界面显示系统另一具体实施例，检测处理模块720包括第 一检测单元721、第一控制单元722、第一设置单元723和第二控制单元724,其中：
[0080] 第一检测单元721，用于检测步长参数。
[0081] 第一控制单元722,用于当步长参数大于或等于预设值时，控制气路界面中第1加 步长参数路气体管路的位置显示所需气体种类中第二种气体的气体管路信息。
[0082] 第一设置单元723,用于将N的值增大步长参数，将Μ的值增大1 ;其中，N为整数， 且初始值为1与步长参数之和；Μ为整数，初始值为2。
[0083] 第二控制单元724,用于控制气路界面中第Ν路气体管路的位置显示所需气体种 类中第Μ种气体的气体管路信息。
[0084] 作为本发明提供的气路界面显示系统再一具体实施例，检测处理模块720还包括 第二检测单元725和第Η控制单元726,其中：
[0085] 第二检测单元725,用于检测气路界面中气体管路的位置是否显示全部所需气体 种类的气体管路信息。
[0086] 第Η控制单元726,用于当气路界面中气体管路的位置未显示全部所需气体种类 的气体管路信息时，返回执行第一设置单元723,直至气路界面中气体管路的位置显示全部 所需气体种类的气体管路信息。
[0087] 其中，还包括第二处理模块730,其中：
[0088] 第二处理模块730,用于当步长参数小于预设值时，控制气路界面中气体管路的位 置依次显示所需气体种类中各气体的气体管路信息。
[0089] 本发明提供的气路界面显示系统，通过在下位机工艺腔室的通道增加下位机通 道，用于标识所需气体种类数，并根据上位机所能配备的气体种类总数和下位机所需气体 种类数，计算步长参数。控制气路界面中气体管路的位置W步长参数为间隔，自动均匀排布 并显示所需气体种类的气体管路信息，减少了读取XML配置文件的环节，有效解决了现有 的气路界面显示方法中时间和空间上的浪费的问题。同时，使得气路界面边缘处的提示信 息能够很好地起到提示作用，气路界面显示更为清晰，美观。
[0090] W上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并 不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员 来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可W做出若干变形和改进，送些都属于本发明的保 护范围。因此，本发明专利的保护范围应w所附权利要求为准。
【主权项】
1. 一种气路界面显示方法，其特征在于，包括如下步骤： 步骤S100,根据上位机所能配备的气体种类总数和下位机所需气体种类数，计算步长 参数，并在气路界面中第一路气体管路的位置显示所需气体种类中第一种气体的气体管路 信息； 步骤S200,检测所述步长参数，当所述步长参数大于或等于预设值时，控制所述气路界 面中气体管路的位置以所述步长参数为间隔，均匀显示所述所需气体种类中其他气体的所 述气体管路信息。2. 根据权利要求1所述的气路界面显示方法，其特征在于，所述预设值的取值为2。3. 根据权利要求2所述的气路界面显示方法，其特征在于，所述步骤S200包括如下步 骤： 步骤S210,检测所述步长参数； 步骤S220,当所述步长参数大于或等于所述预设值时，控制所述气路界面中第1加 所述步长参数路气体管路的位置显示所述所需气体种类中第二种气体的所述气体管路信 息； 步骤S230,将N的值增大所述步长参数，将Μ的值增大1 ;其中，N为整数，且初始值为 1与所述步长参数之和；Μ为整数，初始值为2 ; 步骤S240,控制所述气路界面中所述第Ν路气体管路的位置显示所述所需气体种类中 第Μ种气体的所述气体管路信息。4. 根据权利要求3所述的气路界面显示方法，其特征在于，所述步骤S200还包括如下 步骤： 步骤S250,检测所述气路界面是否显示全部所述所需气体种类的所述气体管路信息； 步骤S260,当所述气路界面未显示全部所述所需气体种类的所述气体管路信息时，返 回执行所述步骤S230,直至所述气路界面显示全部所述所需气体种类的所述气体管路信 肩、。5. 根据权利要求1至4任一项所述的气路界面显示方法，其特征在于，所述步骤S100 包括如下步骤： 读取所述上位机所能配备的所述气体种类总数和所述所需气体种类数； 根据，计算所述步长参数。6. 根据权利要求5所述的气路界面显示方法，其特征在于，还包括如下步骤： 检测所述步长参数，当所述步长参数小于所述预设值时，控制所述气路界面中所述气 体管路的位置依次显示所述所需气体种类中各气体的所述气体管路信息。7. -种气路界面显示系统，其特征在于，包括下位机通道、计算控制模块和检测处理模 块，其中： 所述下位机通道，设置在下位机工艺腔室的通道中，用于标识工艺腔室的所需气体种 类数； 所述计算控制模块，用于根据上位机所能配备的气体种类总数和下位机所需气体种类 数，计算步长参数，并在气路界面中第一路气体管路的位置显示所需气体种类中第一种气 体的气体管路信息； 所述检测处理模块，用于检测所述步长参数，当所述步长参数大于或等于预设值时，控 制所述气路界面中气体管路的位置以所述步长参数为间隔，均匀显示所述所需气体种类中 其他气体的所述气体管路信息。8. 根据权利要求7所述的气路界面显示系统，其特征在于，所述检测处理模块包括第 一检测单元、第一控制单元、第一设置单元和第二控制单元，其中： 所述第一检测单元，用于检测所述步长参数； 所述第一控制单元，用于当所述步长参数大于或等于所述预设值时，控制所述气路界 面中第1加所述步长参数路气体管路的位置显示所述所需气体种类中第二种气体的所述 气体管路信息； 所述第一设置单元，用于将N的值增大所述步长参数，将Μ的值增大1 ;其中，N为整数， 且初始值为1与所述步长参数之和；Μ为整数，初始值为2 ; 所述第二控制单元，用于控制所述气路界面中所述第Ν路气体管路的位置显示所述所 需气体种类中第Μ种气体的所述气体管路信息。9. 根据权利要求8所述的气路界面显示系统，其特征在于，所述检测处理模块还包括 第二检测单元和第三控制单元，其中： 所述第二检测单元，用于检测所述气路界面是否显示全部所述所需气体种类的所述气 体管路信息； 所述第三控制单元，用于当所述气路界面未显示全部所述所需气体种类的所述气体管 路信息时，返回执行所述第一设置单元，直至所述气路界面显示全部所述所需气体种类的 所述气体管路信息。10. 根据权利要求7至9任一项所述的气路界面显示系统，其特征在于，所述计算控制 模块包括读取单元和计算单元，其中：所述读取单元，用于读取所述上位机所能配备的所述气体种类总数和所述所需气体种 类数； 所述计算单元，用于根据： ，计算所述步长参数。11. 根据权利要求10所述的气路界面显示系统，其特征在于，还包括第二处理模块，其 中： 所述第二处理模块，用于当所述步长参数小于所述预设值时，控制所述气路界面中所 述气体管路的位置依次显示所述所需气体种类中各气体的所述气体管路信息。
【专利摘要】本发明公开了一种气路界面显示方法和系统，其中方法包括如下步骤：步骤S100，根据上位机所能配备的气体种类总数和下位机所需气体种类数，计算步长参数，并在气路界面中第一路气体管路的位置显示所需气体种类中第一种气体的气体管路信息；步骤S200，检测步长参数，当步长参数大于或等于预设值时，控制气路界面中气体管路的位置以步长参数为间隔，均匀显示所需气体种类中其他气体的气体管路信息。其通过在下位机工艺腔室的通道增加下位机通道，并读取下位机通道显示的所需气体种类数，减少了上位机存储并读取XML配置文件的空间和时间的浪费，有效解决了现有的气路界面边缘处的提示信息不能很好地起到提示作用的问题。
【IPC分类】H01L21/67, G05B19/418
【公开号】CN105446275
【申请号】CN201410393050
【发明人】李兰晓
【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
【公开日】2016年3月30日
【申请日】2014年8月12日