廓。 阳132] 实施例2
[013引图17是示出实施例2所设及的电极图案PT的局部的示意图。本实施例所设及的 电极图案PT通过将图17的左侧所示的单位图案U2沿着格子GRD中包含的单元化的对角 线方向（排列方向化1)和单元化的另一对角线方向（排列方向化2)排列而构成。
[0134] 单位图案U2是在由接连的两条第一线L1与接连的Ξ条第二线L2构成的两个单 元化中于除各单元化的边界W外的六条边上配置细线片化1、化2、化3、化4、化1、Tb2而 成的图案。运样，单位图案U2用细线片T封闭。在图17示出的例子中，第一线L1与第二 线L2正交，并且间距P1、P2相等。因此，单位图案U2是长边的长度为短边的长度的2倍的 长方形。
[0135] 在电极图案PT中，相邻的两个单位图案U2的轮廓共用一根细线片T而形成。例 如，在排列方向化1上接连的两个单位图案肥中，配置于其边界的一根细线片化在一方的 单位图案U2中被用作细线片化2,在另一方的单位图案U2中被用作细线片化3,由此来形 成运些单位图案肥的轮廓。 阳136]实施例3 阳137]图18是示出实施例3所设及的电极图案PT的局部的示意图。本实施例所设及的 电极图案PT通过组合图18的左侧所示的单位图案U3a、U3b而构成。具体而言，电极图案 PT是将沿着格子GRD中包含的单元化的对角线方向（排列方向化1)排列的多个单位图 案U3a和沿着该对角线方向排列的多个单位图案U3b沿单元化的另一对角线方向（排列 方向化2)交替配置而成的图案。
[0138] 单位图案U3a是在由接连的两条第一线L1与接连的Ξ条第二线L2构成的两个单 元化中于除各单元化的边界W外的六条边上配置细线片化1、化2、化3、化4、化1、Tb2而 成的图案。单位图案U3b是在由接连的Ξ条第一线L1与接连的两条第二线L2构成的两个 单元化中于除各单元化的边界W外的六条边上配置细线片化5、化6、化3、化4、化5、化6 而成的图案。运样，单位图案U3a、U3b均用细线片T封闭。在图18示出的例子中，第一线 L1与第二线L2正交，并且间距P1、P2相等。因此，单位图案U3a、U3b是长边的长度为短边 的长度的2倍的长方形。 阳139] 在电极图案PT中，相邻的两个单位图案U3a、相邻的两个单位图案U3bW及相邻的 单位图案U3a与单位图案U3b的轮廓共用一根细线片T而形成。例如，在排列方向Dsl上 接连的两个单位图案U3a中，配置于其边界的一根细线片Ta在一方的单位图案U3a中被用 作细线片化2,在另一方的单位图案U3a中被用作细线片化3,由此来形成运些单位图案U3a 的轮廓。
[0140] 另外，例如，在排列方向Dsl上接连的两个单位图案U3b中，配置于其边界的一根 细线片化在一方的单位图案U3b中被用作细线片化4,在另一方的单位图案U3b中被用作 细线片化5,由此来形成运些单位图案U3b的轮廓。
[0141] 单位图案U3a与四个单位图案U3b相邻。单位图案U3a的轮廓与运四个单位图案 U3b的轮廓共用细线片化1、化4、化1、Tb2而形成。
[0142] 另外，单位图案U3b与四个单位图案U3a相邻。单位图案U3b的轮廓与运四个单 位图案U3a的轮廓共用细线片化5、化6、化3、Tb6而形成。 阳143] 实施例4
[0144] 图19是示出实施例4所设及的电极图案PT的局部的示意图。本实施例所设及的 电极图案PT通过组合图19的左侧所示的单位图案U4a、U4b而构成。具体而言，电极图案 PT是沿着由在第二线L2的延伸方向DL2上接连的Ξ个单元化构成的矩形的对角线方向 化5交替配置沿着构成格子GRD的第一线L1的延伸方向DL1排列的多个单位图案U4a和沿 着该延伸方向DL1排列的多个单位图案U4b而成的图案。
[0145] 单位图案U4a是在由接连的Ξ条第一线L1与接连的Ξ条第二线L2构成的四个单 元化中的Ξ个中，于除各单元化的边界W外的八条边上配置细线片化1、化2、化3、化4、 化1、化2、化3、化4而成的图案。单位图案U4b是在由接连的Ξ条第一线L1与接连的Ξ条 第二线L2构成的四个单元化中的Ξ个中，于除各单元化的边界W外的八条边上配置细线 片化5、化6、化7、化8、化5、化6、化7、Tb8而成的图案。运样，单位图案U4a、U4b均用细线 片T封闭。在图19示出的例子中，第一线L1与第二线L2正交，并且间距P1、P2相等。单 位图案U4a、U4b均构成弯曲成直角的L字形的形状。 阳146] 在电极图案PT中，相邻的两个单位图案U4a、相邻的两个单位图案U4bW及相邻的 单位图案U4a与单位图案U4b的轮廓共用至少一根细线片T而形成。例如，在第一线L1的 延伸方向DL1上接连的两个单位图案U4a中，配置于其边界的一根细线片化在一方的单位 图案U4a中被用作细线片化1，在另一方的单位图案U4a中被用作细线片化4,由此来形成 运些单位图案U4a的轮廓。
[0147] 另外，例如，在第一线L1的延伸方向DL1上接连的两个单位图案U4b中，配置于 其边界的一根细线片化在一方的单位图案U4b中被用作细线片化5,在另一方的单位图案 U4b中被用作细线片化8,由此来形成运些单位图案U4b的轮廓。
[0148] 单位图案U4a与四个单位图案U4b相邻。单位图案U4a的轮廓与运四个单位图案 U4b的轮廓共用细线片化1、化2、化3、化4、化2、Tb3而形成。
[0149] 另外，单位图案U4b与四个单位图案U4a相邻。单位图案U4b的轮廓与运四个单 位图案U4a的轮廓共用细线片化5、化6、化7、化8、化6、Tb7而形成。 阳150] 实施例5 阳151] 图20是示出实施例5所设及的电极图案PT的局部的示意图。本实施例所设及的 电极图案PT是将图20的左侧所示的单位图案U5沿着由在第一线L1的延伸方向DL1和第 二线L2的延伸方向DL2上接连的Ξ个单元化构成的矩形的对角线方向化5排列而成的图 案。 阳152] 单位图案呪是在由接连的五条第一线L1与接连的四条第二线L2构成的多个单 元化中的六个中，于除各单元化的边界W外的十四条边上配置细线片Tal、Ta2、Ta3、Ta4、 化5、化6、化1、化2、化3、化4、化5、化6、化7、Tb8而成的图案。运样，单位图案呪用细线片T封闭。在图20示出的例子中，第一线L1与第二线L2正交，并且间距P1、P2相等。单位 图案U5构成使弯曲成直角的两个L字方向倒转并在弯曲部分将其连结的形状。 阳153] 在电极图案PT中，相邻的两个单位图案U5的轮廓共用至少一根细线片T而形成。 例如，在第一线L1的延伸方向DL1上接连的两个单位图案呪中，配置于其边界的一根细线 片化和两根细线片化在一方的单位图案U5中被用作细线片化3、化1、化3,在另一方的单 位图案呪中被用作细线片化4、化6、化8,由此来形成运些单位图案呪的轮廓。 阳154] 实施例6 阳155] 图21是示出实施例6所设及的电极图案PT的局部的示意图。本实施例所设及的 电极图案PT是将沿格子GRD中包含的单元CL的对角线方向（排列方向Ds2)弯曲延伸的 检测线W沿着单元化的另一对角线方向（排列方向化1)W规定间距排列而构成的。检测 线W是通过将图21的左侧所示的单位图案U6的端部彼此连接并沿排列方向Ds2排列运些 单位图案U6而构成的。
[0156] 单位图案U6是在由接连的两条第一线L1与接连的两条第二线L2构成的单元化 中的相邻的两条边上配置细线片Ta、化而成的图案。在图21示出的例子中，第一线L1与 第二线L2正交，并且间距P1、P2相等。单位图案U6构成弯曲成直角的L字形的形状。 阳157] 实施例7
[0158] 图22是示出实施例7所设及的电极图案PT的局部的示意图。本实施例所设及的 电极图案PT是将图22的左侧所示的单位图案U7沿着构成格子GRD的第一线L1的延伸方 向DL1和构成格子GRD的第二线L2的延伸方向DL2排列而构成的。单位图案U7是在由接 连的两条第一线L1和接连的两条第二线L2构成的单元（cell)化中于相对的两条边上分 别配置细线片化1、Ta2并在相对的另外两条边上配置细线片化1、Tb2而成的图案。运样， 单位图案U7用细线片T封闭。在图22示出的例子中，第一线L1与第二线L2W从第一线 L1到第二线L2的顺时针方向角度为纯角（逆时针方向角度为锐角）的方式相交，且间距 P1、P2相等。因此，单位图案U7是菱形。
[0159] 在电极图案PT中，相邻的两个单位图案U7的轮廓共用一根细线片T而形成。例 如，在第一线L1的延伸方向DL1上接连的两个单位图案U7中，配置于其边界的一根细线 片化在一方的单位图案U7中被用作细线片化1，在另一方的单位图案U7中被用作细线片 化2,由此来形成运些单位图案U7的轮廓。 阳16〇] 实施例8 阳161] 图23是示出实施例8所设及的电极图案PT的局部的示意图。本实施例所设及的 电极图案PT是通过组合图23的左侧所示的单位图案U8a、U8b而构成的。具体而言，电极 图案PT是将沿着格子GRD中包含的单元化的对角线方向（排列方向化1)排列的多个单位 图案U8a和沿着该对角线方向排列的多个单位图案U8b沿单元化的另一对角线方向（排 列方向Ds2)交替配置而成的图案。
[0162] 单位图案U8a是在由接连的两条第一线L1与接连的Ξ条第二线L2构成的两个单 元化中于除各单元化的边界W外的六条边上配置细线片化1、化2、化3、化4、化1、Tb2而 成的图案。单位图案U8b是在由接连的Ξ条第一线L1与接连的两条第二线L2构成的两个 单元化中于除各单元化的边界W外的六条边上配置细线片化5、化6、化3、化4、化5、化6 而成的图案。运样，单位图案U8a、U8b均用细线片Τ封闭。在图23示出的例子中，第一线L1与第二线L2W从第一线L1到第二线L2的顺时针方向角度为纯角（逆时针方向角度为 锐角）的方式相交，并且间距Ρ1、Ρ2相等。因此，单位图案U8a、U8b是长边的长度为短边的 长度的2倍的平行四边形。 阳163] 在电极图案PT中，相邻的两个单位图案U8a、相邻的两个单位图案U8b、W及相邻 的单位图案U8a与单位图案U8b的轮廓共用一个细线片T而形成。例如，在排列方向Dsl上接连的两个单位图案U8a中，配置于其边界的一根细线片化在一方的单位图案U8a中被 用作细线片化2,在另一方的单位图案U8a中被用作细线片化3,由此来形成运些单位图案 U8a的轮廓。
[0164]另外，例如，在排列方向Dsl上接连的两个单位图案U8b中，配置于其边界的一根 细线片化在一方的单位图案U8b中被用作细线片化4,在另一方的单位图案U8b中被用作 细线片化5,由此来形成运些单位图案U8b的轮廓。 阳165] 单位图案U8a与四个单位图案U8b相邻。单位图案U8a的轮廓与运四个单位图案 U8b的轮廓共用细线片化1、化4、化1、Tb2而形成。 阳166] 另外，单位图案U8b与四个单位图案U8a相邻。单位图案U8b的轮廓与运四个单 位图案U8a的轮廓共用细线片化5、化6、化3、Tb6而形成。 阳167] 实施例9 阳16引图24是示出实施例9所设及的电极图案PT的局部的示意图。本实施例所设及的 电极图案PT通过组合图24的左侧所示的单位图案U9a、U9b而构成。具体而言，电极图案 PT是沿着由在第一线L1的延伸方向DL1上接连的Ξ个单元化构成的四边形的对角线方向 Ds6交替配置沿着构成格子GRD的第二线L2的延伸方向DL2排列的多个单位图案U9a和沿 着该延伸方向DL2排列的多个单位图案U9b而成的图案。 阳169] 单位图案U9a是在由接连的Ξ条第一线L1与接连的Ξ条第二线L2构成的四个单 元化中的Ξ个中，于除各单元化的边界W外的八条边上配置细线片化1、化2、化3、化4、 化1、化2、化3、化4而成的图案。单位图案U9b是在由接连的Ξ条第一线L1与接连的Ξ条 第二线L2构成的四个单元化中的Ξ个中，于除各单元化的边界W外的八条边上配置细线 片化5、化6、化7、化8、化5、化6、化7、Tb8而成的图案。运样，单位图案U9a、U9b均用细线 片T封闭。在图24示出的例子中，第一线L1与第二线L2W从第一线L1到第二线L2的顺 时针方向角度为纯角（逆时针方向角度为锐角）的方式相交，且间距P1、P2相等。单位图 案U9a、U9b均构成弯曲成纯角的V字形形状。
[0170] 在电极图案PT中，相邻的两个单位图案U9a、相邻的两个单位图案U9b、W及相邻 的单位图案U9a与单位图案U9b的轮廓共用至少一个细线片T而形成。例如，在第二线L2 的延伸方向DL2上接连的两个单位图案U9a中，配置于其边界的一根细线片化在一方的单 位图案U9a中被用作细线片化2,在另一方的单位图案U9a中被用作细线片化4,由此来形 成运些单位图案U9a的轮廓。 阳171] 另外，例如，在第二线L2的延伸方向DL2上接连的两个单位图案U9b中，配置于 其边界的一根细线片化在一方的单位图案U9b中被用作细线片化5,在另一方的单位图案U9b中被用作细线片化7,由此来形成运些单位图案U9b的轮廓。 阳172] 单位图案U9a与四个单位图案U9b相邻。单位图案U9a的轮廓与运四个单位图案 U9b的轮廓共用细线片化1、化3、化1、化2、化3、Tb4而形成。 阳173]另外，单位图案U9b与四个单位图案U9a相邻。单位图案U9b的轮廓与运四个单 位图案U9a的轮廓共用细线片化6、化8、化5、化6、化7、Tb8而形成。 阳174] 实施例10 阳175] 图25是示出实施例10所设及的电极图案PT的局部的示意图。本实施例所设及 的电极图案PT是将图25的左侧所示的单位图案U10沿着由在第二线L2的延伸方向化2 和第一线L1的延伸方向DL1上接连的Ξ个单元化构成的四边形的对角线方向Ds6排列而 成的图案。
[0176] 单位图案U10是在由接连的四条第一线L1和接连的五条第二线L2构成的多个单 元化中的六个中，于除各单元化的边界W外的十四条边上配置细线片Tal、Ta2、Ta3、Ta4、 化5、化6、化7、化8、化1、化2、化3、化4、化5、Tb6而成的图案。运样，单位图案UlO用细线 片T封闭。在图25示出的例子中，第一线L1与第二线L2W从第一线L1到第二线L2的顺 时针方向角度为纯角（逆时针方向角度为锐角