气路界面显示示意图；
[0045] 图6为气路界面显示系统一具体实施例示意图。
【具体实施方式】
[0046]为使本发明技术方案更加清楚，W下结合附图及具体实施例对本发明做进一步详 细说明。
[0047] 参见图3, 一种气路界面显示方法，包括如下步骤：
[0048] 步骤S100,根据上位机所能配备的气体种类总数和下位机所需气体种类数，计算 步长参数，并在气路界面中第一路气体管路的位置显示所需气体种类中第一种气体的气体 管路信息。
[0049] 步骤S200,检测步长参数，当步长参数大于或等于预设值时，控制气路界面中气体 管路的位置W步长参数为间隔，均匀显示所需气体种类中其他气体的气体管路信息。
[0050] 本发明提供的气路界面显示方法一具体实施例，根据上位机所能配备的气体种类 总数和下位机所需气体种类数，计算步长参数。并根据下位机所需气体种类数，控制气路界 面W步长参数为间隔，自动均匀显示气体管路信息。其通过在下位机工艺腔室的通道增加 下位机通道，并由读取下位机通道标识的所需气体种类数，代替读取XML配置文件的过程， 有效减少了上位机存储XML配置文件的空间和读取XML配置文件的时间的浪费，同时根据 所需气体种类数，控制气路界面中的气体管路自动均匀排布，有效解决了现有的气路界面 边缘处的提示信息不能很好地起到提示作用的问题。
[0051] 需要说明的是，气体管路信息包括气路名称、气体流量和阀口等。
[0052] 其中，预设值的取值优选为2。当步长参数大于或等于2时，表明所需气体种类数 小于或等于所能配备的气体种类总数的一半，此时，控制气路界面中气体管路的位置W步 长参数为间隔，均匀显示所需气体种类中的各气体的气体管路信息，使得位于气路界面边 缘处的提示信息能够很好的起到提示作用。
[0053] 参见图4,作为本发明提供的气路界面显示方法的另一具体实施例，步骤S100中， 根据上位机所能配备的气体种类总数和下位机所需气体种类数，计算步长参数，包括如下 步骤：
[0054] 步骤S110,读取上位机所能配备的气体种类总数GasLineMax和所需气体种类数 GasLine_Num。
[00巧]步骤S120,根据
计算步长参数Interval。
[0056] 其中，步长参数Interval用于确定气路界面中气体管路显示的密集程度，通 过根据
计算步长参数 Interval,用于控制气路界面W步长参数Interval为间隔，自动均匀排布气体管路，在保 证气路界面边缘处的提示信息能够很好地起到提示作用的同时，使得气路界面更美观，显 示更为清晰。
[0057] 参见图4,作为本发明提供的气路界面显示方法的又一具体实施例，步骤S200包 括如下步骤：
[0058] 步骤S210,检测步长参数。判断步长参数是否大于或等于预设值2;若是，则执行 步骤S220 ;若否，则执行步骤S300。
[0059] 步骤S220,当步长参数大于或等于预设值时，控制气路界面中第1加步长参数路 气体管路的位置显示所需气体种类中第二种气体的气体管路信息。
[0060] 步骤S230,将N的值增大步长参数，将Μ的值增大1 ;其中，N为整数，且初始值为 1与步长参数之和；Μ为整数，初始值为2。
[0061] 步骤S240,控制气路界面中第Ν路气体管路的位置显示所需气体种类中第Μ种气 体的气体管路信息。
[0062] 作为一种可实施方式，当预设值的取值为2时，气路界面中第一路气体管路的位 置显示第一种气体（Gasl)的气体管路信息，包括气路名称、气体流量和阀口的打开程度 等。如，上位机配备的气体种类总数为16种，下位机通道标识的所需气体种类数为8种时， 计算出的步长参数等于2,即步长参数等于预设值。则首先控制气路界面中第1加步长参数 路气体管路的位置（即第Η路气体管路的位置）显示第二种气体的气体管路信息，然后将 气路界面中第Ν路气体管路的位置（GasLine)设置为Ν+步长参数（即Ν+2)，并控制表征 所需气体种类中气体个数的M(Gas)W1为间隔依次递增（即Gas++)，使得气路界面中第N 路气体管路的位置（GasLine)显示所需气体种类中第Μ种气体（Gas)的气体管路信息，即 气路界面中第五路气体管路的位置显示第Η种气体的气体管路信息，气路界面中第走路气 体管路的位置显示第四种气体的气体管路信息，气路界面中第九路气体管路的位置显示第 五种气体的气体管路信息，依此类推，最终，气路界面显示如图5所示。
[0063] 在此，需要说明的是，由于当检测到步长参数大于或等于预设值时，首先控制气路 界面中第1加步长参数路气体管路的位置显示第二种气体的气体管路信息（即GasLine= 1+Interval，Gas= 2)。因此当将第N路气体管路的位置设置为N+步长参数时，N的取值 应为整数，且初始值为1+步长参数，并且Μ的取值同样为整数，初始值为2。
[0064] 作为本发明提供的气路界面显示方法，步骤S200还包括如下步骤：
[0065] 步骤S250,检测气路界面中气体管路的位置是否显示全部所需气体种类的气体管 路信息。
[0066] 步骤S260,当气路界面中气体管路的位置未显示全部所需气体种类的气体管路信 息时，返回步骤S230,直至气路界面中气体管路的位置显示全部所需气体种类的气体管路 信息。
[0067] 通过检测气路界面中气体管路的位置是否显示全部所需气体种类，当气路界面中 气体管路的位置未显示全部所需气体种类的气体管路信息时，则返回执行步骤S230,继续 将Ν的值增大步长参数，将Μ的值增大1，控制气路界面中第Ν路气体管路的位置显示所需 其种类中第Μ种气体的气体管路信息，直至气路界面将所需气体种类中的全部气体的气体 管路信息显示出来。保证了气路界面显示信息的完整性，避免了显示信息不完整导致操作 人员判断失误的现象。同时，当检测到气路界面中气体管路的位置显示所需气体种类中全 部气体的气体管路信息时，结束程序，进行下一步操作即可。
[0068] 作为本发明提供的气路界面显示方法的再一具体实施例，还包括如下步骤：
[0069] 步骤S300,当步长参数小于预设值时，控制气路界面中气体管路的位置依次显示 所需气体种类中各气体的气体管路信息。
[0070] 作为一种可实施方式，预设值取值为2,当步长参数小于预设2时，表明所需气体 种类数超过上位机所能配备的气体种类总数的一半，此时，控制气路界面中气体管路的位 置按照原有顺序依次显示所需气体种类中全部气体的气体管路信息即可。
[0071] 相应的，基于同一发明构思，本发明还提供了一种气路界面显示系统，由于本发明 提供的气路界面显示系统的工作原理与气路界面显示方法原理相同或相似，因此重复之 处，不再赏述。
[0072] 参见图6,作为本发明提供的气路界面显示系统700 -具体实施例，包括下位机通 道（图中未示出）、计算控制模块710和检测处理模块720,其中：
[0073] 下位机通道，设置在下位机工艺腔室的通道中，用于标识工艺腔室的所需气体种 类数。
[0074] 计算控制模块710,用于根据上位机所能配备的气体种类总数和下位机所需气体 种类数，计算步长参数，并在气路界面中第一路气体管路的位置显示所需气体种类中第一 种气体的气体管路信息。
[0075] 检测处理模块720,用于检测步长参数，当步长参数大于或等于预设值时，控制气 路界面中气体管路的位置W步长参数为间隔，均匀显示所需气体种类中其他气体的气体管 路信息。
[0076] 作为本发明提供的气路界面显示系统的又一具体实施例，计算控制模块710包括 读取单元711和计算单元712,其中：
[0077] 读取单元711，用于读取上位机所能配备的气体种类总数和所需气体种类数。
[0078] 计算单元712,用于根据：
，计算步长参数。
[0079] 作为本发明提供的气路