一种机台设备的测试方法及装置与流程

本申请涉及测试技术领域，特别是涉及一种机台设备的测试方法及装置。

背景技术：

目前半导体芯片厂商实现自动化生产是通过制造执行系统mes系统、自动化物料搬运系统amhs系统以及设备自动化控制系统eap共同实现的。

目前半导体芯片厂商普遍使用fastsim测试软件来模拟eap系统实现对机台设备自动化生产的测试，具体的，fastsim测试软件在进行自动化测试过程中，需要人工按照生产时序一条一条的下发控制指令实现对eap系统的自动化生产的测试，而目前半导体芯片厂商也尝试自己构建模拟eap系统实现自动化生产流程，但是均没有实现，主要原因在于构建模拟eap系统的自动化生产流程是固化好的程序，只能对统一格式的指令进行识别，因而针对于同一条指令在不同的时间下发的不同格式无法识别，因而导致半导体芯片厂商无法模拟设备自动化控制系统进行自动化生产的测试，因此只能依赖fastsim测试软件结合人工的方式，实现设备自动化控制系统进行自动化生产的测试。

技术实现要素：

本申请提供了一种机台设备的测试方法及装置，以解决目前厂商无法模拟设备自动化控制系统进行自动化生产测试的问题。

为了解决上述技术问题，本申请公开了一种机台设备的测试方法，包括：

加载第一配置文件，所述第一配置文件存储有机台设备的触发事件ceid与机台设备的生产工艺数据svid的第一关联关系；

加载第二配置文件，所述第二配置文件用于对所述机台设备的生产工艺数据进行加载；

判断与所述机台设备是否连接，若判断结果为是，则使用所述第一配置文件对所述机台设备进行初始化；

待所述机台设备初始化完成后，按照预设的生产时序，使用所述第一配置文件和所述第二配置文件对预设的所述机台设备的生产流程进行测试。

可选的，所述加载第一配置文件的步骤包括：

获取所述机台设备预先存储的机台设备的触发事件ceid与所述机台设备的生产工艺数据svid的第二关联关系；

解除获取到的所述第二关联关系；

创建所述生产工艺数据标识与所述机台设备的触发事件ceid的关系；

创建所述生产工艺数据标识与所述机台设备的生产工艺数据svid的关系；

重新建立机台设备的触发事件ceid与机台设备的生产工艺数据svid的第一关联关系。

可选的，所述按照生产时序，使用所述第一配置文件和所述第二配置文件对所述机台设备的生产流程进行测试的步骤包括：

调用所述第一配置文件中的所述机台设备的不同触发事件与不同所述生产工艺数据的第一关联关系，使所述机台设备根据不同触发事件对应的不同生产工艺数据进行测试；

调用所述第二配置文件中的获取工艺配方指令，根据所述工艺配方指令获取所述机台设备的待检测的生产配方信息；

当检测到所述机台设备的触发事件为检测生产配方事件时，获取待检测的生成配方信息，并判断待检测的生产配方信息是否修改；

若所述待检测的生产配方信息未修改，调用所述第二配置文件获取下发料盒开门指令；

当检测到所述机台设备的触发事件为收到第一物料位置信息事件时，获取第一物料位置信息事件对应的第一物料位置信息，通过所述第二配置文件，对所述第一物料位置信息进行加载，形成第二物料位置信息。

可选的，所述当检测到所述机台设备的触发事件为收到第一物料位置信息事件时，获取第一物料位置信息事件对应的第一物料位置信息，通过所述第二配置文件，对所述第一物料位置信息进行加载，形成第二物料位置信息的步骤包括：

按照生产时序，加载所述第二配置文件中所述第一物料位置信息对应的预先生成的不同信息指令；

判断所述不同信息指令是否是最小的项目，若是，对所述不同信息指令对应的不同生产工艺数据对应进行修改，生成第二物料位置信息，将所述第二物料位置信息下发至所述机台设备。

可选的，若判断待检测生产配方信息修改，则调用所述第二配置文件获取料盒解锁指令；

获取所述第二配置文件中预先生成的编辑解锁料盒指令；

判断预先生成的编辑的解锁料盒对应的工艺数据对象指令是否是最小的项目，若是，将所述工艺数据动作对象的对象值修改为解锁，生成解锁指令；

将所述解锁指令下发至所述机台设备，使机台设备将所述料盒从机台设备移除。

为了解决上述技术问题，本申请还公开了一种机台设备的测试装置，包括：

第一配置模块，用于加载第一配置文件，所述第一配置文件存储有机台设备的触发事件ceid与机台设备的生产工艺数据svid的第一关联关系；

第二配置模块，用于加载第二配置文件，所述第二配置文件用于对所述机台设备的生产工艺数据进行加载；

判断模块，用于判断与所述机台设备是否连接；

初始化模块，用于若所述判断模块的判断结果为是，则使用所述第一配置文件对所述机台设备进行初始化；

测试模块，用于待所述机台设备初始化完成后，按照预设的生产时序，使用所述第一配置文件和所述第二配置文件对预设的所述机台设备的生产流程进行测试。

可选的，所述第一配置模块包括：

第一获取模块，用于获取所述机台设备预先存储的机台设备的触发事件ceid与所述机台设备的生产工艺数据svid的第二关联关系；

解除模块，用于解除获取到的所述第二关联关系；

第一创建模块，用于创建所述生产工艺数据标识与所述机台设备的触发事件ceid的关系；

第二创建模块，用于创建所述生产工艺数据标识与所述机台设备的生产工艺数据svid的关系；

建立模块，用于重新建立机台设备的触发事件ceid与机台设备的生产工艺数据svid的第一关联关系。

可选的，所述测试模块包括：

第一调用模块，用于调用所述第一配置文件中的所述机台设备的不同触发事件与不同所述生产工艺数据的第一关联关系，使所述机台设备根据不同触发事件对应的不同生产工艺数据进行测试；

第二调用模块，用于调用所述第二配置文件中的获取工艺配方指令，根据所述工艺配方指令获取所述机台设备的待检测的生产配方信息；

第一判断模块，用于当检测到所述机台设备的触发事件为检测生产配方事件时，判断待检测的生产配方信息是否修改；

所述第二调用模块，还用于若所述判断模块的判断结果为待检测的生产配方信息未修改，调用所述第二配置文件获取下发料盒开门指令；

生成模块，用于当检测到所述机台设备的触发事件为收到第一物料位置信息事件时，获取第一物料位置信息事件对应的第一物料位置信息，通过所述第二配置文件，对所述第一物料位置信息进行加载，形成第二物料位置信息。

可选的，所述生成模块包括：

第二加载模块，用于按照生产时序，加载所述第二配置文件中所述第一物料位置信息对应的预先生成的不同信息指令；

第二判断模块，用于判断所述不同信息指令是否是最小的项目，若是，对所述不同信息指令对应的不同生产工艺数据对应进行修改，生成第二物料位置信息，将所述第二物料位置信息下发至所述机台设备。

可选的，若第一判断模块的判断结果为修改，则调用所述第二配置文件获取料盒解锁指令；

解锁模块，用于获取所述第二配置文件中预先生成的编辑解锁料盒指令；

第三判断模块，用于判断预先生成的编辑的解锁料盒对应的工艺数据对象指令是否是最小的项目，若是，将所述工艺数据动作对象的对象值修改为解锁，生成解锁指令；

下发模块，用于将所述解锁指令下发至所述机台设备，使机台设备将所述料盒从机台设备移除。

与现有技术相比，本申请包括以下优点：

本实施例，通过加载第一配置文件和第二配置文件实现了对设备软件的初始化，当测试软件与机台设备建立连接之后，使用第一配置文件对机台设备进行初始化，待机台设备初始化完成后，按照预设的生产时序，使用所述第一配置文件和所述第二配置文件对预设的所述机台设备的生产流程进行测试。整个测试过程不需要测试人员下发指令，从而实现了对机台设备的自动化生产的测试，与现有测试方式相比，测试人员不再需要一条一条的下发指令，减少测试人员的工作量同时测试软件控制了指令的下发时序，减少测试时的出错率，同时还可以实现多条指令的同一时间下发，最大程度的模拟机台设备的自动化生产。

当然，实施本申请的任一产品不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

附图说明

图1是本申请实施例所述一种机台设备的测试方法的流程图；

图2是本申请实施例所述一种机台设备的测试方法的流程图；

图3是本申请实施例一种机台设备的测试装置的结构示意图。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本申请作进一步详细的说明。

参照图1，其示出了本申请实施例所述一种机台设备的测试方法的流程图，该测试方法主要应用于不同的半导体芯片厂商，不同的半导体芯片厂商通过该测试方法可以实现对机台设备的测试，具体包括：

步骤101：加载第一配置文件，所述第一配置文件存储有机台设备的触发事件ceid与机台设备的生产工艺数据svid的第一关联关系。

其中，机台设备上定义了许多触发事件，触发事件可以简称为ce，每个触发事件都会有一个身份标识id，因此机台设备的触发事件可以简称为ceid。

机台设备上定义了许多statusvariable数据，简称为sv数据，每个sv数据都会有一个身份标识id，因此机台设备的生产工艺数据可以简称为svid。

本申请为了实现对不同机台设备厂商的统一控制提出使用第一配置文件，该所述第一配置文件存储有机台设备的触发事件ceid与机台设备的生产工艺数据svid的第一关联关系。

具体的，对机台设备的不同触发事件定义一个单独的名称，并给每个名称分配唯一的id标识，不同的机台设备id标识不同，但是对测试软件来说，虽然不同的机台设备id标识不同，但是对应的触发事件是相同的，从而实现对不同机台设备的控制。

例如：以任务开始(cjobstart)事件为例，测试软件会把cjobstart事件定义为controljobstart，对于机台设备来说这个事件就是一个ceid，机台设备甲对应得标识是10010，机台设备乙对应得标识则是74，通过第一配置文件能让测试软件认识到不管来的标识是10010还是74，都对应的是controljobstart。

在实际应用中，不同的机台设备的触发事件ceid对应不同的机台设备的生产工艺数据svid，并且一个机台设备的触发事件对应不同的机台设备的生成数据工艺数据svid。

在本实施例中，步骤101包括如下子步骤：

子步骤1011：获取所述机台设备预先存储的机台设备的触发事件与所述机台设备的生产工艺数据的第二关联关系。

具体的，获取预先生成的生产工艺数据标识reportid与svid的关系，加载预先生成的reportid与ceid的关系，通过reportid建立了ceid与svid之间的第二关联关系。

子步骤1012：解除获取到的所述第二关联关系。

测试软件在工作前是需要进行初始化，软件初始化的原因是因为机台厂商不同，提供的软件也不同，在最初进入fab时每个机台设备的状态也不可能相同，因此就需要在机台设备接入测试软件时对机台设备进行初始化，从而保证机台设备的状态是软件系统想要的状态，因此需要解除第二关联关系，然后由在重新建立机台设备的触发事件ceid与机台设备的生产工艺数据svid的关联关系。子步骤1013：创建所述生产工艺数据标识与所述机台设备的触发事件ceid的关系。

子步骤1014：创建所述生产工艺数据标识与所述机台设备的生产工艺数据svid的关系。

子步骤1015：重新建立机台设备的触发事件ceid与机台设备的生产工艺数据svid的第一关联关系。

每个机台设备的触发事件可以对应多个机台设备的生产工艺数据，这样当触发事件被触发时可以根据生产工艺数据进行自动化测试。

将重新建立完成后的第一关联关系下发至机台设备，机台设备接收第一关联关系，则机台设备初始化完成，若机台设备不接收第一关联关系，则初始化异常，流程结束。

步骤102：加载第二配置文件，所述第二配置文件用于对所述机台设备的生产工艺数据进行加载。

在第二配置文件中存储有多条指令，通过加载第二配置文件中的指令可以实现对不同生产工艺数据的加载。

通过第一配置文件实现了使用同一软件对不同机台设备的统一管理，利用第二配置文件实现对机台设备的生产工艺数据的加载，即利用第二配置文件实现了对要下发的生产工艺数据指令的加载。

步骤103：判断与所述机台设备是否连接，若判断结果为是，则使用所述第一配置文件对所述机台设备进行初始化。

若判断结果为否，则继续判断与机台设备是否连接。

步骤104：待所述机台设备初始化完成后，按照预设的生产时序，使用所述第一配置文件和所述第二配置文件对预设的所述机台设备的生产流程进行测试。

本实施例，通过加载第一配置文件和第二配置文件实现了对设备软件的初始化，当测试软件与机台设备建立连接之后，使用第一配置文件对机台设备进行初始化，待机台设备初始化完成后，按照预设的生产时序，使用所述第一配置文件和所述第二配置文件对预设的所述机台设备的生产流程进行测试。整个测试过程不需要测试人员下发指令，从而实现了对机台设备的自动化生产的测试，与现有测试方式相比，测试人员不再需要一条一条的下发指令，减少测试人员的工作量，同时测试软件控制了指令的下发时序，减少测试时的出错率，同时还可以可实现多条指令的同一时间下发，最大程度的模拟机台设备的自动化生产。

参照图2，其示出了本申请实施例所述一种机台设备的测试方法的流程图，该测试方法主要应用于不同的半导体芯片厂商，具体包括：

步骤201：加载第一配置文件，所述第一配置文件存储有机台设备的触发事件ceid与机台设备的生产工艺数据svid的第一关联关系。

步骤202：加载第二配置文件，所述第二配置文件用于对所述机台设备的生产工艺数据进行加载。

步骤203：判断与所述机台设备是否连接，若判断结果为是，使用所述第一配置文件对所述机台设备进行初始化。

步骤204：调用所述第一配置文件中的所述机台设备的不同触发事件与不同所述生产工艺数据的第一关联关系，使所述机台设备根据不同触发事件对应的不同生产工艺数据进行测试。

在实际应用中，当检测到机台设备的触发事件为料盒到达事件时，根据所述料盒到达事件与所述生产工艺数据的第一关联关系，对所述机台设备的料盒到达事件进行测试。

其中，料盒到达事件对应的生成工艺数据可以为料盒是否到达。

当检测到所述机台设备的触发事件为接收料盒标识事件时，根据所述接收料盒标识事件与所述生产工艺数据的第一关联关系，对所述机台设备的接收料盒标识事件进行测试。

步骤205：调用所述第二配置文件中的获取工艺配方指令，根据所述工艺配方指令获取所述机台设备的待检测的生产配方信息。

在实际应用中，第二配置文件中预先已经存储了获取工艺配方指令，这样通过调用第二配置文件中的获取工艺配方指令，就可以获取到到待检测的生成配方信息。

步骤206：当检测到所述机台设备的触发事件为检测生产配方事件时，判断待检测的生产配方信息是否修改，若未修改，则执行步骤207，若修改，则执行步骤211。

在具体应用中，将待检测的生产配方信息与机台设备中预先存储的生产配方信息进行比较，若相同，则说明未修改，则执行步骤207，若不同，则说明生产配方信息进行了修改，则执行步骤211。

步骤207：调用所述第二配置文件获取下发料盒开门指令。

步骤208：当检测到所述机台设备的触发事件为收到第一物料位置信息事件时，获取第一物料位置信息事件对应的第一物料位置信息，通过所述第二配置文件，对所述第一物料位置信息进行加载，形成第二物料位置信息。

在实际应用中，步骤208可以通过以下方式形成第二物料位置信息，

按照预设的生产时序，加载所述第二配置文件中所述第一物料位置信息对应的预先生成的不同信息指令。

判断所述不同信息指令是否是最小的项目，若是，对所述不同信息指令对应的不同生产工艺数据对象值对应进行修改，生成第二物料位置信息，将所述第二物料位置信息下发至所述机台设备。

下面以物料位置信息为例，说明步骤208形成第二物料位置信息的过程，具体如下：

在实际应用中，第二配置文件预先生成指令的格式为l5是一个单独的list，l5下面有5个子item，依次是数据标识dataid、工艺参数的动作carrieraction、料盒标识carrierid、机台端口ptn、物料端口号ln，在l5的子itemln下面它又挂有一个l2的子item，在l2的子item下面又有两个子item分别是cattrid和cattrdata。

按照预设的生产时序，加载所述第二配置文件预先生成的物料位置信息指令。

判断所述物料位置信息指令是否是最小的项目，若是，将预先生成的物料位置信息指令对应的生产工艺数据对象的对象值修改为料盒的晶片数量。

若物料位置信息指令不是最小的项目，则将item的format赋值成list，将value赋值成它的子item。

上述两个步骤是将l2的子item的acattrid＝<nothing>-camerattnbuteobject中的<nothing>修改为<capacity>。

vcattrdata＝<nothing>-camerattnbutevalue中的<nothing>修改为<25>，修改后的程序如下所示：

acattrid＝'capacity'-camerattnbuteobject。

u1cattrdata＝'25'-camerattnbutevalue。

加载所述第二配置文件预先生成的晶片信息指令。

判断所述晶片信息指令是否是最小的项目，若是，将所述晶片信息指令对应的生产工艺数据对象值修改为料盒中的实际晶片数量。

上述两个步骤是将l2的子item的acattrid＝<nothing>-camerattnbuteobject中的<nothing>修改为<substratecount>。

vcattrdata＝<nothing>-camerattnbutevalue中的<nothing>修改为<25>，修改后的程序如下所示：

acattrid＝'substratecount'-camerattnbuteobject。

u1cattrdata＝'25'-camerattnbutevalue。

若物料位置信息指令不是最小的项目，则将item的format赋值成list，将value赋值成它的子item。

加载所述第二配置文件预先生成的料盒状态信息指令。

判断所述料盒状态信息指令是否是最小的项目，若是，将所述料盒的状态信息指令对应的生产工艺数据对象值进行修改。

若物料位置信息指令不是最小的项目，则将item的format赋值成list，将value赋值成它的子item。

上述两个步骤是将l2的子item的acattrid＝<nothing>-camerattnbuteobject中的<nothing>修改为<usage>。

acattrdata＝<nothing>-camerattnbutevalue中的<nothing>修改为<product>，修改后的程序如下所示：

acattrid＝'usage'-camerattnbuteobject。

u1cattrdata＝'product'-camerattnbutevalue。

加载所述第二配置文件预先生成的物料信息指令；

判断所述物料信息指令是否是最小的项目，若是，将所述物料信息指令对应的生产工艺数据对象值进行修改。

若物料位置信息指令不是最小的项目，则将item的format赋值成list，将value赋值成它的子item。

上述两个步骤是将l2的子item的acattrid＝<nothing>-camerattnbuteobject中的<nothing>修改为<contentmap>。

acattrid＝'contentmap'-camerattnbuteobject。

若料盒槽位中有晶片则对a-lotid和asubstrateid进行赋值，若没有晶片则赋值为空。

加载所述第二配置文件预先生成的晶片信息指令。

判断所述料盒槽位中的晶片信息指令是否是最小的项目，若是，将所述料盒槽位中的晶片信息指令对应的生产工艺数据对象值进行修改，生成第二物料位置信息，将所述第二物料位置信息下发至所述机台设备。

上述两个步骤是将l2的子item的acattrid＝<nothing>-camerattnbuteobject中的<nothing>修改为<slotmap>。

acattrid＝'slotmap'-camerattnbuteobject。

若料盒槽位有晶片u1赋值为3，若没有晶片u1赋值为1。

步骤209：当检测到所述机台设备的触发事件为物料进入生产设备事件时，根据所述物料进入生产设备事件与所述生产工艺数据的第一关联关系确定物料是否进入生产设备，若是，则执行步骤210，若否，则执行步骤211-213。

步骤210：当检测到所述机台设备的触发事件为生产结束事件时，则判断所述生成工艺数据是否正常结束，直至生产结束再创建让料盒退出设备的指令并下发给设备，完成自动退料的流程。

步骤211：调用所述第二配置文件获取料盒解锁指令。

步骤212：获取所述第二配置文件中预先生成的编辑解锁料盒指令。

步骤213：判断预先生成的编辑的解锁料盒对应的工艺数据对象指令是否是最小的项目，若是，将所述工艺数据动作对象的对象值修改为解锁，生成解锁指令。

步骤214：将所述解锁指令下发至所述机台设备，使机台设备将所述料盒从机台设备移除。

本实施例，软件与机台设备建立连接后，只需要将料盒放在机台设备上，测试软件就能模拟工厂自动化系统下发指令给机台设备，将料盒打开，并对料盒里面的物料信息进行验证，验证成功后会自动下发指令给设备，让设备开始生产，在生产结束后可自动向设备下发关闭料盒及解锁料盒指令，实现料盒的自动退出。整个过程不再需要人下发任何一条指令，全部由测试软件按照时序进行下发，从而实现了对设备软件自动化生产的测试。

需要说明的是，对于前述的方法实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动作组合，但是本领域技术人员应该知悉，本申请并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本申请，某些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于优选实施例，所涉及的动作并不一定是本申请所必需的。

基于上述方法实施例的说明，本申请还提供了相应的装置实施例，来实现上述方法实施例所述的内容。

参照图3，其示出了本申请实施例所述一种机台设备的测试装置的结构图，具体包括：

第一配置模块301，用于加载第一配置文件，所述第一配置文件存储有机台设备的触发事件ceid与机台设备的生产工艺数据svid的第一关联关系；

第二配置模块302，用于加载第二配置文件，所述第二配置文件用于对所述机台设备的生产工艺数据进行加载；

判断模块303，用于判断与所述机台设备是否连接；

初始化模块304，用于若所述判断模块的判断结果为是，则使用所述第一配置文件对所述机台设备进行初始化；

测试模块305，用于待所述机台设备初始化完成后，按照预设的生产时序，使用所述第一配置文件和所述第二配置文件对预设的所述机台设备的生产流程进行测试。

可选的，所述第一配置模块包括：

第一加载模块，用于获取所述机台设备预先存储的机台设备的触发事件ceid与所述机台设备的生产工艺数据svid的第二关联关系；

解除模块，用于解除获取到的所述第二关联关系；

第一创建模块，用于创建所述生产工艺数据标识与所述机台设备的触发事件的关系；

第二创建模块，用于创建所述生产工艺数据标识与所述机台设备的生产工艺数据的关系；

建立模块，用于重新建立机台设备的触发事件ceid与机台设备的生产工艺数据sid的第一关联关系。

可选的，所述测试模块包括：

第一调用模块，用于调用所述第一配置文件中的所述机台设备的不同触发事件与不同所述生产工艺数据的第一关联关系，使所述机台设备根据不同触发事件对应的不同生产工艺数据进行测试；

第二调用模块，用于调用所述第二配置文件中的获取工艺配方指令，根据所述工艺配方指令获取所述机台设备的待检测的生产配方信息；

第一判断模块，用于当检测到所述机台设备的触发事件为检测生产配方事件时，获取待检测的生成配方信息，并判断待检测的生产配方信息是否修改；

所述第二调用模块，还用于若所述判断模块的判断结果为待检测的生产配方信息未修改，调用所述第二配置文件获取下发料盒开门指令；

生成模块，用于当检测到所述机台设备的触发事件为收到第一物料位置信息事件时，获取第一物料位置信息事件对应的第一物料位置信息，通过所述第二配置文件，对所述第一物料位置信息进行加载，形成第二物料位置信息。

可选的，所述生成模块包括：

第二加载模块，用于按照生产时序，加载所述第二配置文件中所述第一物料位置信息对应的预先生成的不同信息指令；

第二判断模块，用于判断所述不同信息指令是否是最小的项目，若是，对所述不同信息指令对应的不同生产工艺数据对应进行修改，生成第二物料位置信息，将所述第二物料位置信息下发至所述机台设备。

可选的，若第一判断模块的判断结果为修改，则调用所述第二配置文件获取料盒解锁指令；

解锁模块，用于获取所述第二配置文件中预先生成的编辑解锁料盒指令；

第三判断模块，用于判断预先生成的编辑的解锁料盒对应的工艺数据对象指令是否是最小的项目，若是，将所述工艺数据动作对象的对象值修改为解锁，生成解锁指令；

下发模块，用于将所述解锁指令下发至所述机台设备，使机台设备将所述料盒从机台设备移除。

本实施例，通过加载第一配置文件和第二配置文件实现了对设备软件的初始化，当测试软件与机台设备建立连接之后，使用第一配置文件对机台设备进行初始化，待机台设备初始化完成后，按照预设的生产时序，使用所述第一配置文件和所述第二配置文件对预设的所述机台设备的生产流程进行测试。整个测试过程不需要测试人员下发指令，从而实现了对机台设备的自动化生产的测试，与现有测试方式相比，测试人员不再需要一条一条的下发指令，减少测试人员的工作量，同时测试如阿娇控制了指令的下发时序，减少测试时的出错率，同时还可以可实现多条指令的同一时间下发，最大程度的模拟机台设备的自动化生产。

对于上述装置实施例而言，由于其与方法实施例基本相似，所以描述的比较简单，相关之处参见所示方法实施例的部分说明即可。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。

本领域技术人员易于想到的是：上述各个实施例的任意组合应用都是可行的，故上述各个实施例之间的任意组合都是本申请的实施方案，但是由于篇幅限制，本说明书在此就不一一详述了。

本领域内的技术人员应明白，本申请的实施例可提供为方法、系统、或计算机程序产品。因此，本申请可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本申请可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器、cd-rom、光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。

本申请是参照根据本申请实施例的方法、设备(系统)、和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程数据处理设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。

这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。

这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理设备上，使得在计算机或其他可编程设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。

尽管已描述了本申请的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本申请范围的所有变更和修改。

以上对本申请所提供的一种机台设备的测试方法及装置，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本申请的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。