静电电容式传感器的制作方法

本发明涉及静电电容式传感器，尤其涉及在形成于基材的电极的两侧引出有配线部、且两侧的配线部彼此在非检测区域电连接的静电电容式传感器。

背景技术

在专利文献1中公开了在形成于基材的多个透明电极的两侧引出有配线部、且两侧的配线部彼此在位于输入区域的周围的周边区域电连接的静电电容式输入装置。专利文献1所记载的多个透明电极经由连结部而电连接。根据专利文献1所记载的静电电容式输入装置，即使为例如搭载于车载导航装置的车载用的传感器等那样配置在较大区域的静电电容式传感器，也能够降低电阻，缩短电荷的充电时间。因此，能够相对于坐标输入、手势操作而得到良好的响应性。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-210938号公报

技术实现要素：

发明所要解决的课题

但是，例如在制造工序等中，若发生esd(electrostaticdischarge：静电放电)，则有时在连结部流通有由esd产生的电流。于是，在连结部产生局部的热膨胀以及热收缩中的至少一方，有时在连结部产生导致断线的破坏。

若在输入区域的中央部以外(例如端部)配置的将多个透明电极电连接的连结部断线，则连结部的断线有时会对静电电容式输入装置的检测动作造成影响。即，当在输入区域的中央部以外(例如端部)配置的连结部断线时，在断线的连结部的两侧配置的透明电极以及连结部的电阻值彼此不同。具体而言，电连接的透明电极以及连结部的数量相对较少的一侧(连接的长度相对较短的一侧)的电阻值相对较小。另一方面，电连接的透明电极以及连结部的数量相对较多的一侧(连接的长度相对较长的一侧)的电阻值相对较大。

于是，电荷的充电时间在断线的连结部的两侧彼此不同。具体而言，电连接的透明电极以及连结部的数量相对较少的一侧(连接的长度相对较短的一侧)的电荷的充电时间相对较短。另一方面，电连接的透明电极以及连结部的数量相对较多的一侧(连接的长度相对较长的一侧)的电荷的充电时间相对较长。

因此，当在输入区域的中央部以外配置的连结部断线时，静电电容式输入装置的响应性即时间常数在断线的连结部的两侧彼此不同。这样，当在输入区域的中央部以外配置的连结部断线时，在断线的连结部的两侧产生时间常数的不均衡。由此，由esd导致的连结部的断线有时会对静电电容式输入装置的检测动作造成影响。

本发明用于解决上述以往的课题，其目的在于提供能够抑制由esd导致的连结部的断线对检测动作造成的影响的静电电容式传感器。

用于解决课题的方案

在一方式中，本发明的静电电容式传感器的特征在于，具备：基材，其具有透光性；电极连结体，其具有在所述基材的检测区域沿规定方向排列配置且具有透光性的多个透明电极；第一配线部，其在所述检测区域的外侧的非检测区域延伸设置，且与所述电极连结体的一个端部电连接；第二配线部，其在所述检测区域的外侧的非检测区域延伸设置，且与所述电极连结体的另一个端部电连接；中央连结部，其在所述规定方向上将在所述检测区域的中央部配置的所述多个透明电极电连接；以及周边连结部，其在所述规定方向上将在所述中央部以外配置的所述多个透明电极电连接，所述第一配线部与所述第二配线部在所述非检测区域相互电连接，所述中央连结部的电阻值比所述周边连结部的电阻值高。

在上述的静电电容式传感器中，同具有多个透明电极的电极连结体的一个端部电连接的第一配线部与同电极连结体的另一个端部电连接的第二配线部在非检测区域电连接。另外，在多个透明电极排列的规定方向上将在检测区域的中央部配置的多个透明电极电连接的中央连结部的电阻值比在规定方向上将在中央部以外配置的多个透明电极电连接的周边连结部的电阻值高。

由此，由于esd而在中央连结部产生的电压降低量比由于esd而在周边连结部产生的电压降低量大。因此，由于esd而在中央连结部产生的热量比由于esd而在周边连结部产生的热量大。因此，当发生esd时，与周边连结部相比，中央连结部容易优先断线。即，能够使由于esd而产生的断线集中于中央连结部。

中央连结部位于远离第一配线部以及第二配线部双方的位置。另外，与周边连结部相比，电流不易在中央连结部流动。因此，即使在中央连结部未断线的状态下，电荷向与中央连结部的一端连接的透明电极的补充主要从第一配线部侧进行，电荷向与中央连结部的另一端连接的透明电极的补充主要从第二配线部侧进行。因此，即使发生esd而使中央连结部断线，电荷向与中央连结部的两端连接的两个透明电极的补充的过程并未发生较大变化。换言之，与中央连结部的两端连接的两个透明电极的时间常数无论中央连结部断线还是未断线都不存在较大差异。因此，通过设为由esd引起的断线集中于中央连结部这样的结构，能够抑制esd对静电电容式传感器的检测动作造成的影响。

另外，中央连结部的电阻值比周边连结部的电阻值高，因此在由esd引起的断线集中于中央连结部这样的结构中，在因某种原因而使周边连结部断线的情况下，与断线的周边连结部连接的透明电极的时间常数与其他透明电极的时间常数相比变得非常高。即，与断线的周边连结部连接的第二透明电极的时间常数成为特征点。因此，即使在例如制造工序中发生由esd导致的周边连结部的断线的情况下，也能够容易在制造工序中检测到周边连结部的断线。

在上述的静电电容式传感器中，也可以为，所述中央连结部的宽度比所述周边连结部的宽度细。在该情况下，在形成中央连结部以及周边连结部的工序中，能够比较容易地使中央连结部的电阻值比周边连结部的电阻值高。因此，能够比较容易地抑制由esd导致的连结部的断线对静电电容式传感器的检测动作造成的影响。

在上述的静电电容式传感器中，也可以为，所述中央连结部的厚度比所述周边连结部的厚度薄。在该情况下，在形成中央连结部以及周边连结部的工序中，也能够比较容易地使中央连结部的电阻值比周边连结部的电阻值高。因此，能够比较容易地抑制由esd导致的连结部的断线对静电电容式传感器的检测动作造成的影响。

在上述的静电电容式传感器中，也可以为，所述中央连结部包含具有比形成所述周边连结部的材料的电阻率高的电阻率的材料。在该情况下，并非通过中央连结部以及周边连结部的形状，而是通过形成中央连结部以及周边连结部的材料使中央连结部的电阻值比周边连结部的电阻值高。因此，能够更加可靠地抑制由esd导致的连结部的断线对静电电容式传感器的检测动作造成的影响。

发明效果

根据本发明，提供能够抑制由esd导致的连结部的断线对检测动作造成的影响的静电电容式传感器。

附图说明

图1是示出本实施方式所涉及的静电电容式传感器的俯视图。

图2是示意性地示出本实施方式所涉及的静电电容式传感器的剖视图。

图3是示出本实施方式的设置于基材的电极的结构的俯视图。

图4是图3所示的切断面c1-c1处的剖视图。

图5是图3所示的切断面c2-c2处的剖视图。

图6是例示本实施方式的中央连结部断线的情况的俯视图。

图7是例示本实施方式的周边连结部断线的情况的俯视图。

图8是示出第二透明电极的时间常数的图表。

图9是例示比较例的周边连结部断线的情况的俯视图。

图10是对另一实施方式的第二连结部进行说明的剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。需要说明的是，在各附图中，对同样的构成要素标注相同的附图标记并适当省略详细的说明。

图1是示出本实施方式所涉及的静电电容式传感器的俯视图。

图2是示意性地示出本实施方式所涉及的静电电容式传感器的剖视图。

图3是示出本实施方式的设置于基材的电极的结构的俯视图。

图4是图3所示的切断面c1-c1处的剖视图。

图5是图3所示的切断面c1-c1处的剖视图。

需要说明的是，透明电极是透明的因此原本无法被观察到，但在图1以及图3中为了易于理解而示出了透明电极的外形。

本申请说明书中的“透明”以及“透光性”是指可见光线透过率为50％以上(优选为80％以上)的状态。并且，优选雾度值为6％以下。本申请说明书中的“遮光”以及“遮光性”是指可见光线透过率小于50％(优选为小于20％)的状态。

如图1以及图2所示，本实施方式所涉及的静电电容式传感器1具备基材2、光学透明粘合层30、以及面板3。如图2所示，基材2、光学透明粘合层30以及面板3依次层叠。即，光学透明粘合层30设置在基材2与面板3之间。在静电电容式传感器1的制造工序中，基材2以及面板3各自的外侧的主面例如由保护片43等覆盖。

基材2具有透光性，由聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet)等薄膜状的透明基材、玻璃基材等形成。在基材2的一个主面设置有透明电极等。对于其详细情况，后文叙述。面板3具有透光性。面板3的材料并不特别限定。作为面板3的材料，优选应用玻璃基材、塑料基材。面板3经由设置在基材2与面板3之间的光学透明粘合层(oca；opticalclearadhesive)30而与基材2接合。光学透明粘合层(oca)30由丙烯酸系粘合剂、两面粘合带等构成。

如图1所示，在从沿着面板3侧的表面的法线的方向(z1-z2方向)观察时，静电电容式传感器1包括检测区域11和非检测区域25。检测区域11是能够通过手指f等操作体进行操作的区域，非检测区域25是位于检测区域11的外周侧的边框状的区域。非检测区域25被在面板3的主面设置的装饰层14(参照图2)遮光，从静电电容式传感器1的面板3侧的表面朝向基材2侧的表面的光(例示外部光)以及从基材2侧的表面朝向面板3侧的表面的光(例示来自与静电电容式传感器1组合使用的显示装置的背光装置的光)不易透过非检测区域25。

如图1、图3、图4(图3所示的切断面c1-c1处的剖视图)以及图5(图3所示的切断面c2-c2处的剖视图)所示，在基材2的一个主面设置有第一电极连结体8、以及第二电极连结体12。第一电极连结体8配置于检测区域11，具有多个第一透明电极4。参照图3且如图5所示，多个第一透明电极4设置于基材2的将沿着z1-z2方向的方向设为法线的主面中的位于z1侧的主面(以下，有时简称为“正面”)2a。各第一透明电极4经由细长的第一连结部7而在y1-y2方向(第一方向)上连结。而且，具有在y1-y2方向上连结的多个第一透明电极4的第一电极连结体8在x1-x2方向上隔开间隔地排列。第一连结部7与第一透明电极4形成为一体。

第一透明电极4以及第一连结部7由ito(indiumtinoxide)等透明导电性材料通过溅射、蒸镀等而形成。作为透明导电性材料，除ito以外，可以列举以银纳米线为代表的金属纳米线、形成为网格状的薄金属、或者导电性聚合物等。上述情况对于后述的透明导电性材料也是同样的。

第二电极连结体12配置于检测区域11，具有多个第二透明电极5。参照图3且如图4所示，多个第二透明电极5设置于基材2的正面2a。这样，第二透明电极5设置在与第一透明电极4相同的表面(基材2的正面2a)。如图4以及图5所示，各第二透明电极5经由细长的第二连结体10而在x1-x2方向(第二方向)上连结。而且，具有在x1-x2方向上连结的多个第二透明电极5的第二电极连结体12在y1-y2方向上隔开间隔地排列。第二连结部10与第二透明电极5形成为分体构件。需要说明的是，x1-x2方向与y1-y2方向交叉。例如，x1-x2方向与y1-y2方向垂直地相交。

第二透明电极5由ito等透明导电性材料通过溅射、蒸镀等而形成。第二连结部10由ito等透明导电性材料形成。或者，第二连结体10也可以具有含有ito等透明导电性材料的第一层、以及电阻比第一层低且由透明的金属构成的第二层。在第二连结体10具有第一层和第二层这样的层叠结构的情况下，第二层优选由从由au、au合金、cuni以及ni构成的组中选出的任一方形成。其中，更优选选择au。在第二层由au形成的情况下，第二连结体10能够获得良好的耐环境性(耐湿性、耐热性)。

如图4以及图5所示，在将各第一透明电极4间连结的第一连结部7的表面设置有绝缘层20。如图4所示，绝缘层20填埋第一连结部7与第二透明电极5之间的空间，且部分覆盖第二透明电极5的表面。作为绝缘层20，例如使用酚醛树脂(抗蚀剂)。

如图4以及图5所示，第二连结体10从绝缘层20的表面20a设置至位于绝缘层20的x1-x2方向的两侧的各第二透明电极5的表面。第二连结部10将各第二透明电极5间电连接。

如图4以及图5所示，在将各第一透明电极4间连接的第一连结部7的表面设置有绝缘层20，在绝缘层20的表面设置有将各第二透明电极5间连接的第二连结体10。这样，在第一连结部7与第二连结体10之间夹设有绝缘层20，第一透明电极4与第二透明电极5成为电绝缘的状态。在本实施方式中，第一透明电极4和第二透明电极5设置于相同表面(基材2的正面2a)，因此能够实现静电电容式传感器1的薄型化。

在图3、图4以及图5所示的各连结部的配置例中，第一连结部7与第一透明电极4形成为一体，第二连结部10在覆盖第一连结部7的绝缘层20的表面20a与第二透明电极5形成为分体构件。即，第二连结部10设置为电桥配线。但是，各连结部的配置方式不限定于此。例如，也可以为，第一连结部7在绝缘层20的表面20a与第一透明电极4形成为分体构件，第二连结部10与第二透明电极5形成为一体。即，第一连结部7也可以设置为电桥配线。在本实施方式所涉及的静电电容式传感器1的说明中，列举将第二连结部10设置为电桥配线的情况。

如图3以及图4所示，第一连结部10具有中央连结部10a以及周边连结部10b。中央连结部10a在第二电极连结体12延伸的x1-x2方向上将在检测区域11的中央部配置的多个第二透明电极5电连接。周边连结部10b在第二电极连结体12延伸的x1-x2方向上将在检测区域11的中央部以外(例如端部)配置的多个第二透明电极5电连接。

需要说明的是，第一连结部7、第二连结体10以及绝缘层20均位于检测区域11内，与第一透明电极4以及第二透明电极5同样地具有透光性。

如图1以及图2所示，在非检测区域25形成有第一配线部61、第二配线部62以及第三配线部63。第一配线部61以及第二配线部62从第二电极连结体12的两侧的端部引出。具体而言，第一配线部61从第二电极连结体12的一个端部(x1侧的端部)向一方的非检测区域(x1侧的非检测区域)25引出而延伸。第一配线部61与第二电极连结体12的一个端部电连接。第二配线部62从第二电极连结体12的另一个端部(x2侧的端部)向另一方的非检测区域(x2侧的非检测区域)25引出而延伸。第二配线部62与第二电极连结体12的另一个端部电连接。

第三配线部63从第一电极连结体8的一个端部引出。具体而言，第三配线部63从第一电极连结体8的一个端部(y2侧的端部)向一方的非检测区域(y2侧的非检测区域)25引出而延伸。第三配线部63与第一电极连结体8的一个端部电连接。

如图1所示，第二电极连结体12经由连接配线16而与第一配线部61以及第二配线部62电连接。第一配线部61以及第二配线部62在设置于非检测区域25的触点部17相互电连接，并与同柔性印刷基板29电连接的外部连接部27连接。即，第一配线部61以及第二配线部62相互电连接，并且将第二电极连结体12与外部连接部27电连接。

第一电极连结体8经由连接配线15而与第三配线部63电连接。第三配线部63同与柔性印刷基板29电连接的外部连接部27连接。即，第三配线部63将第一电极连结体8与外部连接部27电连接。外部连接部27例如经由导电膏而与柔性印刷基板29电连接。

在第一配线部61与第三配线部63之间设置有绝缘层19。例如，绝缘层19形成于第三配线部63的表面。这样，绝缘层19夹设在第一配线部61与第三配线部63之间，因此第一配线部61以及第二配线部62与第三配线部63成为相互电绝缘的状态。

各配线部61、62、63由具有cu、cu合金、cuni合金、ni、ag、au等金属的材料形成。各连接配线15、16由ito等透明导电性材料形成，从检测区域11向非检测区域25延伸。第一配线部62以及第二配线部62在非检测区域25内层叠在连接配线16上，与连接配线16电连接。第三配线部63在非检测区域25内层叠在连接配线15上，与连接配线15电连接。

各配线部61、62、63设置于基材2的正面2a中的位于非检测区域25的部分。外部连接部27也与各配线部61、62、63同样地设置于基材2的正面2a中的位于非检测区域25的部分。

在图1中，为了易于理解而表示为能够观察到配线部61、62、63、外部连接部27，但实际上，如图2、图4以及图5所示，以与基材2的正面2a对置的方式设置有面板3。面板3的将沿着z1-z2方向的方向设为法线的主面中的位于z1侧的主面(同与基材2的正面2a对置的主面3b相反的一侧的主面)3a成为操作静电电容式传感器1的一侧的面，因此在本说明书中电称为“操作面”。

面板3可以具有层叠结构。作为层叠结构的具体例，可以列举在由有机系材料构成的膜上形成有由无机系材料构成的涂层的层叠结构体。面板3的形状可以为平板状，也可以为其他形状。例如，面板3的操作面3a可以为曲面，面板3的操作面3a的面形状与面板3的将沿着z1-z2方向的方向设为法线的主面中的位于z2侧的主面(换言之，为与操作面3a相反的一侧的主面，以下有时简称为“背面”)3b的面形状可以不同。

如图2所示，在面板3的背面3b中的位于非检测区域25的部分设置有具有遮光性的装饰层14。在本实施方式所涉及的静电电容式传感器1中，在面板3的背面3b中的位于非检测区域25的部分整体设置有装饰层14。因此，当从面板3的操作面3a侧观察静电电容式传感器1时，各配线部61、62、63以及外部连接部27被装饰层14遮挡，而无法被观察到。对于构成装饰层14的材料，只要具有遮光性则可以为任意的材料。装饰层14也可以具有绝缘性。

在图1所示的静电电容式传感器1中，如图4所示，当作为操作体的一例的手指f与面板3的操作面3a接触时，在手指f与接近手指f的第一透明电极4之间、以及手指f与接近手指f的第二透明电极5之间产生静电电容。静电电容式传感器1能够根据此时的静电电容变化来计算手指f的接触位置。静电电容式传感器1根据手指f与第一电极连结体8之间的静电电容变化来检测手指f的位置的x坐标，并根据手指f与第二电极连结体12之间的静电电容变化来检测手指f的位置的y坐标(自电容检测型)。

或者，静电电容式传感器1也可以为互电容检测型。即，静电电容式传感器1可以对第一电极连结体8以及第二电极连结体12中的任一方的电极的一列施加驱动电压，并检测第一电极连结体8以及第二电极连结体12的任另一方的电极与手指之间的静电电容的变化。由此，静电电容式传感器1通过另一方的电极来检测手指f的位置的y坐标，并通过一方的电极来检测手指f的位置的x坐标。

如前述那样，在本实施方式所涉及的静电电容式传感器1中，第一配线部61以及第二配线部62从第二电极连结体12的两侧的端部引出而与柔性印刷基板29连接。由此，能够降低第二电极连结体12的电阻值，能够缩短电荷的充电时间。因此，能够相对于坐标输入、手势操作而得到良好的响应性。即，能够将静电电容式传感器1的时间常数抑制为更小的值。

需要说明的是，图1以及图3所示的第一透明电极4以及第二透明电极5的配置仅为一例，并不限定于此。静电电容式传感器1能够检测手指f等操作体与透明电极之间的静电电容的变化从而计算操作体与操作面3a的接触位置即可。例如，第一透明电极4与第二透明电极5可以设置于基材2的不同的主面。

图6是例示本实施方式的中央连结部断线的情况的俯视图。

图7是例示本实施方式的周边连结部断线的情况的俯视图。

图8是示出第二透明电极的时间常数的图表。

图9是例示比较例的周边连结部断线的情况的俯视图。

需要说明的是，在图6以及图7中，为了便于说明，示出了一个第二电极连结体12。另外，图8所示的图表的横轴所记载的附图标记5a～5f对应于图7所示的第二透明电极5a～5f。

例如，在制造工序等中，在剥离保护片43(参照图2)时有时会发生esd(electrostaticdischarge：静电放电)。此时，若在图9所示的比较例的第二电极连结体112发生esd，则在第二连结部110中流通有由esd产生的电流。于是，在第二连结部110产生局部的热膨胀以及热收缩中的至少一方，有时在第二连结部110产生导致断线的破坏。在此，图9所示的第二连结部110具有中央连结部110a和周边连结部110b，中央连结部110a以及周边连结部110b相互具有相同的宽度、相同的厚度、以及相同的材料(电阻率)。即，在图9所示的比较例的第二电极连结体112中，所有第二连结部110(不区分中央连结部110a以及周边连结部110b)在电气方面相同。而且，第一配线部161以及第二配线部162从第二电极连结体112的两侧的端部引出，在触点部17相互电连接。因此，当在第二电极连结体112发生esd，而在第二连结部110中流通有由esd产生的电流时，在构成第二连结部110的中央连结部110a以及周边连结部110b中的任一方产生断线可能性相同。在图9所示的比较例的第二电极连结体112中，中央连结部110a为一个，相对于此周边连结部110b为四个，因此在概率上，在周边连结部110b产生断线的可能性比在中央连结部110a产生断线的可能性更高。

当输入区域的中央连结部110a以外的第二连结部110(周边连结部110b)断线时，第二连结部110的断线有时会对静电电容式传感器的检测动作造成影响。关于这一点，以下，如图9所示，将沿x1-x2方向排列的五个第二连结部110中的、从x2侧起第二个第二连结部110(位于第二透明电极115d与第二透明电极115e之间的周边连结部110b)断线的情况作为具体例来进行说明。

在从x2侧起第二个周边连结部110b断线前的状态下，该周边连结部110b位于与第一配线部161相比更接近第二配线部162的位置，因此电荷向与该周边连结部110b的两端连接的两个第二透明电极115d以及第二透明电极115e的补充主要从第二配线部162侧进行。即，通过电荷向与从x2侧起第二个周边连结部110b的x2侧连接的第二透明电极115e的补充，来进行电荷向与该周边连结部110b的x1侧连接的第二透明电极115d的补充。其结果是，在与从x2侧起第二个周边连结部110b的两端连接的第二透明电极115d以及第二透明电极115e中，产生电荷的充电时间的差异。通常，该电荷的充电时间的差异通过静电电容式传感器的控制装置(未图示)而单独修正，因此实现了静电电容式传感器的顺畅的操作感。

然而，当从x2侧起第二个周边连结部110b断线时，电荷从第一配线部161侧向与断线的周边连结部110b的x1侧连接的第二透明电极115d充电。因此，电荷向该第二透明电极115d的补充通过电荷向位于比该第二透明电极115d靠x1侧的三个第二透明电极115a～115c的补充而进行。另一方面，电荷从第二配线部162侧向与断线的周边连结部110b的x2侧连接的第二透明电极115e补充。因此，电荷向该第二透明电极115e的补充通过电荷向位于比该第二透明电极115e靠x2侧的一个第二透明电极115f的补充而进行。因此，与断线的周边连结部110b的两侧连接的两个第二透明电极115d以及第二透明电极115e的电荷的充电时间的差异与周边连结部110b断线前的状态下的电荷的充电时间的差异大幅不同。

当像这样相邻地配置的两个第二透明电极115(在图9所示的具体例中为第二透明电极115d以及第二透明电极115e)的电荷的充电时间的差异由于位于两个第二透明电极115之间的周边连结部110b的断线而发生变化时，有时静电电容式传感器的响应性即时间常数的不同显著化。具体而言，在通过手指f等操作体来操作静电电容式传感器时，在由于周边连结部110b的断线而时间常数的不同显著化的部分，响应性局部地发生变化，有时会丧失静电电容式传感器的顺畅的操作感。

相对于此，在本实施方式所涉及的静电电容式传感器1中，中央连结部10a的电阻值比周边连结部10b的电阻值高。具体而言，如图3所示，中央连结部10a的宽度w1比周边连结部10b的宽度w2细。因此，中央连结部10a的电阻值比周边连结部10b的电阻值高。

由此，由于esd而在中央连结部10a产生的电压降低量比由于esd而在周边连结部10b产生的电压降低量大。因此，由于esd而在中央连结部10a产生的热量比由于esd而在周边连结部10b产生的热量大。因此，如图6所示，当发生esd时，与周边连结部10b相比，中央连结部10a容易优先断线。即，与图9所示的第二电极连结体112不同，在图6所示的第二电极连结体12中，能够使由于esd而发生断线的第二连结部10集中于中央连结部10a。

中央连结部10a位于远离第一配线部61以及第二配线部62双方的位置。另外，与其他第二连结部10、即周边连结部10b相比，电荷不易在中央连结部10a中流动。因此，即使在中央连结部10a未断线的状态下，电荷向与中央连结部10a的x1端连接的第二透明电极5c的补充主要从第一配线部61侧进行，电荷向与中央连结部10a的x2端连接的第二透明电极5d的补充主要从第二配线部62侧进行。

在此，在图6所示的第二电极连结体12中发生esd的情况下，如前述那样，中央连结部10a优先断线。在中央连结部10a断线的状态下，电荷向与中央连结部10a的x1端连接的第二透明电极5c的补充从第一配线部61侧进行，电荷向与中央连结部10a的x2端连接的第二透明电极5d的补充从第二配线部62侧进行。

因此，即使发生esd而使中央连结部10a断线，电荷向与中央连结部10a的两端连接的两个第二透明电极5a以及第二透明电极5f的补充的过程(从第一配线部61侧进行还是从第二配线部62侧进行)并未发生较大变化。换言之，与中央连结部10a的两端连接的两个第二透明电极5a以及第二透明电极115f的时间常数无论中央连结部10a断线还是未断线都不存在较大差异。因此，如图6所示，通过设为由esd引起的断线集中于中央连结部10a这样的结构，能够抑制esd对静电电容式传感器1的检测动作造成的影响。

另外，如图7所示，在由esd引起的断线集中于中央连结部10a这样的结构中，在因某种原因而使周边连结部10b断线的情况下，与断线的周边连结部10b连接的第二透明电极5的时间常数与其他第二透明电极5的时间常数相比变得非常高。在图7所示的例子中，从在x1侧的端部设置的第二透明电极5a朝向x2侧设置为第四个的第二透明电极5d与从在x2侧的端部设置的第二透明电极5f朝向x1侧设置为第二个的第二透明电极5e之间的周边连结部10b断裂。在该情况下，如图8所示，与断线的周边连结部10b连接的第二透明电极5中的、从第二透明电极5a朝向x2侧设置为第四个的第二透明电极5d的时间常数比其他第二透明电极5a、5b、5c、5e、5f各自的时间常数高。即，与断线的周边连结部10b连接的第二透明电极5d的时间常数成为特征点。因此，即使在例如制造工序中发生由esd导致的周边连结部10b的断线的情况下，也能够容易在制造工序中检测到周边连结部10b的断线。

另外，中央连结部10a的宽度w1比周边连结部10b的宽度w2细，因此在形成中央连结部10a以及周边连结部10b的工序中，能够比较容易地使中央连结部10a的电阻值比周边连结部10b的电阻值高。因此，能够比较容易地抑制由esd导致的第二连结部10的断线对静电电容式传感器1的检测动作造成的影响。

图10是对另一实施方式的第二连结部进行说明的剖视图。

图10相当于图3所示的切断面c1-c1处的剖视图。

在图10所示的例子中，中央连结部10a的厚度t1比周边连结部10b的厚度t2薄。因此，中央连结部10a的电阻值比周边连结部10b的电阻值高。由此，如关于图6～图9而前述那样，能够使由esd引起产生的断线集中于中央连结部10a。因此，能够抑制由esd导致的第二连结部10的断线对静电电容式传感器1的检测动作造成的影响。

中央连结部10a的厚度t1比周边连结部10b的厚度t2薄，因此在形成中央连结部10a以及周边连结部10b的工序中，能够比较容易地使中央连结部10a的电阻值比周边连结部10b的电阻值高。因此，能够比较容易地抑制由esd导致的第二连结部10的断线对静电电容式传感器1的检测动作造成的影响。

在关于图6～图8以及图10的说明中，通过使中央连结部10a的形状与周边连结部10b的形状不同，从而使中央连结部10a的电阻值比周边连结部10b的电阻值高。另一方面，也可以通过使形成中央连结部10a的材料与形成周边连结部10b的材料不同，从而使中央连结部10a的电阻值比周边连结部10b的电阻值高。

即，中央连结部10a也可以包括具有比形成周边连结部10b的材料的电阻率高的电阻率的材料。作为中央连结部10a以及周边连结部10b的材料，可以列举与关于图1～图5而前述的第二连结部10的材料相同的材料。在该情况下，并非通过中央连结部10a以及周边连结部10b的形状，而是通过形成中央连结部10a以及周边连结部10b的材料，使中央连结部10a的电阻值比周边连结部10b的电阻值高。因此，能够更加可靠地抑制由esd导致的第二连结部10的断线对静电电容式传感器1的检测动作造成的影响。

或者，也可以使中央连结部10a以及周边连结部10b的形状彼此不同，并且使形成中央连结部10a以及周边连结部10b的材料彼此不同。由此，能够通过中央连结部10a以及周边连结部10b的形状、以及形成中央连结部10a以及周边连结部10b的材料双方使中央连结部10a的电阻值比周边连结部10b的电阻值高。因此，能够进一步可靠地抑制由esd导致的第二连结部10的断线对静电电容式传感器1的检测动作造成的影响。

需要说明的是，在本实施方式的说明中，列举了在第二连结部产生导致断线的破坏的情况。关于图6～图10的说明同样能够应用于第一连结部。即，也可以如图1所示的双点划线的第四配线部64那样，在非检测区域25还形成有第四配线部64。在该情况下，第三配线部63以及第四配线部64从第一电极连结体8的两侧的端部引出。

具体而言，第三配线部63从第一电极连结体8的一个端部(y2侧的端部)向一方的非检测区域(y2侧的非检测区域)25引出而延伸。第三配线部63与第一电极连结体8的一个端部电连接。第四配线部64从第一电极连结体8的另一个端部(y1侧的端部)向另一方的非检测区域(y1侧的非检测区域)25引出而延伸。第四配线部64与第一电极连结体8的另一个端部电连接。第三配线部63以及第四配线部64在非检测区域25相互电连接。

而且，在第一电极连结体8延伸的y1-y2方向上将在检测区域11的中央部配置的多个第一透明电极4电连接的中央连结部的电阻值比在y1-y2方向上将检测区域11的中央部以外(例如端部)配置的多个第一透明电极4电连接的周边连结部的电阻值高。由此，能够抑制由esd导致的第一连结部7的断线对静电电容式传感器1的检测动作造成的影响。

以上对本实施方式及其应用例进行了说明，但本发明不限定于这些例子。例如，对于本领域技术人员对前述的各实施方式及其应用例适当进行构成要素的追加、削除、设计变更的方式、将各实施方式的特征适当组合而成的方式而言，只要具备本发明的主旨，则均包含于本发明的范围。

附图标记说明

1静电电容式传感器；2基材；2a主面(正面)；3面板；3a操作面；3b主面(背面)；4第一透明电极；5、5a、5b、5c、5d、5e、5f第二透明电极；7第一连结部；8第一电极连结体；10第二连结部；10a中央连结部；10b周边连结部；11检测区域；12第二电极连结体；14装饰层；15连接配线；16连接配线；17触点部；19绝缘层；20绝缘层；20a表面；25非检测区域；27外部连接部；29柔性印刷基板；30光学透明粘合层；43保护片；61第一配线部；62第二配线部；63第三配线部；64第四配线部；110第二连结部；110a中央连结部；110b周边连结部；112第二电极连结体；115、115a、115b、115c、115d、115e、115f第二透明电极；161第一配线部；162第二配线部；c1切断面；c2切断面；f手指；t1厚度；t2厚度；w1宽度；w2宽度。