。
[0033]本实施例中，所述导电模块优选等间距分布，相邻所述导电模块的间距相等，所述导电模块优选为菱形。
[0034]作为本发明的其他实施例，所述导电模块还可以为其他图案，均可以实现本发明的目的，属于本发明的保护范围。
[0035]本实施例中，所述纵向导电单元中的导电模块210与所述横向导电单元中的导电模块220优选以同种材料形成在同一层中。
[0036]相邻所述纵向导电单元中的导电模块210之间通过第一层导电桥211串联连接；所述第一层导电桥211与所述纵向导电单兀中的导电模块210以同种材料形成在同一层中，即直接设置在所述衬底100上。
[0037]相邻所述横向导电单元中的导电模块220之间通过第二层导电桥221串联连接。
[0038]所述第一层导电桥211与所述第二层导电桥221之间设置有使之彼此绝缘的第一介电层300，即所述第一介电层300直接设置在靠近衬底100的一层所述导电桥(所述第一层导电桥211)上。所述衬底100上直接设置有覆盖所有所述纵向导电单元中的导电模块210、所述横向导电单兀中的导电模块220、所述第二层导电桥221以及所述第一介电层300的所述第二介电层400。所述第一介电层300和所述第二介电层400共同构成介电层，位于相邻两所述导电模块之间的介电层上成型有条形凹槽410，所述凹槽410贯穿整个所述介电层的厚度。
[0039]所述凹槽410的宽度小于或等于相邻所述导电模块的间距。
[0040]所述电容式触摸屏的制备方法，包括如下步骤:
[0041]S1、在衬底100上形成第一导电层，并图案化形成分别沿纵向间隔排布的若干纵向导电单元中的导电模块210，沿横向间隔排布的若干横向导电单元中的导电模块220以及沿纵向设置在相邻纵向导电单元中的导电模块210之间的第一层导电桥211，以串接所述导电模块，形成多个平行设置的纵向导电单元。
[0042]作为本发明的其他实施例，也可以先形成沿横向设置在相邻横向导电单元中的导电模块220之间的导电桥，以形成多个平行设置的横向导电单元。
[0043]S2、在衬底100上直接形成覆盖图案化后的第一导电层的第一介电质材料层，并图案化制得覆盖第一层导电桥211的第一介电层300。
[0044]S3、在第一介电层300上形成第二层导电桥221，将步骤SI中未串接的导电模块进行串接，以形成多个平行设置的横向导电单元。
[0045]S4、在衬底100上直接形成覆盖导电模块、第一介电层300和第二层导电桥221的第二介电层400。
[0046]S5、通过掩膜对第二介电层400进行图案化，即通过光刻工艺对直接设置在衬底100上的第二介层400区域进行刻蚀，形成垂直贯通第二介电层400并设置在相邻导电模块之间的条形凹槽410。
[0047]所述电容式触摸屏的各层材料和厚度均同现有技术，步骤SI?S4中具体制备工艺同现有技术。
[0048]本发明所述的电容式触摸屏的制备方法，对设置在相邻所述导电模块之间的介电层区域进行刻蚀，形成条形凹槽410，可实现对导电模块的再次图案化，使得纵向导电单元中的导电模块210和横向导电单元中的导电模块220间的短路缺陷会在该步骤中实现刻断，提高了产品的良率，大幅降低了生产成本。另外，在现有制作工艺的基础上只需要对介电层图形化的光罩图形做相应设计，完成刻蚀后即可实现，不但大幅提高产品良率，而且工艺简单，具有极佳的应用价值。
【主权项】
1.一种电容式触摸屏，包括形成于衬底上的多个平行设置的横向导电单元和多个平行设置的纵向导电单元，多个横向导电单元与纵向导电单元形成彼此绝缘的交叉网络，每个横向导电单元和纵向导电单元均由多个导电模块通过多个导电桥串接组成，在衬底上设有覆盖所有横向导电单元、纵向导电单元及导电桥的介电层，其特征在于，位于相邻两所述导电模块之间的介电层上成型有条形凹槽，所述凹槽垂直贯穿整个所述介电层的厚度。
2.根据权利要求1所述的电容式触摸屏，其特征在于，所述凹槽的宽度小于或等于相邻所述导电模块的间距。
3.根据权利要求1或2所述的电容式触摸屏，其特征在于，所述横向导电单元中的导电模块与所述纵向导电单元中的导电模块以同种材料形成在同一层中。
4.根据权利要求3所述的电容式触摸屏，其特征在于，所述横向导电单元或所述纵向导电单元中所述导电桥与所述导电模块以同种材料形成在同一层中。
5.根据权利要求1或2或4所述的电容式触摸屏，其特征在于，所有所述导电模块为菱形。
6.根据权利要求1或2或4所述的电容式触摸屏，其特征在于，所述介电层包括第一介电层和第二介电层，所述第一介电层直接设置在靠近衬底的一层所述导电桥上，所述第二介电层设置在所有所述导电模块和远离衬底的一层所述导电桥上。
7.—种权利要求1-6任一所述的电容式触摸屏的制备方法，其特征在于，包括如下步骤: 51、在衬底上形成第一导电层，并图案化形成分别沿横向和纵向间隔排布的导电模块，在沿横向或纵向设置的导电模块之间形成第一层导电桥，以串接所述导电模块，形成多个平行设置的横向导电单元或多个平行设置的纵向导电单元； 52、在衬底上直接形成覆盖图案化后的第一导电层的第一介电质材料层，并图案化制得覆盖第一层导电桥的第一介电层； 53、在第一介电层上形成第二层导电桥，将步骤SI中未串接的导电模块进行串接； 54、在衬底上直接形成覆盖导电模块、第一介电层和第二层导电桥的第二介电层； 55、通过掩膜对第二介电层进行图案化，形成垂直贯通第二介电层并设置在相邻导电模块之间的条形凹槽。
8.根据权利要求7所述的电容式触摸屏的制备方法，其特征在于，步骤SI中，所述第一层导电桥与所述导电模块同步骤制得。
【专利摘要】本发明所述的电容式触摸屏及其制备方法，对设置在相邻所述导电模块之间的介电层区域进行刻蚀，形成条形凹槽，可实现对导电模块的再次图案化，从而使得导电模块间的短路缺陷在该工艺中实现刻断，提高了产品的良率，大幅降低了生产成本；而且，在现有制作工艺的基础上只需要对介电层图形化的光罩图形做相应设计，完成相应的刻蚀即可实现产品良率的大幅提高，工艺简单，具有极佳的应用价值。
【IPC分类】G06F3-044
【公开号】CN104731420
【申请号】CN201310713054
【发明人】胡贤夫
【申请人】昆山国显光电有限公司
【公开日】2015年6月24日
【申请日】2013年12月20日