一种混合气体浓度实时监控系统的制作方法

技术特征：

1.一种混合气体浓度实时监控系统，其特征在于，包括：

至少两个质量流量控制模块，用于输出不同质量流量的气体；

混合模块，用于将各个质量流量控制模块输出的不同质量流量的气体进行混合，得到混合气体；

增压模块，用于将混合气体进行增压；

检测模块，用于检测增压后的混合气体的浓度；

比例控制模块，用于判断混合气体的浓度是否满足设定浓度，并在不满足设定浓度时，下达控制命令给质量流量控制模块。

2.根据权利要求1所述的混合气体浓度实时监控系统，其特征在于，所述质量流量控制模块包括第一接收单元和质量流量控制器；

所述第一接收单元根据比例控制模块下达的控制命令，并将控制命令传输给质量流量控制器，所述质量流量控制器输出不同质量流量的气体给混合模块，并根据比例控制模块下达的控制命令调节输出气体的质量流量。

3.根据权利要求2所述的混合气体浓度实时监控系统，其特征在于，所述混合模块包括：

缓冲罐，用于将质量流量控制器输出的不同气体进行混合，得到混合气体；

压力传感器，用于测量缓冲罐中混合气体的压力；

比例调节阀，用于调节缓冲罐输出的混合气体的压力。

4.根据权利要求2所述的混合气体浓度实时监控系统，其特征在于，所述缓冲罐的第一输入端连接质量流量控制器的输出端，其第二输入端连接检测模块中第二单向阀的输出端；

所述压力传感器设置在缓冲罐的内壁上；

所述比例调节阀的输入端连接缓冲罐的输出端。

5.根据权利要求4所述的混合气体浓度实时监控系统，其特征在于，所述增压模块包括：

压缩机，用于将混合气体进行增压；

第一单向阀，用于将增压后的混合气体输出给检测模块或电气设备。

6.根据权利要求5所述的混合气体浓度实时监控系统，其特征在于，所述压缩机的输入端连接比例调节阀的输出端；

所述第一单向阀的输入端连接压缩机的输出端。

7.根据权利要求6所述的混合气体浓度实时监控系统，其特征在于，所述检测模块包括：

减压阀，用于将混合气体进行减压；

混合比检测仪，用于测量混合气体的浓度；

第二单向阀，用于将混合气体输出给缓冲罐；

第一发送单元，用于将混合比检测仪测量的混合气体的浓度发送给比例控制模块。

8.根据权利要求7所述的混合气体浓度实时监控系统，其特征在于，所述减压阀的输入端连接第一单向阀的输出端；

所述混合比检测仪的输入端连接减压阀的输出端，其第一输出端连接第一发送单元的输入端，其第二输出端连接第二单向阀的输入端；

所述第一发送单元的输出端连接质量流量控制器的输入端。

9.根据权利要求7所述的混合气体浓度实时监控系统，其特征在于，所述比例控制模块包括：

第二接收单元，用于接收第一发送单元发送的混合气体的浓度；

判断单元，用于判断混合气体的浓度是否满足设定浓度，若满足，第一单向阀输出的增压后的混合气体为标准混合气体；

第二发送单元，用于在混合气体的浓度不满足设定浓度时，下发控制命令给第一接收单元。

10.根据权利要求2或8所述的混合气体浓度实时监控系统，其特征在于，所述质量流量控制器的精度高于1％，且采用浮子流量计；

所述混合比检测仪的精度高于0.5％。