用于二硫化钼CVD设备的控制系统的制作方法

本实用新型涉及一种用于二硫化钼CVD设备的控制系统，属于控制系统技术领域。

背景技术：

现有二硫化钼CVD设备的控制系统用温控仪，或者模块来实现温度控制，送样系统是手动送样不智能，全是手动推动操作。界面是用操作系统PC机+通讯板卡+C#或者C++语言来实现，没有用工业级PLC以及触摸屏控制。由于CVD设备的控制系统用windows操作系统PC机+通讯板卡+C#或者C++语言来实现，系统稳定性不强，抗干扰能力差，程序难以维护程序修改复杂等，并且没有远程维护功能，不能对设备出现的问题工程师不在现场不能远程及时处理设备故障是个瓶颈。这种控制搭配不适合在设备控制上使用。

技术实现要素：

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种用于二硫化钼CVD设备的控制系统，解决了CVD设备系统的加热、进料、真空、进气的系统自动化控制，系统实时采集数据的功能，数据调用保存，远程维护操作监控功能，可靠性和稳定性高，抗干扰能力强，实现连续化作业，提高工作效率为目的。

按照本实用新型提供的技术方案，所述用于二硫化钼CVD设备的控制系统，其特征是：包括监控系统、加热系统、真空系统、送样系统、进气系统和远程控制系统；

所述加热系统包括工控系统、温度传感器和加热体，温度传感器采集加热体的温度反馈给工控系统，工控系统控制加热体；

所述真空系统包括工控系统、智能工度阀和真空泵，工控系统连接真空泵和智能开度阀，智能开度阀连接真空泵；

所述送样系统包括工控系统、丝杆、连接在丝杆上的进料装置以及控制丝杆转动以实现进料装置进料和出料的驱动装置；

所述进气系统包括工控系统和智能流量计，工控系统的控制端连接智能流量计，智能流量计的反馈端连接工控系统的输入端，通过工控系统和智能流量计来实现流量控制。

所述监控系统包括工控系统、数据采集网关、云服务器和终端，工控系统通过数据采集网关连接终端，终端连接云服务器，云服务器连接工控系统。

进一步地，所述加热系统还包括智能温控系统，工控系统与智能温控系统连接，加热体与智能温控系统连接，温度传感器采集加热体的温度并传输至智能温控系统。

进一步地，工控系统包括真空智能模块，真空智能模块用于控制智能开度阀。

进一步地，所述真空系统还包括智能真空传感器，工控系统与智能开度阀、智能真空传感器和真空泵连接，真空泵进行抽真空操作，智能真空传感器进行真空度的测量，工控系统根据真空度控制智能开度阀来实现真空压力控制。

进一步地，所述送样系统包括工控系统、步进电机或调整电机、丝杆和进料装置，工控系统通过速度控制器连接步进电机或调速电机，步进电机或调整电机的输出端连接丝杆，进料装置连接在丝杆上，左限位和右限位由工控系统控制用于限定进料装置的左右移动位置。

进一步地，所述送样系统包括工控系统、丝杆、进料装置和电机，工控系统控制电机，电机的输出端连接丝杆，进料装置螺纹配合在丝杆上，在丝杆的设置有左限位和右限位，左限位和右限位分别由工控系统控制。

进一步地，所述送样系统包括工控系统、气缸、气缸电磁阀、丝杆和进料装置，工控系统连接气缸电磁阀，气缸电磁阀连接气缸，气缸的输出端连接丝杆，丝杆上连接进料装置，进料装置的两侧设有左限位和右限位。

进一步地，所述工控系统包括PLC和触摸屏。

进一步地，所述加热体可以是电阻丝、加热管或者加热板。

进一步地，所述温度传感器为热电偶或热电阻。

本实用新型具有以下优点：本实用新型实现了二硫化钼CVD设备的自动化控制，实现了二硫化钼CVD设备远程维护控制需求，实现了二硫化钼CVD设备的自动化系统运行更稳定抗干扰能力强，本实用新型的控制系统用的领域很多是成熟的控制系统。

附图说明

图1-1为加热系统第一种方案的示意图。

图1-2为加热系统第二种方案的示意图。

图2-1为真空系统第一种方案的示意图。

图2-2为真空系统第二种方案的示意图。

图3-1为送样系统第一种方案的示意图。

图3-2为送样系统第二种方案的示意图。

图3-3为送样系统第三种方案的示意图。

图4为进气系统的示意图。

图5为监控系统的示意图。

具体实施方式

下面结合具体附图对本实用新型作进一步说明。

本实用新型所述用于二硫化钼CVD设备的控制系统，采用工控系统进行对二硫化钼CVD设备的系统自动化控制和远程操作，解决了CVD设备系统的加热、进料、真空、进气的系统自动化控制，系统实时采集数据的功能，数据调用保存，远程维护操作监控功能，可靠性和稳定性高，抗干扰能力强，实现连续化作业，提高工作效率。

本实用新型所述用于二硫化钼CVD设备的控制系统包括监控系统、加热系统、真空系统、送样系统、进气系统和远程控制系统。

所述加热系统有2种方案，第一种方案，如图1-1所示，加热系统包括工控系统、智能温控系统、加热体和温度传感器，工控系统与智能温控系统连接，加热体与智能温控系统连接，温度传感器采集加热体的温度并传输至智能温控系统。这种方式PID算法在智能温控系统里面实现，工控系统负责采集数据和简单的逻辑判断，并具有数据保存功能。

所述加热系统的第二种方案，如图1-2所示，包括工控系统、温度传感器和加热体，温度传感器采集加热体的温度反馈给工控系统，工控系统控制加热体形成闭环负反馈。

所述真空系统有2种方案，第一种方案，如图2-1所示，真空系统包括工控系统、智能开度阀、真空泵和智能真空传感器，工控系统与智能开度阀、智能真空传感器和真空泵连接，真空泵进行抽真空操作，智能真空传感器进行真空度的测量，工控系统根据真空度控制智能开度阀来实现真空压力控制。

所述真空系统的第二种方案，如图3-2所示，包括工控系统、智能工度阀和真空泵，工控系统连接真空泵和智能开度阀，智能开度阀连接真空泵；工控系统包括真空智能模块，真空智能模块用于控制智能开度阀以实现真空压力控制算法。

所述送样系统包括工控系统、丝杆、连接在丝杆上的进料装置以及控制丝杆转动以实现进料装置进料和出料的驱动装置，具体地送样系统有3种方案，第一种方案，如图3-1所示，送样系统包括工控系统、步进电机或调整电机、丝杆和进料装置，工控系统通过速度控制器连接步进电机或调速电机，步进电机或调整电机的输出端连接丝杆，进料装置连接在丝杆上，左限位和右限位由工控系统控制用于限定进料装置的左右移动位置。

所述送样系统的第二种方案，如图3-2所示，送样系统包括工控系统、丝杆、进料装置和电机，工控系统控制电机，电机的输出端连接丝杆，进料装置螺纹配合在丝杆上，在丝杆的设置有左限位和右限位，左限位和右限位分别由工控系统控制。

所述送样系统的第三种方案，如图3-3所示，包括工控系统、气缸、气缸电磁阀、丝杆和进料装置，工控系统连接气缸电磁阀，气缸电磁阀连接气缸，气缸的输出端连接丝杆，丝杆上连接进料装置，进料装置的两侧设有左限位和右限位。

所述进气系统，如图4所示，包括工控系统和智能流量计，工控系统的控制端连接智能流量计，智能流量计的反馈端连接工控系统的输入端，通过工控系统和智能流量计来实现流量控制。

所述监控系统，如图5所示，包括工控系统、数据采集网关、云服务器和终端，工控系统通过数据采集网关连接终端，终端连接云服务器，云服务器连接工控系统，终端采用手机或PC。所述监控系统可以用无线、有线网络、GPRS流理和工控系统进行通讯实现程序处理现场设备维修指导维护。

所述工控系统可以是PLC+触摸屏，也可以以是工控机+工控软件+PLC，或者其它形式的工业控制系统。

所述加热体可以是电阻丝，或者加热管或者加热板或者其他能通电发热的器件。

所述温度传感器可以是热电偶、热电阻或者能测量温度把温度信号变成电信号的器件。

所述智能真空传感器是一种能够检测把实际的真空管路真空度转换成电信号主要是数字信号的仪器。

所述真空泵是管路抽空用的。

所述智能开度阀是能够实现闭密效果好的蝶阀或者球阀或者挡板阀等。