电极结构及电极结构的制作方法与流程

文档序号:15158626发布日期:2018-08-14 08:14阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种电极结构,所述电极结构包括依次层叠设置的基板、氧化铟锡层、金属层;及设置在所述氧化铟锡层和金属层之间的金属氧化物粘着层。本发明还公开了一种电极结构的制作方法,包括提供基板;在所述基板上设置氧化铟锡层;在所述氧化铟锡层上设置金属氧化物粘着层;及在所述金属氧化物粘着层上设置金属层。本发明还公开了一种电极结构的制作方法,通过上述方式,以提高电极结构中氧化铟锡层与金属层间的粘着力。

技术研发人员:木村徹
受保护的技术使用者:武汉华星光电半导体显示技术有限公司
技术研发日:2018.02.06
技术公布日:2018.08.14
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