技术特征：
技术总结
一种新型微流量气体质量流量控制器，包括进口盖、密封圈1、紧固件、弹簧、阀芯、套筒、钢球、密封圈2、顶杆和锁紧螺母。通过套筒与阀芯之间形成的4μm～10μm径向间隙构成节流环缝，当气态工质由进气口进入控制器后，通过该节流环缝实现微流量控制，实现特定压力下20μg/s～2mg/s微小流量的精确输出。本发明采用阀芯与阀套为孔轴配合，通过环缝实现节流控制，加工工艺简单，可靠性高，抗污染能力强。利用调节装置调节阀芯位置，调节范围大，能精确调节特定压力下控制器的流量输出。通过调节进口压力，流量输出范围变化大，流量控制范围可达100倍以上，可适用于系统多模式工作状态以及需要工质流量连续可变的场合。
技术研发人员：张曦;张鑫彬;郭加利;王玥;鲜亚平
受保护的技术使用者：上海航天控制技术研究所
技术研发日：2017.02.14
技术公布日：2017.07.04