废气处理方法及其系统、电子设备和存储介质与流程

本发明涉及废气处理，尤其涉及一种废气处理方法及其系统、电子设备和存储介质。

背景技术：

1、集成电路在生产与制造时，需要利用各种特种的气体实现工艺需求，例如：cf气体，cl2nf3等有害气体，由于这些气体具有毒性，酸性强等特点，因此不能直接排放，需要采用废气处理设备(local scrubber)进行处理后排放。其中，废气处理设备的基本原理为利用高温将气体化学键打开，然后与氧结合，形成氧化物后与水融合。目前，在废弃处理过程中，需要采用质量流量控制器(mass flow controller，mfc)对气体的质量流量进行精密测量和控制，从而导致废气处理成本高。

技术实现思路

1、本发明提供一种废气处理方法及其系统、电子设备和存储介质，用以解决废气处理成本高问题，通过多个电磁阀控制气体或液体的流量，实现流量的精准控制，同时降低了废气处理设备的成本。

2、本发明提供一种废气处理方法，包括：

3、获取燃烧流量的第一流量值；

4、根据所述第一流量值以及各个电磁阀的第二流量值，确定各个所述电磁阀的启停信息；

5、根据各个所述电磁阀的启停信息控制流量。

6、在一个实施例中，所述根据所述第一流量值以及各个电磁阀的第二流量值，确定各个所述电磁阀的启停信息，包括：

7、根据所述第一流量值与各个所述电磁阀的第二流量值，确定所述电磁阀的组合信息；

8、根据所述组合信息，确定各个所述电磁阀的启停信息。

9、在一个实施例中，确定各个所述电磁阀的第二流量值，包括：

10、获取各个所述电磁阀的流量调整指令；

11、根据所述流量调整指令调整各个所述电磁阀对应的调速阀，得到各个所述电磁阀的第二流量值。

12、在一个实施例中，所述根据各个所述电磁阀的启停信息控制流量之后，还包括：

13、获取各个所述电磁阀的第三流量值；

14、确定所述第三流量值超出设定流量范围，输出报警信息。

15、在一个实施例中，所述方法，还包括：

16、获取废气处理的流量控制精度；

17、根据所述流量控制精度配置所述电磁阀的数量。

18、本发明还提供一种废气处理装置，包括：处理器和多个电磁阀，所述电磁阀与所述处理器连接：

19、所述处理器基于燃烧流量的第一流量值以及各个所述电磁阀的第二流量值，向各个所述电磁阀发送控制指令；

20、所述电磁阀接收所述处理器发送的控制指令，根据所述控制指令执行开启操作或关闭操作，以控制流量。

21、在一个实施例中，废气处理系统还包括多个调速阀，每个所述调速阀与对应的所述电磁阀连接；

22、所述调速阀用于确定所述电磁阀的第二流量值。

23、在一个实施例中，废气处理系统还包括流量计，所述流量计与所述电磁阀连接；

24、所述流量计用于测量累计通过各个所述电磁阀的废气总量。

25、本发明还提供一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现如上述任一种所述废气处理方法。

26、本发明还提供一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述废气处理方法。

27、本发明提供的废气处理方法及其系统、电子设备和存储介质，通过获取燃烧流量的第一流量值；根据所述第一流量值以及各个电磁阀的第二流量值，确定各个所述电磁阀的启停信息；根据各个所述电磁阀的启停信息控制流量。本发明通过多个电磁阀控制气体或液体的流量，实现流量的精准控制，同时降低了废气处理设备的成本。

技术特征：

1.一种废气处理方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的废气处理方法，其特征在于，所述根据所述第一流量值以及各个电磁阀的第二流量值，确定各个所述电磁阀的启停信息，包括：

3.根据权利要求1所述的废气处理方法，其特征在于，确定各个所述电磁阀的第二流量值，包括：

4.根据权利要求1所述的废气处理方法，其特征在于，所述根据各个所述电磁阀的启停信息控制流量之后，还包括：

5.根据权利要求1所述的废气处理方法，其特征在于，所述方法，还包括：

6.一种废气处理系统，其特征在于，应用于上述权利要求1至5中任一项所述的废气处理方法，包括：处理器和多个电磁阀，所述电磁阀与所述处理器连接：

7.根据权利要求6所述的废气处理系统，其特征在于，废气处理系统还包括多个调速阀，每个所述调速阀与对应的所述电磁阀连接；

8.根据权利要求6所述的废气处理系统，其特征在于，废气处理系统还包括流量计，所述流量计与所述电磁阀连接；

9.一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述程序时实现如权利要求1至5任一项所述废气处理方法。

10.一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至5任一项所述废气处理方法。

技术总结
本发明涉及废气处理技术领域，提供一种废气处理方法及其系统、电子设备和存储介质，该方法包括：获取燃烧流量的第一流量值；根据所述第一流量值以及各个电磁阀的第二流量值，确定各个所述电磁阀的启停信息；根据各个所述电磁阀的启停信息控制流量。本发明通过多个电磁阀控制气体或液体的流量，实现流量的精准控制，同时降低了废气处理设备的成本。

技术研发人员：张坤
受保护的技术使用者：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12