触控装置的制作方法

文档序号:13014212阅读:208来源:国知局
技术领域
本发明涉及触控装置,且特别是涉及触控装置中的接触孔。


背景技术:

现今的触控装置通常具有触控电极,以及与其电连接的走线(trace)于基
板上。走线可电连接至接垫组,而接垫组可再电连接至外部电路如软式电路
板(flexiblecircuitboard),使外部电路的电流或信号能经由接垫组与走线传递
至触控电极,促使触控装置运作。
现有技术中,上述不同单元之间的电连接多经由接触孔,而形成接触孔
的蚀刻制作工艺往往残留蚀刻品于接触孔底部的角落,造成过蚀刻等问题。
另一方面,接触孔顶部的角落夹角过小(比如小于或等于90度)也会造成尖端
放电等问题。综上所述,目前亟需新的接触孔以解决上述问题。


技术实现要素:

为解决上述问题,本发明一实施例提供的触控装置,包括:基板;触控
电极,位于基板上;绝缘层,位于触控电极上,其中绝缘层具有第一接触孔
露出部分触控电极的末端;以及走线,位于绝缘层上并经由第一接触孔电连
接至触控电极的末端;其中第一接触孔的角落具有第一边缘、第二边缘、以
及第三边缘,第二边缘位于第一边缘与第三边缘之间,且第一边缘的延伸线、
第二边缘、与第三边缘的延伸线围成的第一面积大于0。
本发明一实施例提供的触控装置,包括:基板;触控电极,位于基板上;
绝缘层,位于触控电极上,其中绝缘层具有第一接触孔露出部分触控电极的
末端;以及走线,位于绝缘层上并经由第一接触孔电连接至触控电极的末端,
其中第一接触孔的角落具有第一边缘、第二边缘、以及第三边缘,第二边缘
位于第一边缘与第三边缘之间,其中第一边缘与第二边缘的第一夹角大于90
度,且第二边缘与该第三边缘的第二夹角大于90度。
附图说明
图1A至图1D为本发明一实施例中的触控装置的制作工艺俯视图。
图2A-图2D分别为图1A-图1D中的剖线A-A的剖视图;
图3A至图3E为本发明一实施例中的触控装置的制作工艺俯视图;
图4A-图4E分别为图3A-图3E中的剖线A-A的剖视图;
图5A-图5C为本发明一实施例中的第一接触孔的俯视图;
图6为本发明一实施例中的第二接触孔的俯视图。
符号说明
α第一夹角
β第二夹角
A截面的面积
A’第一面积
A-A剖线
BM黑色矩阵
D方向
10基板
11A、13A触控电极
11B、13B连接电极
15、16绝缘层
17A第一接触孔
17B第二接触孔
19A走线
171第一边缘
173第二边缘
175第三边缘
具体实施方式
图1A-图1D为本发明一实施例中,触控装置的制作工艺俯视图。图2A-
图2D分别为图1A-图1D中的剖线A-A的剖视图。如图1A与图2A所示,
先形成黑色矩阵BM于基板10上,再形成触控电极11A与13A及连接电极
13B于基板10上。同一行的触控电极13A之间,具有连接电极13B相连。

触控电极11A各自独立而彼此不相连,且未接触触控电极13A与连接电极
13B。虽然下述实施例及附图中,触控电极11A与13A为面积相同的菱形,
但应理解触控电极也可采用其他形状如三角形、四角形、六角形、或其他可
能的形状,且不一定面积相同,端视需要而定。在本发明一实施例中,基板
10可为玻璃或塑胶。在本发明一实施例中,黑色矩阵BM可为黑色树脂,
其形成方法可为溅镀或印刷。在本发明一实施例中,触控电极11A与13A
与连接电极13B可为透明导电材料如铟锡氧化物(ITO),其形成方法可为溅
镀或网印。
接着如图1B与图2B所示,形成绝缘层15于基板10、黑色矩阵BM、
触控电极11A与13A、以及连接电极13B上。绝缘层15的材质可为无机材
料,例如氧化硅或氮化硅,或是有机材料,例如光致抗蚀剂,其形成方法可
为化学气相沉积制作工艺、物理气相沉积制作工艺、或溅镀。
接着如图1C与图2C所示,形成第一接触孔17A穿过黑色矩阵BM上
的触控电极11A的末端上的绝缘层15,以及形成第二接触孔17B穿过触控
电极11A两侧上的绝缘层15。形成第一接触孔17A与第二接触孔17B的方
法可为光刻与蚀刻制作工艺。一般而言,第一接触孔17A与第二接触孔17B
的侧视形状可为上宽下窄的倒梯形、上下一样宽的矩形、或上窄下宽的梯形。
关于第一接触孔17A与第二接触孔17B的俯视形状,将详述于后。
接着如图1D与图2D所示,形成走线19A与连接电极11B。在本发明
一实施例中,走线19A与连接电极11B可为金属如银、铜、铝、上述的合
金、或上述的多层结构,其形成方法可为溅镀或网印。如图2D所示,走线
19A位于绝缘层15上并经由第一接触孔17A电连接触控电极11A的末端。
连接电极11B位于绝缘层15上,并经由第二接触孔17B电连接相邻的触控
电极11A,使同一列的触控电极11A电性相连。
上述走线19A可进一步连接至接垫(未图示)以电连接至外部电路。可以
理解的是,触控电极13A也可采用上述接触孔与走线的设计,以电连接至接
垫与外部电路。上述触控装置可整合至显示装置,以形成触控显示装置。
图3A-图3E为本发明一实施例中,触控装置的制作工艺俯视图。图4A-
图4E分别为图3A-图3E中的剖线A-A的剖视图。如图3A与图4A所示,
先形成黑色矩阵BM于基板10上,再形成触控电极13A与连接电极13B。
同一行的触控电极13A之间以连接电极13B相连。基板10、黑色矩阵BM、

触控电极13A、与连接电极13B的材质与形成方法,与前述实施例类似而不
赘述。
接着如图3B与图4B所示,形成绝缘层15于基板10、黑色矩阵BM、
触控电极13A、与连接电极13B上。绝缘层15的材质与形成方法,与前述
实施例类似而不赘述。
接着如图3C与图4C所示,形成触控电极11A与连接电极11B于绝缘
层15上。同一列的触控电极11A之间以连接电极11B相连,且触控电极11A
的末端位于黑色矩阵BM上。触控电极11A与连接电极11B的材质与形成
方法,与触控电极13A与连接电极13B的材质与形成方法类似而不赘述。
接着如图3D与图4D所示,形成绝缘层16于绝缘层15、触控电极11A、
与连接电极11B上。绝缘层16的材质与形成方法,与绝缘层15的材质与形
成方法类似而不赘述。此外,定义第一接触孔17A以露出黑色矩阵BM上触
控电极11A的末端。第一接触孔17A的形成方法与前述实施例类似而不赘
述。
接着如图3E与图4E所示,形成走线19A。走线19A的材质与形成方
法与前述实施例类似而不赘述。如图3E所示,走线19A位于绝缘层15上
并经由第一接触孔17A电连接触控电极11A的末端。同样地,上述走线19A
也可进一步连接至接垫(未图示)以电连接至外部电路。可以理解的是,触控
电极13A也可采用上述第一接触孔与走线的设计,以电连接至接垫与外部电
路。上述触控装置可整合至显示装置,以形成触控显示装置。
图5A为本发明一实施例中,第一接触孔17A的俯视图。在本发明一实
施例中,图5A为第一接触孔17A的底部垂直于基板方向D的截面。在本发
明另一实施例中,图5A为第一接触孔17A的顶部垂直于基板方向D的截面。
在本发明其他实施例中,图5A为第一接触孔17A的顶部与底部之间任一处
垂直于基板方向D的截面。
图5B进一步说明图5A的第一接触孔17A。如图5B所示,第一接触孔
17A的角落由第一边缘171、第二边缘173、与第三边缘175所组成。第二
边缘173位于第一边缘171与第三边缘175之间。第一接触孔17A垂直于基
板方向D的截面的面积为A。而第一边缘171的延伸线、第二边缘173、与
第三边缘175的延伸线围成的第一面积为A’,A’大于0。在本发明一实施例
中,第一面积A’与截面的面积A的比例介于0.4%至0.8%之间。若第一面积

A’过大,则造成接触阻抗过大。若第一面积A’过小,则容易有蚀刻液残留。
如图5B所示,第一边缘171与第二边缘173的第一夹角α大于90度,
且第二边缘173与第三边缘175的第二夹角β也大于90度。在本发明一实施
例中,第一夹角α与第二夹角β的总合为270度,且第一夹角α与第二夹角β
各自大于90度且小于180度。若图5B为第一接触孔17A的底部,则上述
第一夹角α与第二夹角β可避免蚀刻液残留于第一边缘171与第二边缘173
之间(或第二边缘173与第三边缘175之间)。若图5B为第一接触孔17A的
顶部,则上述第一夹角α与第二夹角β可避免尖端放电。
在本发明一实施例中,第二边缘173为线性如图5B所示。在本发明另
一实施例中,第二边缘173为弧形如图5C所示。不论第二边缘173为线状
或弧形,均可避免蚀刻液残留或尖端放电的问题。
图6为本发明一实施例中,第二接触孔17B垂直于基板方向D的截面。
同样地,图6可为第二接触孔17B的顶部、底部、或介于顶部或顶部之间任
一处垂直于基板方向D的截面。第二接触孔17B的角落的第四夹角及第五
夹角,第四边缘的延伸线及第五边缘与第六边缘的延伸线围成的第二面积,
第二面积大于0与第二接触孔截面的面积的比例、以及弧形边缘等变化,均
与图5A-图5C的第一接触孔17A类似而不赘述。
虽然在图5A-图5C与图6中,第一接触孔17A与第二接触孔17B仅有
一角落具有截角,但应理解的是接触孔可具有更多截角,比如四个角落均具
有第一边缘171、第二边缘173、与第三边缘175。
虽然结合以上数个实施例公开了本发明,然而其并非用以限定本发明。
任何熟悉此技术者,在不脱离本发明的精神和范围内,可作任意的更动与润
饰,因此本发明的保护范围应当以附上的权利要求所界定的为准。
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