触摸传感器的制作方法

本实用新型涉及触摸传感器。特别地，本实用新型涉及这种触摸传感器，该触摸传感器通过在透明电极上形成以多个精细刻蚀图案为特征的单位透明电极以便改善可见度和透光率，从而能够防止由于形成有透明电极的电极区域与没有透明电极形成的电极间区域之间的光学特性的不同而导致的透明电极不必要地对用户可见，并且还能够防止由于透明电极而导致的透光率的减小以及由于莫尔(moiré)现象而导致的光学质量的降低。

背景技术：

触摸传感器是在用户通过他或她的手指或触摸笔接触正在屏幕上显示的图像时，能够响应于该接触来检测触摸点的设备。触摸传感器被制造为安装在显示设备(诸如液晶显示器(liquidcrystaldisplay，lcd)、有机发光二极管(organiclight-emittingdiode，oled)等)上的结构。

通常，这类触摸传感器包括触摸感测区域，该触摸感测区域包括在彼此交叉的方向上形成的透明电极，该透明电极作为用于感测用户的触摸操作的部件。可以将触摸感测区域分为存在透明电极的电极区域和不存在透明电极的电极间区域。

由于电极区域和电极间区域具有不同的光学特性(包括透射率和反射率)，所以电极区域和电极间区域可以彼此不同，从而可能不必要地对用户可见。

此外，由于电极区域与电极间区域相比具有相对低的透射率，因此触摸传感器的图案可能对用户是可见的。

下面将详细描述这种传统的问题。

图1为传统触摸传感器的截面图，图2a和图2b为示出图1中公开的传统触摸传感器的示例性上部形状的示意图，以及图3为示出由于图1中公开的传统触摸传感器中的透明电极产生的空间频率的低频分量导致透明电极对用户可见的原理的示图。图3的空间频率的单位为周/度(cycleperdegree，cpd)。

参见图1至图3，传统的触摸传感器包括由氧化铟锡(indiumtinoxide，ito)制成并在第一方向上形成在基板1上的第一感测电极2、由ito制成并在与第一方向交叉的第二方向上形成的第二感测电极3、被配置为使第一感测电极2与第二感测电极3绝缘的绝缘层4、由ito制成并被配置为连接两个这种第二感测电极3的桥接图案5、以及器件保护层6。图2a示出了形成有第一感测电极2和第二感测电极3的示例性上部形状，图2b示出了除了第一感测电极2和第二感测电极3外还形成有桥接图案5的示例性上部形状。

对于传统的触摸传感器，ito具有取决于厚度的光学特性(诸如透射率/反射率、透明/反射色感等)的差异。因此，在形成有ito的电极区域与没有ito形成的电极间区域之间产生光学特性的差异，并且透射光和反射光使得ito图案对用户可见。

此外，由于具有大间距和厚度的ito被应用到桥接图案5以确保通道电阻，所以当外部光发射到触摸传感器时，桥接图案5对用户是可见的。

可见度降低主要是由第一感测电极2、第二感测电极3以及桥接图案5产生的空间频率的低频分量引起的。也就是说，由于第一感测电极2、第二感测电极3和桥接图案5以规则的空间间隔在触摸传感器中重复形成，因此，当外部光发射到触摸传感器时，对应于第一感测电极2、第二感测电极3以及桥接图案5的空间分布周期性的空间频率的低频分量增强。从而包括在第一感测电极2、第二感测电极3和桥接图案5中的ito本身以及ito的边缘区域可能不必要地对用户可见。

此外，当具有这种问题的传统触摸传感器接合到显示面板时，显示面板的像素阵列和触摸传感器的像素阵列之间可能发生干扰，并且光学干扰图案可以显示为莫尔图案。莫尔现象是与触摸传感器的图案可见性缺陷不同的缺陷，其是由于两个阵列之间的干扰引起的不期望的二维空间频率形式的显示导致的成像装置的光学质量降低的原因。

(相关的现有技术文献)

(专利文献)

韩国专利公开no.10-2014-0051649(于2014年5月2日公布，名称为“金属网式触摸屏面板”)。

技术实现要素：

1、技术问题

本实用新型的技术目的是通过在透明电极上形成以多个精细刻蚀图案为特征的单元透明电极以便改善透明电极的可见度和透光率，从而防止由于形成有透明电极的电极区域与没有透明电极形成的电极间区域之间的光学特性的不同而导致的透明电极不必要地对用户可见，并且还防止由于透明电极导致的透光率的减小。

本实用新型的另一技术目的是借助于在各个透明电极中形成的以多个精细刻蚀图案为特征的单元透明电极，将由在触摸传感器内部以规则的空间间隔重复形成的透明电极诱发的空间频率的低频分量转换成用户不可见的高频分量，从而增大触摸传感器的透光率，并且还增强触摸传感器的可见度。

本实用新型的又一技术目的是防止当触摸传感器接合到显示面板时由于触摸传感器的像素阵列和显示面板的像素阵列之间的干扰导致的光学干扰图案被显示为莫尔图案，从而防止光学质量的降低。

2、问题的解决方案

根据本实用新型的第一方面的触摸传感器包括：沿第一方向形成在基板上的第一感测电极单元以及沿与所述第一方向交叉的第二方向形成在所述基板上的第二感测电极单元，其中，多个精细刻蚀图案形成在包括在所述第一感测电极单元和所述第二感测电极单元中的单元透明电极的边界部分中，形成在所述单元透明电极的所述边界部分中的所述多个精细刻蚀图案具有针对具有第一长度的两条相对的边和除了这两条边之外的大于第一长度的第二长度的四条边的六边形，连接所述四条边的端点的曲线的一部分被去除的形状，并且相邻的单元透明电极彼此电连接。

根据本实用新型的第二方面的触摸传感器包括：沿第一方向形成且彼此连接的第一感测电极单元、沿与所述第一方向交叉的第二方向形成且彼此分离的第二感测电极单元、以及被配置为将其间插入有第一感测电极单元的两个相邻的第二感测电极单元彼此连接的桥接电极单元，其中，多个精细刻蚀图案形成在包括在所述第一感测电极单元和所述第二感测电极单元中的单元透明电极的边界部分中，形成在所述单元透明电极的所述边界部分中的所述多个精细刻蚀图案具有针对具有第一长度的两条相对的边和除了这两条边之外的大于第一长度的第二长度的四条边的六边形，连接所述四条边的端点的曲线的一部分被去除的形状，并且相邻的单元透明电极彼此电连接。

根据本实用新型的第三方面的触摸传感器包括：沿第一方向形成在基板上且彼此连接的第一感测电极单元、形成在所述基板上的形成有所述第一感测电极单元的地方的绝缘层、以及沿与所述第一方向交叉的第二方向形成在所述绝缘层上且彼此连接的第二感测电极单元，其中，多个精细刻蚀图案形成在包括在所述第一感测电极单元和所述第二感测电极单元中的单元透明电极的边界部分中，形成在所述单元透明电极的所述边界部分中的所述多个精细刻蚀图案具有针对具有第一长度的两条相对的边和除了这两条边之外的大于第一长度的第二长度的四条边的六边形，连接所述四条边的端点的曲线的一部分被去除的形状，并且相邻的单元透明电极彼此电连接。

在根据本实用新型的第一方面至第三方面的触摸传感器中，以所述精细刻蚀图案为特征的多个所述单元透明电极可以具有棋盘形布置(tessellation)结构。

在根据本实用新型的第一方面至第三方面的触摸传感器中，所述曲线可以包括从由正弦曲线、余弦曲线、圆锥曲线、悬链线、追踪曲线、摆线、次摆线和心形线组成的组中选择的一者或多者。

在根据本实用新型的第一方面至第三方面的触摸传感器中，形成在所述单元透明电极的边界部分中的所述多个精细刻蚀图案可以具有连接具有所述第二长度的四条边的端点的曲线的中间部分被去除的形状。

在根据本实用新型的第一方面至第三方面的触摸传感器中，形成在所述单元透明电极的边界部分中的所述多个精细刻蚀图案可以具有连接具有所述第二长度的所述四条边的端点的曲线的两端而不是中间部分被去除并且具有所述第一长度的所述两条边也被去除的形状。

在根据本实用新型的第一方面至第三方面的触摸传感器中，所述单元透明电极可以具有范围从100μm至500μm的间距。

在根据本实用新型的第一方面至第三方面的触摸传感器中，所述精细刻蚀图案可以具有范围从5μm至20μm的宽度。

在根据本实用新型的第一方面至第三方面的触摸传感器中，被配置为连接相邻的单元透明电极的连接单元可以具有范围从20μm至60μm的宽度。

在根据本实用新型的第一方面至第三方面的触摸传感器中，所述第一感测电极单元和所述第二感测电极单元可以通过在所述单元透明电极的边界部分中形成的所述多个精细刻蚀图案而具有增大的透射率。

在根据本实用新型的第一方面至第三方面的触摸传感器中，所述单元透明电极可以由所述多个精细刻蚀图案形成，所述第一感测电极单元和所述第二感测电极单元可以以与包括在每个所述单元透明电极中的所述精细刻蚀图案的形状相同为特征，并且可以使空间高频分量布置在所述触摸传感器的前表面上。

根据本实用新型的第一方面至第三方面的触摸传感器还可以包括电极间虚设物，该电极间虚设物形成在所述第一感测电极单元和所述第二感测电极单元之间且与所述单元透明电极电绝缘，所述电极间虚设物具有与所述单元透明电极相同的形状。

在根据本实用新型的第一方面至第三方面的触摸传感器中，通过将具有与所述精细刻蚀图案相同空间频率的多个虚设图案插入到所述第一感测电极单元和所述第二感测电极单元之间的空间中，然后使相同的高频分量布置在所述触摸传感器的前表面上，可以由于布置在所述触摸传感器的前表面上的相同的高频分量而使所述触摸传感器的图案不可见。

在根据本实用新型的第二方面的触摸传感器中，所述桥接电极单元可以具有从直线、曲线、以及两端为圆形且中间部分形成为直线的哑铃形状中选择的一种形状。

在根据本实用新型的第二方面的触摸传感器中，所述桥接电极单元可以包含金属且具有范围从100μm至500μm的长度。

在根据本实用新型的第二方面的触摸传感器中，所述桥接电极单元可以具有范围从2μm至10μm的宽度。

在根据本实用新型的第二方面的触摸传感器中，所述桥接电极单元可以包含氧化铟锡(ito)且具有范围从100μm至500μm的长度。

在根据本实用新型的第二方面的触摸传感器中，所述桥接电极单元可以具有范围从15μm至60μm的宽度。

3、有益效果

根据本实用新型，通过在透明电极上形成以多个精细刻蚀图案为特征的单元透明电极以便改善透明电极的可见度和透光率，可以防止由于形成有透明电极的电极区域与没有透明电极形成的电极间区域之间的光学特性的不同而导致的透明电极不必要地对用户可见，并且还可以防止由于透明电极导致的透光率的减小。

此外，通过借助于在各个透明电极中形成的以多个精细刻蚀图案为特征的单元透明电极，将由在触摸传感器内部以规则的空间间隔重复形成的透明电极诱发的空间频率的低频分量转换成对用户不可见的高频分量，可以增大触摸传感器的透光率，并且还可以增强触摸传感器的可见度。

此外，当触摸传感器接合到显示面板时，可以防止由于触摸传感器的像素阵列和显示面板的像素阵列之间的干扰而导致的光学干扰图案被显示为莫尔图案，从而还能够防止光学质量的降低。

附图说明

图1为传统传感器的截面图；

图2a和图2b为示出图1中公开的传统触摸传感器的示例性上部形状的示图；

图3为示出由于图1中公开的传统触摸传感器中的透明电极产生的空间频率的低频分量导致透明电极对用户可见的原理的示图；

图4为根据本实用新型的第一实施方式的触摸传感器的示例性截面图；

图5为根据本实用新型的第二实施方式的触摸传感器的示例性截面图；

图6为根据本实用新型的第三实施方式的触摸传感器的示例性截面图；

图7a-图7d为示出根据本实用新型实施方式的由包括在第一感测电极单元和第二感测电极单元中的以精细刻蚀图案为特征的单元透明电极的一个示例性平面布置形状的示图；

图8a-图8f为示出形成图7a-图7d中所示的单元透明电极的过程的示图；

图9a-图9d为示出根据本实用新型实施方式的由包括在第一感测电极单元和第二感测电极单元中的以精细刻蚀图案为特征的单元透明电极的另一示例性平面布置形状的示图；

图10a-图10f为示出形成图9a-图9d中所示的单元透明电极的过程的示图；以及

图11为示出根据本实用新型实施方式的通过触摸传感器中的表征单元透明电极的多个精细刻蚀图案将由透明电极产生的空间频率的低频分量转换成对用户不可见的高频分量的原理的示图。

具体实施方式

由于根据本文中公开的本实用新型的概念的实施方式的具体结构描述或功能描述仅仅是出于描述根据本实用新型的概念的实施方式的例示目的，所以根据本实用新型的概念的实施方式可以以各种形式实施但不限于本文描述的方式实施。

虽然本实用新型的实施方式容许有各种修改和替换形式，但是本实用新型的具体实施方式通过附图中的示例示出并且将在本中文进行详细描述。然而，应当理解，并不旨在将本实用新型限制于所公开的特定形式，相反，本实用新型将涵盖落入本实用新型的精神和范围内的所有修改、等同物和替选方案。

应当理解，尽管在本文中可以使用术语“第一”、“第二”等来描述各种元件，但是这些元件不应受这些术语的限制。这些术语仅用于区分一个元件与另一元件。例如，第一元件可以被称为第二元件，类似地，第二元件可以被称为第一元件而不脱离本实用新型的范围。

应当理解，当元件被称为与另一元件“连接”或“联接”时，该元件可以直接连接或联接到该另一元件或者可以存在中间元件。相反，当元件被称为与另一元件“直接连接”或“直接联接”时，则不存在中间元件。用于描述元件之间关系的其它词语(即，“在……之间”与“直接在……之间”、“相邻”与“直接相邻”等)应以类似的方式解释。

本文中所使用的术语仅出于描述特定实施方式的目的且不意图限制本实用新型。如本文中所使用，单数形式“一”和“该”也意图包括复数形式，除非上下文另有明确指示。还应当理解，术语“包括”和/或“包含”，当在本文中使用时，指定所陈述的特征、整数、步骤、操作、元件、部件、和/或其组合的存在，但不排除存在或添加一个或多个其它特征、整数、步骤、操作、元件、部件、和/或其组合。

除非另有定义，否则本文中所使用的所有术语(包括技术术语或科学术语)具有与本实用新型所属的技术领域的普通技术人员通常理解的含义相同的含义。还应当理解，诸如在常用字典中定义的那些术语应该被解释为具有与其在相关领域的背景下的含义一致的含义，并且将不被解释为理想化或过于正式的含义，除非本文中明确如此定义。

如下面将要描述的，图4为示出具有上桥接结构的第一实施方式的截面图，图5为示出具有下桥接结构的第二实施方式的截面图，以及图6示出了不使用桥接电极而使用对电极结构的第三实施方式。

首先，下面将简要描述不管第一实施方式至第三实施方式的堆叠结构如何均可以应用的本实用新型的技术特征。

不管第一实施方式至第三实施方式的堆叠结构如何，本实用新型包括沿第一方向形成在基板上的第一感测电极单元以及沿与第一方向交叉的第二方向形成在基板上的第二感测电极单元。多个精细刻蚀图案形成在包括在第一感测电极单元和第二感测电极单元中的单元透明电极的边界部分中。形成在所述单元透明电极的边界部分中的所述多个精细刻蚀图案可以具有以下这样的形状：其中，针对具有第一长度的两条相对的边和除了这两条边之外的大于第一长度的第二长度的四条边的六边形，连接所述四条边的端点的曲线的一部分被去除。相邻的单元透明电极可以彼此电连接。

第一实施方式至第三实施方式的详细描述可以适用于多个精细刻蚀图案以及以该精细刻蚀图案为特征的单元透明电极，并且因此将省略其冗余描述。

图4为根据本实用新型的第一实施方式的触摸传感器的示例性截面图。

参见图4，根据本实用新型的第一实施方式的触摸传感器包括基板10、第一感测电极单元40-1、第二感测电极单元50-1、绝缘层60、桥接电极单元70-1和器件保护层80。应当注意的是，本实用新型的第一实施方式与上桥接结构相关联，在上桥接结构中，桥接电极单元70-1位于第一感测电极单元40-1和第二感测电极单元50-1上方，并且下面的第二实施方式与下桥接结构相关联。

如稍后将描述的，根据本实用新型的第一实施方式的触摸传感器的主要技术特征是多个精细刻蚀图案形成在包括在第一感测电极单元40-1和第二感测电极单元50-1中的单元透明电极的边界部分中，形成在所述单元透明电极的边界部分中的所述多个精细刻蚀图案具有针对具有第一长度的两条相对的边和除了这两条边之外的大于第一长度的第二长度的四条边的六边形，连接所述四条边的端点的曲线的一部分被去除的形状，并且相邻的单元透明电极彼此电连接。

例如，以精细刻蚀图案为特征的所述多个单元透明电极可以被配置为具有棋盘形布置结构。更优选地，所述多个单元透明电极可以被配置为具有规则的棋盘形布置结构。

此外，例如，所述曲线可以包括从由正弦曲线、余弦曲线、圆锥曲线、悬链线、追踪曲线、摆线、次摆线和心形线组成的组中选择的一者或多者，并且所述曲线可以为连续地连接与菱形的顶点相邻的点的曲线或者是通过部分地不连续地连接这些点而形成的曲线。

参见图3(在描述传统的触摸传感器的问题时已经参考了图3)，并且另外参考图11，图11为示出在根据本实用新型的实施方式的触摸传感器中，通过在单元透明电极的边界部分中形成的多个精细刻蚀图案，将由透明电极产生的空间频率的低频分量转换为对用户不可见的高频分量的原理的示图，其中，根据本实用新型的第一实施方式，单元透明电极是由所述多个精细刻蚀图案形成的，第一感测电极单元40-1与第二感测电极单元50-1以与包含在每个单元透明电极中的精细刻蚀图案的形状相同为特征，并且使空间高频分量布置在触摸传感器的前表面。换句话说，在包括在第一感测电极单元40-1和第二感测电极单元50-1中的单元透明电极的边界部分中形成的多个精细刻蚀图案可以在触摸传感器内以规则的空间间隔重复地形成。此外，可以将由具有比精细刻蚀图案相对更大的间距的第一感测电极单元40-1和第二感测电极单元50-1诱发的空间频率的低频分量转换为对用户不可见的高频分量。因此，可以改善触摸传感器的可见度。此外，由于在单元透明电极的边界部分中形成的多个精细刻蚀图案，触摸传感器的总透光率随着第一感测电极单元40-1和第二感测电极单元50-1的透射率的增大而增大。图11的空间频率的单位为周/度(cpd)。根据本实用新型的实施方式，可以看出空间频率的最小值为约60cpd或更小，并且由于多个精细刻蚀图案(这是本实用新型的技术特征)，由透明电极产生的空间频率的低频分量转换为对用户不可见的至少60cpd或更高的高频分量。

下面将描述可以应用于根据本实用新型的实施方式的触摸传感器的以精细刻蚀图案为特征的单元透明电极的示例性形状。

<第一单元透明电极105>

图7a-图7d为示出根据本实用新型的实施方式的包括在第一感测电极单元40-1和第二感测电极单元50-1中的以精细刻蚀图案为特征的单元透明电极105的一个示例性平面布置形状的示图，并且图8a-图8f为示出形成图7a-图7d中所示的以精细刻蚀图案为特征的单元透明电极105的过程的示图。

另外地，参见图7a-图7d和图8a-图8f，多个精细刻蚀图案形成在包括在第一感测电极单元40-1和第二感测电极单元50-1中的单元透明电极105的边界部分中。形成在单元透明电极105的边界部分中的所述多个精细刻蚀图案具有连接构成六边形的六条边中的具有第二长度的四条边的端点的曲线的中间部分被去除的形状，并且具有弯曲形状的部分为刻蚀且去除的部分，即精细刻蚀图案。

例如，以这种精细刻蚀图案为特征的单元透明电极105可以具有与六边形相对应的形状，并且包括在第一感测电极单元40-1和第二感测电极单元50-1中的多个单元透明电极105可以具有其中规则且重复地布置与六边形对应的形状的棋盘形布置结构。

图7a示出了包括在第一感测电极单元40-1中的以精细刻蚀图案为特征的多个单元透明电极105的平面布置形状。图7b示出了包括在第二感测电极单元50-1中的以精细刻蚀图案为特征的多个单元透明电极105的平面布置形状。图7c示出了桥接电极单元70-1的平面形状。图7d示出了包括包含在图7a所示的第一感测电极单元40-1中的多个单元透明电极105、包含在图7b所示的第二感测电极单元50-1中的多个单元透明电极105、以及在图7c所示的桥接电极单元70-1的触摸传感器的平面形状。

例如，如图7a-图7d所示，当由第一感测电极单元40-1和第二感测电极单元50-1之间的间隔形成的电极间区域具有大的宽度时，可以另外形成电极间虚设物205，该电极间虚设物205具有与单元透明电极105相同的形状并且与包括在第一感测电极单元40-1和第二感测电极单元50-1中的单元透明电极105电绝缘。如图7a-图7d中所公开的，包括在第一感测电极单元40-1和第二感测电极单元50-1中的多个单元透明电极105彼此电连接，而存在于电极间区域中的电极间虚设物205与单元透明电极105电绝缘。当利用电极间虚设物205时，可以将具有与精细刻蚀图案相同空间频率的多个虚设图案插入到第一感测电极单元40-1和第二感测电极单元50-1之间的空间中，以使相同的高频分量布置在触摸传感器的前表面上。因此，布置在触摸传感器的前表面上的相同的高频分量可以防止触摸传感器的图案可见。

在图7c中，桥接电极单元70-1示出为两端为圆形且中间部分形成为直线的哑铃形状。然而，这仅仅是一示例性，桥接电极单元70-1可以形成为直线或曲线。

作为示例，桥接电极单元70-1可以具有包含金属的材料。在这种情况下，桥接电极单元70-1可以具有范围从100μm至500μm的长度以及范围从2μm至10μm的宽度。

作为另一示例，桥接电极单元70-1可以具有包含氧化铟锡(ito)的材料。在这种情况下，桥接电极单元70-1可以具有范围从100μm至500μm的长度以及范围从15μm至60μm的宽度。

金属具有比ito更高的导电性但更低的透明度。因此，通过允许桥电极单元70-1当其由金属制成时比其由ito制成时具有更短的宽度，可以改善由金属制成的桥接电极单元70-1所应用到的触摸传感器的可见度。

下面参照图8a-图8f描述形成图7a-图7d所示的多个单元透明电极105的过程。

在图8c和图8d中，为了便于理解，ito用白色表示，刻蚀部分用黑色表示。在图7a、图7b、图7d、图8e和图8f中，黑色区域表示ito，白色区域表示要刻蚀掉和去除的部分。

首先，参照图8a，为了形成一个单元透明电极105，假设由诸如ito的材料制成的透明电极中由虚线表示的一虚拟菱形以及穿过该虚拟菱形的顶点的直线。通过该过程，具有第一长度的直线位于构成一个菱形的四个顶点中的每一个顶点上。

接下来，参照图8b，执行通过连接具有第一长度的直线的端点来产生虚拟六边形的过程。通过该过程产生的六边形具有两个相对的边(①、④)以及除了这两条边之外的四条边(②、③、⑤、⑥)，其中，这两条相对的边(①、④)具有第一长度，而另外四条边(②、③、⑤、⑥)具有大于第一长度的第二长度。

接下来，参照图8c，执行通过直线连接具有第一长度的两条边(①、④)的端点以及通过曲线(诸如正弦波)连接具有第二长度的四条边(②、③、⑤、⑥)的端点的过程。当执行该过程时，获得具有一种与六边形对应的罐状形状的图案设计。该过程在所有单元透明电极105上执行，如图8e所示。

接下来，参照图8d，执行将连接具有第二长度的四条边(②、③、⑤、⑥)的端点的曲线的中间部分去除的过程。在图8d中，白色背景区域表示ito，黑色曲线为要通过刻蚀去除的部分。该部分为精细刻蚀图案。该过程在所有单元透明电极105上执行，如图8f所示。

例如，单元透明电极105可以具有范围从100μm至500μm的间距p以及范围从5μm至20μm的间隔(即，精细刻蚀图案的宽度d)。使用这样的配置，当外部光被施加到触摸传感器时，将由透明电极诱发的空间频率的低频分量转换成对用户不可见的高频分量，并且触摸传感器的总透光率也随着电极区域的透光率的增大而增大，该电极区域为存在透明电极的区域，即第一感测电极单元40-1和第二感测电极单元50-1。

此外，例如，被配置为连接相邻单元透明电极105的连接单元可以具有范围从20μm至60μm的宽度a。使用这样的配置，可以防止在连接相邻单元透明电极105的过程中可能发生的电阻的增大，并且还可以防止由连接单元引起的可见度的减小。

<第二单元透明电极106>

图9a-图9d为示出根据本实用新型的实施方式的包括在第一感测电极单元40-1和第二感测电极单元50-1中的以精细刻蚀图案为特征的单元透明电极106的一个示例性平面布置形状的示图，并且图10a-图10f为示出形成图9a-图9d中所示的以精细刻蚀图案为特征的单元透明电极106的过程的示图。

另外地，参见图9a-图9d和图10a-图10f，多个精细刻蚀图案形成在包括在第一感测电极单元40-1和第二感测电极单元50-1中的单元透明电极106的边界部分中。形成在单元透明电极106的边界部分中的多个精细刻蚀图案具有连接构成六边形的六条边中的具有第二长度的四条边的端点的曲线的两端而不是中间部分被去除且具有第一长度的另外两条边也被去除的形状，通过刻蚀去除的曲线部分和直线部分为精细刻蚀图案。

例如，以这种精细刻蚀图案为特征的单元透明电极106可以具有与六边形相对应的形状，并且包括在第一感测电极单元40-1和第二感测电极单元50-1中的多个单元透明电极106可以具有其中规则且重复地布置与所述六边形相对应的形状的棋盘形布置结构。

图9a示出了包括在第一感测电极单元40-1中的以精细刻蚀图案为特征的多个单元透明电极106的平面布置形状。图9b示出了包括在第二感测电极单元50-1中的以精细刻蚀图案为特征的多个单元透明电极106的平面布置形状。图9c示出了桥接电极单元70-1的平面形状。图9d示出了包括包含在图9a所示的第一感测电极单元40-1中的多个单元透明电极106、包含在图9b所示的第二感测电极单元50-1中的多个单元透明电极106、以及图9c所示的桥接电极单元70-1的触摸传感器的平面形状。

例如，如图9a-图9d所示，当由第一感测电极单元40-1和第二感测电极单元50-1之间的间隔形成的电极间区域具有大的宽度时，可以另外形成电极间虚设物206，该电极间虚设物206具有与单元透明电极106相同的形状并且与包括在第一感测电极单元40-1和第二感测电极单元50-1中的单元透明电极106电绝缘。如图9a-图9d中所公开的，包括在第一感测电极单元40-1和第二感测电极单元50-1中的多个单元透明电极106彼此电连接，而存在于电极间区域中的电极间虚设物206与单元透明电极106电绝缘。当利用电极间虚设物206时，可以将具有与精细刻蚀图案相同空间频率的多个虚设图案插入到第一感测电极单元40-1和第二感测电极单元50-1之间的空间中，以使相同的高频分量布置在触摸传感器的前表面上。因此，布置在触摸传感器的前表面上的相同的高频分量可以防止触摸传感器的图案可见。

在图9c中，桥接电极单元70-1示出为两端为圆形且中间部分形成为直线的哑铃形状。然而，这仅仅是一示例，桥接电极单元70-1可以形成为直线或曲线。

作为示例，桥接电极单元70-1可以具有包含金属的材料。在这种情况下，桥接电极单元70-1可以具有范围从100μm至500μm的长度以及范围从2μm至10μm的宽度。

作为另一示例，桥接电极单元70-1可以具有包含氧化铟锡(ito)的材料。在这种情况下，桥接电极单元70-1可以具有范围从100μm至500μm的长度以及范围从15μm至60μm的宽度。

金属具有比ito更高的导电性但更低的透明度。因此，通过允许桥电极单元70-1当其由金属制成时比其由ito制成时具有更短的宽度，可以改善由金属制成的桥接电极单元70-1所应用到的触摸传感器的可见度。

下面参照图10a-图10f描述形成图9a-图9d所示的多个单元透明电极106的过程。

在图10c和图10d中，为了便于理解，ito用白色表示，刻蚀部分用黑色表示。在图9a、图9b、图9d、图10e和图10f中，黑色区域表示ito，白色区域表示要刻蚀掉和去除的部分。

首先，参照图10a，为了形成一个单元透明电极106，假设由诸如ito的材料所制成的透明电极中由虚线表示的一虚拟菱形以及穿过该虚拟菱形的顶点的直线。通过该过程，具有第一长度的直线位于构成一个菱形的四个顶点中的每一个顶点上。

接下来，参照图10b，执行通过连接具有第一长度的直线的端点来产生虚拟六边形的过程。通过该过程产生的六边形具有两个相对的边(①、④)以及除了这两条边之外的四条边(②、③、⑤、⑥)，其中，这两条相对的边(①、④)具有第一长度，而另外四条边(②、③、⑤、⑥)具有大于第一长度的第二长度。

接下来，参照图10c，执行通过直线连接具有第一长度的两条边(①、④)的端点以及通过曲线(诸如正弦波)连接具有第二长度的四条边(②、③、⑤、⑥)的端点的过程。当执行该过程时，获得具有一种与六边形对应的罐状形状的图案设计。该过程在所有单元透明电极106上执行，如图10e所示。

接下来，参照图10d，执行将连接具有第二长度的四条边(②、③、⑤、⑥)的端点的曲线的两端而不是中间部分去除并且还将具有第一长度的两条边(①、④)去除的过程。在图10d中，白色背景区域表示ito，黑色曲线为要通过刻蚀去除的部分。该部分为精细刻蚀图案。该过程在所有单元透明电极106上执行，如图10f所示。

例如，单元透明电极106可以具有范围从100μm至500μm的间距p以及范围从5μm至20μm的间隔(即，精细刻蚀图案的宽度d)。使用这样的配置，当外部光被施加到触摸传感器时，将由透明电极诱发的空间频率的低频分量转换成对用户不可见的高频分量，并且触摸传感器的总透光率随着电极区域的透光率的增大而增大，该电极区域为存在透明电极的区域，即第一感测电极单元40-1和第二感测电极单元50-1。

此外，例如，被配置为连接相邻单元透明电极106的连接单元可以具有范围从20μm至60μm的宽度a。使用这样的配置，可以防止在连接相邻单元透明电极106的过程中可能发生的电阻的增大，并且还可以防止由连接单元引起的可见度的减小。

关于由于第一感测电极单元和第二感测电极单元引起的可见度改善的实验，(所述第一感测电极单元和第二感测电极单元中的每一者都是以多个精细刻蚀图案为特征的单元透明电极的聚合体)，即，关于透明电极不会不必要地对用户可见的性质的实验，实际上取决于用户的视敏度。询问了100个实验组透明电极是否可见，结果，所有实验组都回答说没有看到透明电极。

下面的表1示出了通过比较相关现有技术与具有本实用新型第一实施方式的两种图案的单元透明电极105和106的光学特性而获得的结果。

[表1]

参见表1，当将应用两种精细刻蚀图案的单元透明电极105和106应用于根据本实用新型第一实施方式的第一感测电极单元和第二感测电极单元时，与不应用精细刻蚀图案的相关现有技术相比，透射率和反射率都得到了改善。此外，在实验组的可见度实验中，即在关于透明电极是否可见的询问中，所有实验组都回答透明电极不可见。

下面将详细描述各个元件。

基板10为在结构上支撑构成触摸传感器的各个元件的基底。

作为一个示例，基板10可以被配置为具有诸如耐热性和耐化学性的优异特性的刚性材料，例如玻璃、不锈钢(sus)等。

作为另一示例，基板10可以被配置为具有柔性材料。利用这样的配置，触摸传感器可以稳定地应用于需要柔性特性的可弯曲、可折叠、可卷曲或可伸缩的显示器。

例如，具有柔性材料的基板10可以为透明光学薄膜或偏光板。

对于透明光学薄膜，可以使用具有高透明度、高机械强度和高热稳定性的薄膜。具体的示例可以包括由热塑性树脂制成的薄膜，所述热塑性树脂包括基于聚酯的树脂(诸如聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚间苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯和聚对苯二甲酸丁二醇酯)、基于纤维素的树脂(诸如二乙酰纤维素和三乙酰纤维素)、基于聚碳酸酯的树脂、丙烯酸树脂(诸如聚甲基(甲基)丙烯酸甲酯和聚甲基(甲基)丙烯酸乙酯)、基于苯乙烯的树脂(诸如聚苯乙烯和丙烯腈-苯乙烯共聚物)、基于聚烯烃的树脂(诸如聚乙烯、聚丙烯、环状或降冰片烯结构的聚烯烃和乙烯-丙烯共聚物)、基于氯乙烯的树脂、基于酰胺的树脂(诸如尼龙和芳香族聚酰胺)、基于酰亚胺的树脂、基于聚醚砜的树脂、基于砜的树脂、基于聚醚醚酮的树脂、基于硫化聚亚苯的树脂、基于乙烯醇的树脂、基于偏二氯乙烯的树脂、基于乙烯醇缩丁醛的树脂、基于烯丙基化的树脂(allylate-basedresins)、基于聚甲醛的树脂、以及基于环氧的树脂。并且，可以使用由热塑性树脂组成的混合物制成的薄膜。另外，可以使用诸如(甲基)丙烯酸树脂、基于氨基甲酸乙酯的树脂、基于丙烯酸氨基甲酸乙酯的树脂、基于环氧的树脂、以及基于硅的树脂的热固性树脂制成的薄膜或由紫外线固化树脂制成的薄膜。透明光学薄膜可以具有适当确定的厚度。然而，通常情况下，考虑到薄层特性、可使用性(诸如强度和可操作性)等，可以将厚度确定为在1μm至500μm的范围内。特别地，优选厚度范围为1μm至300μm。更优选地，厚度范围为5μm至200μm。

透明光学薄膜可以包含一种或多种合适类型的添加剂。添加剂的示例例如包括：紫外线吸收剂、抗氧化剂、润滑剂、增塑剂、脱模剂、抗着色剂、阻燃剂、成核剂、抗静电剂、颜料和着色剂。透明光学薄膜在其一个或两个表面上可以具有包括各种功能层(诸如刚性涂层、抗反射层以及气体阻挡层)的结构。功能层并不限于上述描述，并且根据期望的用途，可以包括各种其它功能层。

此外，如果需要，可以对透明光学薄膜进行表面处理。表面处理的示例可以包括干燥处理(诸如等离子处理)、电晕处理、底涂处理、化学处理(诸如包括皂化的碱处理)等。

此外，透明光学薄膜可以是各向同性膜、延迟膜或保护膜。

在各向同性膜的情况下，面内延迟ro(ro＝[(nx-ny)×d]，其中，nx和ny各自为薄膜平面中的主折射率)小于或等于40nm并且优选地小于或等于15nm，厚度方向延迟rth(rth＝[(nx+ny)/2-nz]×d，其中，nx和ny各自为薄膜平面中的主折射率，nz为薄膜厚度方向的折射率，d为薄膜厚度)的范围为从-90nm至+75nm、优选地从-80nm至+60nm、并且更优选地从-70nm至+45nm。

延迟膜是通过对聚合物薄膜进行单轴拉伸、双轴拉伸、聚合物涂覆以及液晶涂覆而制造的薄膜。通常，延迟膜用于增强和调节显示器的光学特性(诸如视角补偿、颜色印象改善、漏光改善以及颜色调整)。延迟膜可以包括半波长(1/2)板或四分之一波长(1/4)板、正c板、负c板、正a板、负a板以及双轴波长板。

保护膜可以为在至少一个表面上包括粘合剂层的聚合树脂薄膜或者为诸如聚丙烯的自粘薄膜。保护膜可以用于保护触摸传感器表面并用于改善加工性能。

用于显示面板的已知偏光板可以用作所述偏光板。具体地，偏光板可以通过拉伸聚乙烯醇薄膜且在用碘或二色性染料染色的偏光器的至少一个表面上安装保护层、通过使液晶取向成具有偏光器性能、或者通过用诸如聚乙烯醇的定向树脂涂覆透明薄膜然后拉伸并染色所涂覆的透明薄膜来形成。然而，本实用新型不限于此。

分离层20是当基板10由柔性材料制成时可以应用的元件。分离层20是形成为在触摸传感器的制造过程期间将触摸传感器的元件从其上形成这些元件的刚性载体基板分离的层。从载体基板分离的元件可通过卷对卷(roll-to-roll)方法接合到由柔性材料制成的薄膜型基板10上。

分离层20的材料并没有特别的限制，只要该材料满足提供一定程度的分离力和透明度条件即可。例如，分离层20可以由诸如以下的聚合物制成：基于聚酰亚胺的聚合物、基于聚乙烯醇的聚合物、基于聚酰胺酸的聚合物、基于聚酰胺的聚合物、基于聚乙烯的聚合物、基于聚苯乙烯的聚合物、基于聚降冰片烯的聚合物、基于苯基马来酰亚胺共聚物的聚合物、基于聚偶氮苯的聚合物(polyazobenzene-basedpolymers)、基于聚亚苯基邻苯二酰胺的(polyphenylenephthalamide-based)聚合物、基于聚酯的聚合物、基于聚甲基丙烯酸甲酯的聚合物、基于聚芳酯的聚合物、基于肉桂酸的聚合物、基于香豆素的聚合物、基于苄甲内酰胺的聚合物、基于查尔酮的聚合物和基于芳香乙炔的聚合物。上述聚合物可以单独使用或组合使用。

分离层20的分离力并没有特别的限制。例如，分离力可以在0.01n/25mm至1n/25mm的范围内，并且优选地在0.01n/25mm至0.1n/25mm的范围内。当满足该范围时，触摸传感器的元件在触摸传感器的制造过程期间可以很容易地从载体基板分离而没有残留，并且还可以减少由分离期间产生的张力引起的卷曲和裂缝。

分离层20的厚度并没有特别的限制。例如，该厚度的范围可以为10nm至1000nm、优选地50nm至500nm。当满足该范围时，分离力可以是稳定的，并且可以形成均匀的图案。

内保护层30形成在分离层20上，并且是如果需要可以省略的可选元件。内保护层30的功能是防止分离层20暴露于蚀刻剂，该蚀刻剂用于在根据本实用新型的实施方式的触摸传感器的制造过程期间形成第一感测电极单元40-1、第二感测电极单元50-1以及桥接电极单元70-1。

对于内保护层30的材料，可以限制性地使用本领域中已知的聚合物。例如，可以应用有机绝缘膜。在有机绝缘膜中，内保护层30可以由包括多元醇和三聚氰胺固化剂的可固化组合物形成，但本实用新型并不限于此。

多元醇的具体示例可以包括但不限于聚醚乙二醇衍生物、聚酯乙二醇衍生物和聚已内酯乙二醇衍生物。

三聚氰胺固化剂的具体示例可以包括但不限于甲氧基甲基三聚氰胺衍生物、甲基三聚氰胺衍生物、丁基三聚氰胺衍生物、异丁氧基三聚氰胺衍生物和丁氧基三聚氰胺衍生物等。

作为另一示例，内保护层30可以由混合的有机-无机可固化组合物形成。当使用有机化合物和无机化合物两者时，则可以减少在分离期间产生的裂缝。

上述的组分可以用作有机化合物。无机化合物的示例包括但不限于基于二氧化硅的纳米颗粒、基于硅的纳米颗粒、玻璃纳米纤维等。

多个第一感测电极单元40-1在第一方向上形成在基板10上并彼此连接。多个第二感测电极单元50-1在与第一方向交叉的第二方向上形成在基板10上并彼此分离。绝缘层60形成在其上形成有第一感测电极单元40-1和第二感测电极单元50-1的该基板10上，使得第二感测电极单元50-1的至少一些通过通孔暴露。桥接电极单元70-1形成在绝缘层60上以占据所述通孔，从而将之间插入有第一感测电极单元40-1的两个相邻的第二感测电极单元50-1彼此连接。

如将稍后所述的，多个精细刻蚀图案形成在包括在第一感测电极单元40-1和第二感测电极单元50-1中的单元透明电极的边界部分中。形成在单元透明电极的边界部分中的多个精细刻蚀图案具有针对具有第一长度的两条相对的边和除了这两条边之外的大于第一长度的第二长度的四条边的六边形，连接所述四条边的端点的曲线的一部分被去除的形状。相邻的单元透明电极彼此电连接。

第一感测电极单元40-1在第一方向上形成，同时彼此电连接，第二感测电极单元50-1在第二方向上形成，同时彼此电分离。所述第二方向与所述第一方向交叉。例如，交叉方向是指共面但不彼此平行的两条不同的直线的方向。例如，第一方向可以为x-轴方向，第二方向可以为y-轴方向。这样的第一感测电极单元40-1和这样的第二感测电极单元50-1可以通过下面将描述的绝缘层60彼此电绝缘。

例如，为了减小表面电阻，第一感测电极单元40-1和第二感测电极单元50-1中的至少一者可以具有多层结构，并且更具体地，可以具有由金属氧化物、金属和金属氧化物组成的三层结构。

桥接电极单元70-1将相邻的第二感测电极单元50-1彼此电连接。

对于第一感测电极单元40-1、第二感测电极单元50-1以及桥接电极单元70-1，可以使用任何透明导电材料而没有限制。例如，形成第一感测电极单元40-1、第二感测电极单元50-1和桥接电极单元70-1的材料可以选自：选自由氧化铟锡(ito)、氧化铟锌(izo)、氧化铟锌锡(izto)、氧化铝锌(azo)、氧化镓锌(gzo)、掺杂氟的氧化锡(fto)、氧化铟锡-银-氧化铟锡(ito-ag-ito)、氧化铟锌-银-氧化铟锌(izo-ag-izo)、氧化铟锌锡-银-氧化铟锌锡(izto-ag-izto)以及氧化铝锌-银-氧化铝锌(azo-ag-azo)组成的组的金属氧化物；选自金(au)、银(ag)、铜(cu)、钼(mo)和apc的组的金属；选自由金、银、铜和铅组成的组的金属纳米线；选自由碳纳米管(cnt)和石墨烯组成的组的碳基材料；以及选自由聚合物(3，4-乙烯二氧噻吩)(pedot)和聚苯胺(pant)组成的组的导电聚合物材料。这些材料可以单独使用或组合使用。优选地，可以使用ito。晶态的ito和非晶态的ito都可以使用。

第一感测电极单元40-1、第二感测电极单元50-1和桥接电极单元70-1的厚度并没有特别的限制，但考虑到触摸传感器的柔性，第一感测电极单元40-1、第二感测电极单元50-1和桥接电极单元70-1的厚度优选地尽可能的薄。

第一感测电极单元40-1和第二感测电极单元50-1中的每一者都可以为多个单元透明电极的聚合体。

例如，第一感测电极单元40-1和第二感测电极单元50-1可以分别具有多边形(三角形、四边形、五边形、六边形、七边形或更多边形)图案。

此外，例如，第一感测电极单元40-1、第二感测电极单元50-1和桥接电极单元70-1中的一者可以以条带形式配置。

对于被配置为使第一感测电极单元40-1和第二感测电极单元50-1绝缘的绝缘层60的材料，可以使用本领域中已知的绝缘材料而没有限制。例如，可以使用热固性树脂组合物、或包括丙烯酸树脂或金属氧化物(诸如氧化硅)的光敏树脂组合物。可替选地，可以使用诸如硅氧化物siox的无机材料来形成绝缘层60。在这种情况下，可以使用沉积、溅射等来形成该绝缘层。

器件保护层80形成在其上形成有桥接电极单元70-1的绝缘层60上，并且被配置为使触摸传感器的各个元件与外部绝缘并保护触摸传感器的各个元件免受外部影响。

对于器件保护层80的材料，可以使用本领域已知的绝缘材料而没有限制。例如，可以使用热固性树脂组合物、或包括丙烯酸树脂或金属氧化物(诸如氧化硅)的光敏树脂组合物。可替选地，可以使用诸如硅氧化物siox的无机材料来形成器件保护层80。在这种情况下，可以使用沉积、溅射等来形成该器件保护层。

图5为根据本实用新型的第二实施方式的触摸传感器的截面图。

如上所述，根据本实用新型的第一实施方式的触摸传感器具有桥接电极单元70-1位于第一感测电极单元40-1和第二感测电极单元50-1上方的上桥接结构，而根据本实用新型的第二实施方式的触摸传感器具有桥接电极单元70-2位于第一感测电极单元40-2和第二感测电极单元50-2下方的下桥接结构。

除了这种差异之外，本实用新型的第二实施方式与第一实施方式基本相同，因此将省略对第二实施方式的冗余描述。

图6为根据本实用新型的第三实施方式的触摸传感器的截面图。

如上所述，与第一实施方式和第二实施方式不同，第三实施方式具有其中不使用桥接电极的对电极结构。该对电极结构具有第一感测电极单元40-3和第二感测电极单元50-3彼此相对并且绝缘层60介于第一感测电极单元40-3和第二感测电极单元50-3之间的结构。

除了这种差异之外，本实用新型的第三实施方式与第一实施方式和第二实施方式基本相同，因此将省略对第三实施方式的冗余描述。

如上详细所述，根据本实用新型，通过在透明电极上形成以多个精细刻蚀图案为特征的单元透明电极以便改善透明电极的可见度和透光率，可以防止由于形成有透明电极的电极区域与没有透明电极形成的电极间区域之间的光学特性的不同导致的透明电极不必要地对用户可见，并且还可以防止由于透明电极导致的透光率的减小。

此外，通过借助于在各个透明电极中形成的以多个精细刻蚀图案为特征的单元透明电极，将由在触摸传感器内部以规则的空间间隔重复形成的透明电极诱发的空间频率的低频分量转换成用户不可见的高频分量，可以增大触摸传感器的透光率，并且还可以增强触摸传感器的可见度。

此外，当触摸传感器接合到显示面板时，可以防止由于触摸传感器的像素阵列和显示面板的像素阵列之间的干扰而导致的光学干扰图案被显示为莫尔图案，从而防止光学质量的降低。

(附图标记说明)

10：基板

20：分离层

30：内保护层

40-1、40-2、40-3：第一感测电极单元

50-1、50-2、50-3：第二感测电极单元

60：绝缘层

70-1、70-2：桥接电极单元

80：器件保护层

105、106：单元透明电极

205、206：电极间虚设物