射频电源模拟控制器的制作方法

本发明涉及一种射频电源模拟控制器。

背景技术：

射频电源已经广泛运用到半导体芯片、液晶面板、太阳能、LED制造领域中。射频电源是整个制造设备中重要的部件之一。但装备厂商几乎全是国外公司，对设备控制方面进行严格的技术封锁，导致好多行业只会使用设备而不了解如何控制。更是由于射频电源工作频率高，输出功率大，作业环境苛刻容易出现故障与损坏。尤其要对射频电源进行故障分析与维修就更需要了解和掌握控制与测试方法，因此在这种情况下就要求操作人员和维修人员可以方便的控制射频电源，完成对基本信息的采集，给整体设备故障判断提供依据。目前由于机台商只提供操作手册，对射频电源控制不提供任何硬件装置，使用者和维修人员就只能通过模拟口简单的满足射频电源INTERLOCK(互锁装置)，通过外部供电和机械开关来实施简单控制，对输出模拟电压用万用表进行检测。以此来判断射频电源的基本输出性能。但是，采用人为满足INTERLOCK，通过外部供电和机械开关控制，万用表检测输出模拟量这个方法来实现控制射频电源，就会带来控制复杂、需要的设备很多、模拟量检测不能实时记录、反馈的状态不能实时监测以及检测结果不准确等诸多问题。

技术实现要素：

针对上述现有技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种可避免出现上述技术缺陷的射频电源模拟控制器，以方便使用和维修人员对射频电源操作和输出稳定性能的实时监测，为判断射频电源整体性能提供依据。

为了实现上述发明目的，本发明提供的技术方案如下：

一种射频电源模拟控制器，包括主控制板以及与主控制板相连接的SMPS、控制器件、外部输入端口、控制端口、报警指示器、状态切换开关、监测端口、监测设备、终端设备INTERLOCK和表头显示器，监测设备与监测端口相连接。

进一步地，监测设备为无纸记录仪。

进一步地，状态切换开关由自锁式机械开关构成。

进一步地，报警指示器包括蜂鸣器和指示灯。

进一步地，主控制板上集成有精准电压控制电路和射频电源输出状态切换电路。

进一步地，所述控制端口为25PIN端口。

本发明提供的射频电源模拟控制器，控制简单，需要的设备少，能实时记录模拟量检测结果，能实时监测反馈的状态，检测结果准确，能够方便地实时监测射频电源操作和输出稳定性能，为判断射频电源整体性能提供依据，可以很好地满足实际应用的需要。

附图说明

图1为本发明的结构框图；

图2为精准电压控制电路的电路图；

图3为射频电源输出状态切换电路的电路图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图和具体实施例对本发明做进一步说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1所示，射频电源模拟控制器，包括主控制板以及与主控制板相连接的SMPS(开关电源)、控制器件、外部输入端口、控制端口(25PIN)、报警指示器、状态切换开关、监测端口、监测设备、终端设备INTERLOCK和表头显示器。

控制端口(25PIN)用于连接射频电源。

监测设备与监测端口相连接。监测设备为无纸记录仪，对射频电源反馈的模拟量进行监测和存储，存储的数据也可以转存到PC上，方便进行数据观测和研判，并且可以在后期升级中采用PLC采样记录。

状态切换开关由自锁式机械开关构成，根据射频电源的不同状态或报警输出形式，配合主控制板上的光耦实现状态的切换。

报警指示器包括蜂鸣器和指示灯。

主控制板上集成有精准电压控制电路和射频电源输出状态切换电路。

精准电压控制电路的电路图如图2所示，由SMPS输出24V给LM317供电，电容C1、C2构成滤波稳压电路，将脉动电压变得平滑，其中电容作用是消除低频噪声。二极管D1是为了保护调压管，其中R1和R2是为高精度，低温漂金属膜电阻，根据公式Vout＝1.25v(1+R1/R2)+Iadj*R1，LM317输出为15.0V，R8电位器为限定最大输入电压，本电路限定值Vmax＝11V.R9为手动拨盘式电位调节器，方便使用者调节控制电压输出。LM7805输出5V电压为表头显示器供电，由于LM317最大耗散功率只有2W，因此在该电路设计中加上散热片可使耗散功率增至12W。

射频电源输出状态切换电路的电路图如图3所示，出当射频电源报“MAXPOWER”以高电平输出时，将开关S1拨至2，3脚为短接状态，此时由于光耦U1输入端一脚已经与地相连，光耦将处于开启状态，即光耦另一端处于低组态，这时指示灯D1就会亮起，蜂鸣器就会响起。这样就将高电平状态转换为低组态，满足控制器件接受低组态的条件。当射频电源内部出现报警时，1、2脚呈现出低电平，那么相应的1、2脚就会与GND导通，这时开关S1要拨至1，2脚导通，这样该电路就会对低电平状态做出响应，即将光耦BYPASS，那么D1就会亮起，蜂鸣器也就会响起。

本发明提供的射频电源模拟控制器，控制简单，需要的设备少，能实时记录模拟量检测结果，能实时监测反馈的状态，检测结果准确，能够方便地实时监测射频电源操作和输出稳定性能，为判断射频电源整体性能提供依据，可以很好地满足实际应用的需要。

以上所述实施例仅表达了本发明的实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。