学物品供应单元和信号输入单元，所述化学物品供应单元与所述阀门箱通过所述第二段管路连接，所述信号输入单元与所述输入输出控制盘通过信号线连接，所述信号输入单元控制所述化学物品供应单元供应化学物
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[0010]进一步的，还包括一中央数据采集盘，与所述输入输出控制盘和所述信号输入单元连接。
[0011]进一步的，所述输入输出控制盘包括数据输出模块和继电器，所述数据输出模块与所述继电器连接。
[0012]进一步的，所述继电器与所述信号输入单元的信号端口通过一根信号线连接，所述继电器与所述信号输入单元的公共端口通过另一根信号线连接。
[0013]进一步的，所述化学物品供应系统还包括一硬线故障报警单元，所述硬线故障报警单元用以检测所述输入输出控制盘和中央数据采集盘是否传输信号至所述信号输入单
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[0014]进一步的，所述信号线为硬线(Hard cable)。
[0015]进一步的，所述硬线为24V的信号线。
[0016]与现有技术相比，本发明的主要有益效果在于:提出一种提供化学物品的控制系统，通过添加信号线直接连接输入输出控制盘与化学物品供应系统，制程设备机台的需求信号能够通过输入输出控制盘直接传输至化学物品供应系统，化学物品供应系统能够根据需求信号做出相应的反应，同时输入输出控制盘也根据需求信号来控制阀门箱，并将相应的化学物品提供给制程设备机台。从而避免了现有技术中出现从输入输出控制盘到化学物品供应系统中的信号线和中央数据采集盘出现的信号传输中断问题，进而能够根据制程设备机台发出的需求信号正常的为制程设备机台提供所需化学物品。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]图1为现有技术中提供化学物品的控制系统的结构示意图；
[0018]图2为本发明实施例一中提供化学物品的控制系统的结构示意图；
[0019]图3为本发明实施例一中输入输出控制盘与化学物品供应系统连线的结构示意图；[0020]图4为本发明实施例二中提供化学物品的控制系统的结构示意图。
【具体实施方式】
[0021]为了便于理解，下面结合具体实施例对本发明进行详细的描述。
[0022]实施例一
[0023]请参考图2，一种提供化学物品的控制系统，包括:制程设备机台(POU) 100 ;与所述制程设备机台100连接的阀门箱(VMB) 200 ;与所述阀门箱200连接的输入输出控制盘(I/O Panel) 300 ;以及化学物品供应系统(CCSS Unit) 500 ;所述制程设备机台100与阀门箱200之间设置有第一段管路610，所述阀门箱200与化学物品供应系统500之间设置有第二段管路620 ;其中，所述输入输出控制盘300直接通过信号线700与所述化学物品供应系统500进行信号连接。
[0024]其中，所述阀门箱200包括信号单元和阀门单元(图未示);所述信号单元与所述制程设备机台100与所述输入输出控制盘300连接，所述阀门单元与所述制程设备机台100通过所述第一段管路610连接，所述信号单元控制所述阀门单元中的阀门的开关。
[0025]在本实施例中，所述化学物品供应系统500包括化学物品供应单元(图未示)和信号输入单元510，所述化学物品供应单元与所述阀门箱300通过所述第二段管路620连接，所述信号输入单元510与输入输出控制盘300通过信号线700连接，所述信号输入单元510控制所述化学物品供应单元供应化学物品。
[0026]在本实施例中，所述制程设备机台100提出需求信号，并传输至所述阀门箱200 ；所述阀门箱200再将需求信号传输至所述输入输出控制盘300 ;所述输入输出控制盘300再将需求信号传输至所述化学物品供应系统500 ;化学物品供应系统500根据所述需求信号做出相应的反应，控制所述化学物品供应单元通过第二段管路620向阀门箱200供应化学物品；所述输入输出控制盘300会根据需求信号做出相应的反应，再将反应信号反馈至所述阀门箱200 ;所述阀门箱200根据所述反应信号来打开所述阀门单元的阀门，从而达到化学物品供应系统通过第二段管路620和第一段管路610为所述制程设备机台100提供所需化学物品的效果。
[0027]请参考图3，在本实施例中，所述输入输出控制盘300包括数据输出模块310和继电器320，所述数据输出模块310与所述继电器320连接。所述继电器320与所述信号输入单元510的信号端口通过一根信号线700连接，所述继电器320与所述信号输入单元510的公共端口(即接地端)通过另一根信号线700连接，从而实现信号的传输。
[0028]其中，所述信号线700可以为硬线(Hard cable)，其规格为24V。
[0029]综上所述，本实施例通过添加信号线直接连接输入输出控制盘与化学物品供应系统，制程设备机台的需求信号能够通过输入输出控制盘直接传输至化学物品供应系统，化学物品供应系统再根据所述需求信号做出相应的反应，控制所述化学物品供应单元通过第二段管路向阀门箱供应化学物品，阀门箱依据来自输入输出控制盘的反应信号的指示，将相应的化学物品提供给制程设备机台。从而避免了现有技术中出现的信号传输出现中断的问题，进而能够根据制程设备机台发出的需求信号正常的为制程设备机台提供所需化学物品。
[0030]实施例二[0031]参考图4，本实施例的提供化学物品的控制系统与实施例一相比，还包括一中央数据采集盘400，所述中央数据采集盘400与输入输出控制盘300和信号输入单元510连接。本实施例中，当制程设备机台100发出的需求信号通过所述阀门箱200传输至所述输入输出控制盘300之后，分成两路，一路传输至所述中央数据采集盘400，所述中央数据采集盘400再将需求信号传输至所述信号输入单元510，另一路直接传输至所述信号输入单元510。同理，所述信号输入单元510依据接收到的需求信号做出相应的反应，控制所述化学物品供应单元通过第二段管路向所述阀门箱200供应化学物品，所述阀门箱200再依据来自输入输出控制盘的相应反应信号打开所述阀门单元内的阀门并给所述制程设备机台100提供所需化学物品。
[0032]在本实施例中，所述化学物品供应系统500还包括一硬线故障报警单元(图未示)，所述硬线故障报警单元用以检测所述输入输出控制盘300和中央数据采集盘400是否传输信号至所述信号输入单元510。所述硬线故障报警单元与所述信号输入单元510相连，用于检测所述信号线700是否正常工作或出现故障。当所述制程设备机台100提出需求信号，经过所述阀门箱200和所述输入输出控制盘300之后，需求信号会有两条支路传输至所述信号输入单元510，一条支路是经由所述信号线700直接传输至所述信号输入单元510，另一条支路是经由所述中央数据采集盘400传输至所述信号输入单元510。若所述信号输入单元510只接收到经由所述中央数据采集盘400传输的信号，那么就说明所述信号线700出现了故障。此时所述硬线故障报警单元则会发出报警信号。
[0033]在本实施例中，当输入输出控制盘300与中央数据采集盘400之间的信号线、中央数据采集盘400与化学物品供应系统500之间的信号线、或者中央数据采集盘400其中任何一处出现故障时，制程设备机台100提出的需求信号可以通过所述信号线700传输至所述化学物品供应系统500，从而化学物品供应系统500依旧可以接收信号并为所述制程设备机台100提供所需的化学物品。由此可见，本实施例不仅仅可以有效的避免现有技术存在的问题，还能检测信号线700或数据收集器400是否处于正常状态，起到双重保护的作用。
[0034]本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。
[0035]以上仅为本发明的优选实施例而已，并不对本发明起到任何限制作用。任何所属【技术领域】的技术人员，在不脱离本发明的技术方案的范围内，对本发明揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本发明的技术方案的内容，仍属于本发明的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种提供化学物品的控制系统，包括:制程设备机台；与所述制程设备机台连接的阀门箱；与所述阀门箱连接的输入输出控制盘；以及化学物品供应系统；所述制程设备机台与阀门箱之间设置有第一段管路，所述阀门箱与化学物品供应系统之间设置有第二段管路；其特征在于，所述输入输出控制盘直接通过信号线与所述化学物品供应系统进行信号连接。
2.如权利要求1所述的提供化学物品的控制系统，其特征在于:所述阀门箱包括信号单元和阀门单元；所述信号单元与所述制程设备机台与所述输入输出控制盘连接，所述阀门单元与所述制程设备机台通过所述第一段管路连接，所述信号单元控制所述阀门单元中的阀门的开关。
3.如权利要求1所述的提供化学物品的控制系统，其特征在于:所述化学物品供应系统包括化学物品供应单元和信号输入单元，所述化学物品供应单元与所述阀门箱通过所述第二段管路连接，所述信号输入单元与所述输入输出控制盘通过信号线连接，所述信号输入单元控制所述化学物品供应单元供应化学物品。
4.如权利要求3所述的提供化学物品的控制系统，其特征在于:还包括一中央数据采集盘，与所述输入输出控制盘和所述信号输入单元连接。
5.如权利要求4所述的提供化学物品的控制系统，其特征在于:所述输入输出控制盘包括数据输出模块和继电器，所述数据输出模块与所述继电器连接。
6.如权利要求5所述的提供化学物品的控制系统，其特征在于:所述继电器与所述信号输入单元的信号端口通过一根信号线连接，所述继电器与所述信号输入单元的公共端口通过另一根信号线连接。
7.如权利要求4所述的提供化学物品的控制系统，其特征在于:所述化学物品供应系统还包括一硬线故障报警单元，所述硬线故障报警单元用以检测所述输入输出控制盘和中央数据采集盘是否传输信号至所述信号输入单元。
8.如权利要求3中所述的提供化学物品的控制系统，其特征在于:所述信号线为硬线。
9.如权利要求7所述的提供化学物品的控制系统，其特征在于:所述硬线为24V的信号线。
【文档编号】G05B19/04GK103792856SQ201210434971
【公开日】2014年5月14日 申请日期:2012年11月2日 优先权日:2012年11月2日
【发明者】张文武, 朱江宁, 刁春华, 周鹏 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司