腔体智能压力控制系统及其压力控制方法
【专利摘要】一种腔体智能压力控制系统，包括：腔体，为工艺制程腔室；氮气进气管路，通过第一阀门与腔体连接；排气管路，一端与腔体连接，另一端与外界排气阀门连接；压力传感器，设置在排气管路之临近外界排气阀门的一端，并用于检测外界排气阀门之排气压力；智能调节阀，设置在所述排气管路之介于腔体和压力传感器之间的过压管路段处；控制单元，接收来自压力传感器的压力检测信号，并控制智能调压阀之开度，以在设定时间范围内获得腔体的压力为760Torr。本发明通过在排气管路之临近外界排气阀门处设置压力传感器，并在排气管路之过压管路段处设置由控制单元控制的智能调压阀，使得腔体构成压力的闭环控制系统，进而可快速、精确的控制腔体之压力。
【专利说明】腔体智能压力控制系统及其压力控制方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体【技术领域】，尤其涉及一种腔体智能压力控制系统及其压力控制方法。
【背景技术】
[0002]目前，为保证产品质量，延长设备使用寿命，通常的在所述真空腔室完成一定工作周期后均需要进行例行保养维护。在进行保养维护时，需要破真空打开所述真空腔室；在完成保养维护后，需要关闭所述真空腔室，开启所述泵抽单元，并对设备进行漏率检查。
[0003]在进行所述漏率检查时，所述主机台软件会自动执行漏率检查的工艺条件。所述工艺条件完成后，对所述真空腔室进行十次循环吹扫，随后通入5000slm的氮气，并同时开启所述过压管路之阀门，将所述腔室的压力控制在760ΤΟΠ.。
[0004]但是，由于通入腔室并用于漏率检查的所述氮气流量较小，所述过压管路之阀门仅为全开方式，且外围的排气压力易于受到系统整体的压力升降而波动等因素的影响，导致所述过压管路的抽气量大于通入所述腔室的氮气流量，从而造成所述腔室压力在设定的时间内无法达到760ΤΟrr，进而引起所述机台报警，终止所述漏率检查作业。为了继续完成所述漏率检查作业，通常采用人工调整外围排气阀门，使得所述外围的排气压力减小，以保证通入所述腔室的氮气流量大于所述过压管路的抽气量，并控制所述腔室维持在760ΤΟrr，完成所述漏率检查作业。
[0005]明显地，采用人工方式通过调整外围排气阀门进而调整所述外围的排气压力，以维持腔室760ΤΟrr的漏率检查条件，不仅操作繁琐，而且因人的个体差异，对所述排气阀门的调整存在一定偏差，精准度不够，耗时费力。
[0006]故针对现有技术存在的问题，本案设计人凭借从事此行业多年的经验，积极研究改良，于是有了本发明一种腔体智能压力控制系统及其压力控制方法。
【发明内容】
[0007]本发明是针对现有技术中，传统的漏率检查作业采用人工方式通过调整外围排气阀门进而调整所述外围的排气压力，以维持腔室760ΤΟrr的漏率检查条件，不仅操作繁琐，而且因人的个体差异，对所述排气阀门的调整存在一定偏差，精准度不够，耗时费力等缺陷提供一种腔体智能压力控制系统。
[0008]本发明之又一目的是针对现有技术中，传统的漏率检查作业采用人工方式通过调整外围排气阀门进而调整所述外围的排气压力，以维持腔室760ΤΟrr的漏率检查条件，不仅操作繁琐，而且因人的个体差异，对所述排气阀门的调整存在一定偏差，精准度不够，耗时费力等缺陷提供一种腔体智能压力控制系统的压力控制方法。
[0009]为了解决上述问题，本发明提供一种腔体智能压力控制系统，所述腔体智能压力控制系统包括:腔体，所述腔体为工艺制程腔室；氮气进气管路，所述氮气进气管路通过所述第一阀门与所述腔体连接，并在漏率检查时通过所述氮气进气管路向所述腔体内输入氮气；排气管路，所述排气管路之一端与所述腔体连接，所述排气管路之另一端与所述外界排气阀门连接；压力传感器，所述压力传感器设置在所述排气管路之临近所述外界排气阀门的一端，并用于检测所述外界排气阀门之排气压力；智能调节阀，所述智能调节阀设置在所述排气管路之介于所述腔体和所述压力传感器之间的过压管路段处；控制单元，所述控制单元实时接收来自所述压力传感器的压力检测信号，并根据所述压力检测信号控制所述智能调压阀之开度，以在设定时间范围内获得所述腔体的压力为760ΤΟΠ.。
[0010]可选地，所述氮气进气管路进入所述腔体的氮气流量为500slm。
[0011]可选地，所述排气管路之过压管路段在当所述腔体内之压力大于大气压时，所述过压管路段之泄压阀自动开启，并对所述腔体进行泄压。
[0012]可选地，所述漏率检查作业，并通入氮气时，所述过压管路段之泄压阀自动开启，获得所述腔体的压力为760TO1T。
[0013]为实现本发明之又一目的，本发明提供一种腔体智能压力控制系统的压力控制方法，所述腔体智能压力控制系统的压力控制方法包括:
[0014]执行步骤S1:通过所述氮气进气管路向所述腔体内输入与氮气，所述氮气的流量为 500slm ；
[0015]执行步骤S2:所述排气管路之过压管路段的泄压阀开启，并通过所述压力传感器实时检测所述外界排气阀门处的排气压力，当所述外界排气阀门的排气压力增加时，所述压力传感器将所述检测信号反馈至所述控制单元；
[0016]执行步骤S3:所述控制单元控制所述智能调压阀之开度，使得所述排气的抽速减小，以保证流入所述腔体的氮气量大于所述排气的抽气量，从而在设定的时间内获得腔体压力为760Torr。
[0017]综上所述，本发明所述腔体智能压力控制系统通过在所述排气管路之临近所述外界排气阀门处设置所述压力传感器，并在所述排气管路之过压管路段处设置由控制单元控制的所述智能调压阀，使得所述腔体构成压力的闭环控制系统，进而可快速、精确的控制所述腔体之压力。
【专利附图】
【附图说明】
[0018]图1所示为本发明腔体智能压力控制系统的框架结构示意图。
【具体实施方式】
[0019]为详细说明本发明创造的技术内容、构造特征、所达成目的及功效，下面将结合实施例并配合附图予以详细说明。
[0020]请参阅图1，图1所示为本发明腔体智能压力控制系统的框架结构示意图。所述腔体智能压力控制系统1，包括:腔体11，所述腔体11为工艺制程腔室；氮气进气管路12，所述氮气进气管路12通过所述第一阀门121与所述腔体11连接，并在漏率检查时通过所述氮气进气管路12向所述腔体11内输入氮气；排气管路13，所述排气管路13之一端与所述腔体11连接，所述排气管路13之另一端与所述外界排气阀门14连接；压力传感器15，所述压力传感器15设置在所述排气管路13之临近所述外界排气阀门14的一端，并用于检测所述外界排气阀门14之排气压力；智能调节阀16，所述智能调节阀16设置在所述排气管路13之介于所述腔体11和所述压力传感器15之间的过压管路段131处；控制单元17，所述控制单元17实时接收来自所述压力传感器15的压力检测信号，并根据所述压力检测信号控制所述智能调压阀16之开度，以在设定时间范围内获得所述腔体11的压力为760ΤΟΠ.。[0021 ] 其中，在进行漏率检查作业时，通过所述氮气进气管路12进入所述腔体11的氮气流量为500slm。在本发明中，获得所述腔体11的压力760Torr之设定时间为本领域技术人员所掌握的常规技术手段，非本专利技术主张的范围。所述排气管路13之过压管路段131在当所述腔体11内之压力大于大气压时，所述过压管路段131之泄压阀(未图示)自动开启，并对所述腔体11进行泄压。在进行所述漏率检查作业，并通入氮气时，所述过压管路段131之泄压阀自动开启，获得所述腔体11的压力为760ΤΟΠ.。
[0022]为了更直观的揭露本发明之技术方案，凸显本发明之有益效果，现结合具体的实施方式为例进行阐述，【具体实施方式】中所涉及数值仅为列举，不应视为对本技术方案的限制。
[0023]请继续参阅图1，本发明所述腔体智能压力控制系统I在智能压力控制时，包括以下步骤:
[0024]执行步骤S1:通过所述氮气进气管路12向所述腔体11内输入与氮气，所述氮气的流量为500slm ；
[0025]执行步骤S2:所述排气管路13之过压管路段131的泄压阀开启，并通过所述压力传感器15实时检测所述外界排气阀门14处的排气压力，当所述外界排气阀门14的排气压力增加时，所述压力传感器15将所述检测信号反馈至所述控制单元17 ；
[0026]执行步骤S3:所述控制单元17控制所述智能调压阀16之开度，使得所述排气的抽速减小，以保证流入所述腔体11的氮气量大于所述排气的抽气量，从而在设定的时间内获得腔体压力为760Torr。
[0027]作为本领域技术人员，容易理解地，本发明所述腔体智能压力控制系统I通过在所述排气管路13之临近所述外界排气阀门14处设置所述压力传感器15，并在所述排气管路13之过压管路段131处设置由控制单元17控制的所述智能调压阀16，使得所述腔体11构成压力的闭环控制系统，进而可快速、精确的控制所述腔体11之压力。
[0028]综上所述，本发明所述腔体智能压力控制系统通过在所述排气管路之临近所述外界排气阀门处设置所述压力传感器，并在所述排气管路之过压管路段处设置由控制单元控制的所述智能调压阀，使得所述腔体构成压力的闭环控制系统，进而可快速、精确的控制所述腔体之压力。
[0029]本领域技术人员均应了解，在不脱离本发明的精神或范围的情况下，可以对本发明进行各种修改和变型。因而，如果任何修改或变型落入所附权利要求书及等同物的保护范围内时，认为本发明涵盖这些修改和变型。
【权利要求】
1.一种腔体智能压力控制系统，其特征在于，所述腔体智能压力控制系统包括: 腔体，所述腔体为工艺制程腔室； 氮气进气管路，所述氮气进气管路通过所述第一阀门与所述腔体连接，并在漏率检查时通过所述氮气进气管路向所述腔体内输入氮气； 排气管路，所述排气管路之一端与所述腔体连接，所述排气管路之另一端与所述外界排气阀门连接； 压力传感器，所述压力传感器设置在所述排气管路之临近所述外界排气阀门的一端，并用于检测所述外界排气阀门之排气压力； 智能调节阀，所述智能调节阀设置在所述排气管路之介于所述腔体和所述压力传感器之间的过压管路段处； 控制单元，所述控制单元实时接收来自所述压力传感器的压力检测信号，并根据所述压力检测信号控制所述智能调压阀之开度，以在设定时间范围内获得所述腔体的压力为760Torro.
2.如权利要求1所述的腔体智能压力控制系统，其特征在于，所述氮气进气管路进入所述腔体的氮气流量为500slm。
3.如权利要求1所述的腔体智能压力控制系统，其特征在于，所述排气管路之过压管路段在当所述腔体内之压力大于大气压时，所述过压管路段之泄压阀自动开启，并对所述腔体进行泄压。
4.如权利要求1所述的腔体智能压力控制系统，其特征在于，所述漏率检查作业，并通入氮气时，所述过压管路段之泄压阀自动开启，获得所述腔体的压力为760ΤΟrr。
5.一种如权利要求1所述的腔体智能压力控制系统的压力控制方法，其特征在于，所述腔体智能压力控制方法包括: 执行步骤S1:通过所述氮气进气管路向所述腔体内输入与氮气，所述氮气的流量为500slm ； 执行步骤S2:所述排气管路之过压管路段的泄压阀开启，并通过所述压力传感器实时检测所述外界排气阀门处的排气压力，当所述外界排气阀门的排气压力增加时，所述压力传感器将所述检测信号反馈至所述控制单元。
6.执行步骤S3:所述控制单元控制所述智能调压阀之开度，使得所述排气的抽速减小，以保证流入所述腔体的氮气量大于所述排气的抽气量，从而在设定的时间内获得腔体压力为760Torr。
【文档编号】G05D16/20GK103926945SQ201410138285
【公开日】2014年7月16日 申请日期:2014年4月8日 优先权日:2014年4月8日
【发明者】顾海龙, 裴雷洪, 严骏 申请人:上海华力微电子有限公司