技术特征：
技术总结
本发明提供了一种基于迭代调节的多自由度静电悬浮系统几何对称性逼近方法，该方法将平动‑转动多自由度系统视为多个独立平动自由度，并采用变预载电压法，对各个自由度对称性进行依次循环的迭代调节，只需要有限次迭代，便可实现将多自由度悬浮体调节至电极笼的几何对称中心。本发明可以克服多自由度间的耦合力的影响，整个过程可完全自动化实现，可普适于以静电悬浮技术为基础的高精度传感、超精密减振控制等领域，使系统具备自校准和环境适应能力，使系统保持在最佳工作点，从而能保证精密仪器和精密设备发挥出应有的性能。
技术研发人员：范达;贾海鹏
受保护的技术使用者：中国空间技术研究院
技术研发日：2017.12.28
技术公布日：2018.08.17