专利名称：基于无线通信可调整的装置、装置调整方法和装置调整系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种基于无线通信可调整的装置、装置调整方法以及装置调整系统。
背景技术：
目前，为了调整例如象扩散装置这样的半导体制造装置的机构部，使用装置本体的操作盘或通过电缆外附在装置上的终端装置。例如，使用机构部的调整用终端即调整终端时，在每个装置上设置调整终端，或在每个装置上设置用于转换式地连接一台共用终端的连接接头(connecting connector)。
但是，因为调整终端在装置正常工作时不使用，所以设置装置台数相同数目的调整终端在空间上是白白地浪费。
另外，通过接头连接使用共用终端时，由于反复接头的拔出插入，有可能导致接点的恶化这样的信赖性降低。
而且，使用利用电缆连接的调整终端调整装置的机构部的动作时，电缆成为操作障碍或因电缆长度等的制约，操作人员不能以自由的姿势操作。
发明内容
本发明就是鉴于上述问题而完成的，其目的是提供一种不在每个装置上设置终端装置或不在每个装置上设置用于转换式地连接一台共用终端装置的连接接头、从终端装置就能操作装置的机构部的装置调整系统。
为了实现上述目的，本发明为了使用调整终端这样的终端操作例如半导体制造装置或液晶制造装置这样的装置，在装置和终端之间利用无线通信机能。
利用本发明的第一方面提供的装置是通过无线通信可以调整的装置，具有可调整的机构部、和连接于上述机构部并调整上述机构部的控制组件，还具有连接于上述控制组件、在与终端之间建立无线通信连接并在与终端之间收发数据的无线通信单元，上述控制组件包括作成向终端发送的数据的单元、分析从终端接收的数据的单元、和基于分析的数据调整上述机构部的单元。
利用本发明的第二方面提供的装置调整系统是包括含有可调整的机构部以及调整上述机构部的控制部的装置、和送出调整上述装置的上述机构部的指令的终端的装置调整系统，上述装置还具有连接于上述控制组件、在与终端之间建立无线通信连接并在与终端之间收发数据的无线通信单元，上述控制组件包括作成向终端发送的数据的单元、分析从终端接收的数据的单元、和基于分析的数据调整上述机构部的单元，上述终端具有在与上述装置之间进行无线通信的无线通信单元、和显示来自上述装置的数据并将数据输入到上述装置的接口单元。
利用本发明的第三方面提供的装置调整方法是从终端调整具有可调整的机构部的装置的上述机构部的装置调整方法，具有将无线通信连接请求信息从上述终端发送到上述装置的工序、和将无线通信连接确认信息从上述装置发送到上述终端的工序、和在上述终端和上述装置之间以一对一的对应关系建立无线通信连接的工序、和将上述装置的上述机构部的调整指令信息从上述终端发送到上述装置的工序、和在上述装置中基于上述调整指令信息调整上述机构部的工序。
利用本发明的第四方面提供的装置调整方法是从终端调整具有可调整的机构部的装置的上述机构部的装置调整方法，具有确定由多台装置构成的装置小组的工序、和将无线通信连接请求信息从上述终端发送到上述装置小组的上述多台装置的工序、和将无线通信连接确认信息从上述装置小组中的装置发送到上述终端的工序、和在上述终端和发送上述无线通信连接确认信息的上述装置之间以一对多的对应关系建立无线通信连接的工序、和将该装置的上述机构部的调整指令信息从上述终端发送到建立了无线通信连接的上述装置的工序、和在接受了上述调整指令信息的上述装置中、基于上述调整指令调整上述机构部的工序。
因为只要利用本发明的各种方式就可以在装置和终端之间建立无线通信连接，所以可以将终端的台数抑制到必要最低限，而且由于终端的使用场所或连接接头的设置场所不受限制，可以实现使用终端的作业的效率提高。
本发明的其它目的是通过参照附图阅读后面的详细说明，本发明的特征、机能、优点变得更加明确。
图1是本发明的实施例1的半导体制造装置调整系统的构成图。
图2是本发明的实施例1的机构部调整处理的流程图。
图3是本发明的实施例2的无线终端的构成图。
图4是本发明的实施例2的半导体制造装置的构成图。
图5是本发明的实施例3的排他的连接方式的说明图。
图6是本发明的实施例3的排他的连接处理的流程图。
图7是本发明的实施例4的小组连接方式的说明图。
图8是本发明的实施例4的小组连接处理的流程图。
具体实施例方式
以下，参照
本发明的实施例。本发明并不限定于这些实施例而可以在权利要求所记载的事项范围内以多样的方式实施。
图1是本发明的实施例1的半导体制造装置调整系统的构成图。本实施例的半导体制造装置调整系统由半导体制造装置1和用于操作半导体制造装置1的无线终端2构成。半导体制造装置1和无线终端2以进行无线通信的方式构成。在本发明的实施例1中，作为无线通信技术，利用基于作为10m左右的近距离无线通信的接口规格的蓝牙(Bluetooth)的通信机能。
半导体制造装置1是半导体制造的工序例如成膜处理、扩散处理、蚀刻处理等使用的装置。半导体制造装置1是具有可调整的机构部50、连接于机构部50并调整机构部50的控制部30的装置。机构部50例如是半导体制造装置1的搬送系统。无线终端2被利用于操作例如半导体制造装置1的机构部50。更具体地，利用于搬送系统的示教等、使用无线终端2可以指示狭孔的位置或载置器的位置。无线终端2例如可以通过具有利用蓝牙的通信机能的PDA终端来实现。
半导体制造装置1还具有连接于控制部30、在与无线终端2之间建立连接并在与无线终端2之间收发数据的无线通信部40。
另外，控制部30包括作成发送到无线终端的数据的数据作成部31、将从无线终端接收的数据分析的数据分析部33、和基于分析过的数据调整机构部50的机构部调整部35。
通过将调整时必要的数据、变换机能搭载于半导体制造装置1侧，可以使无线终端2侧的构成简单化，可以利用广泛使用的终端作为本发明实施例的无线终端。
接着，利用本发明的实施例1来说明根据来自无线终端2的指令在半导体制造装置1侧进行的机构部50的调整处理。图2是机构部调整处理的流程图。
步骤1无线通信部40根据来自无线终端2的要求、在与无线终端2之间建立无线通信连接。该图虽没有图示，但在不能建立无线通信连接时，对无线终端2通知连接的失败。
步骤2控制部30从机构部50取得机构部的现在状态(机构部状态)、通过无线通信部40、将机构部状态发送到无线终端2。
在无线终端2侧，机构部状态以操作人员可识别的方式被提示。
步骤3控制部30通过无线通信部40在无线终端2侧接收操作人员输入的操作指令。
步骤4控制部30的数据分析部33判断从无线终端2接收的操作指令是否是连接切断指令，如果不是连接切断指令就进入步骤5。是连接切断指令时，进入步骤8。
步骤5控制部30的数据分析部33判断从无线终端2接收的操作指令是否是机构部调整指令，如果是机构部调整指令就进入步骤6。如果不是机构部调整指令时，进入步骤7。
步骤6控制部30的机构部调整部35基于从无线终端2接收的机构部调整指令调整机构部50并回到步骤2。具体的调整例是搬送系统的移动等。
步骤7因为来自无线终端2的操作指令不是机构部调整指令，所以控制部30实行对应于该操作指令的适当动作例如机构部状态的通知等，回到步骤2。
步骤8因为来自无线终端2的操作指令是无线通信连接的切断指令，所以无线通信部40切断与无线终端2的无线通信连接。由此，一系列的机构部调整处理结束。
另外，以半导体制造装置1和无线终端2之间的无线通信连接的结束可从半导体制造装置1以及无线终端2两方指令的方式构成。
接着，说明将连接状态显示机能、连接状态确认机能以及紧急停止机能附加到上述本发明的实施例1的半导体制造装置调整系统上的本发明的实施例2的半导体制造装置调整系统。
图3是这样的本发明的实施例2的无线终端2的构成图。如同图所示的那样，无线终端2具有在与半导体制造装置1之间进行无线通信的无线通信部22、和接受来自操作人员的指示并根据操作指示对无线通信部22发出无线通信的连接请求、切断要求等的连接操作部21。另外，无线终端2还包括在与半导体制造装置1之间建立无线通信连接后、通过无线通信部22、将机构部调整指令发行到半导体制造装置1的半导体制造装置调整用接口部23。该半导体制造装置调整用接口部23具备实现例如观察机能的用户接口机能(通常的显示器viewer)。
另外，无线终端2还具有在与半导体制造装置1之间相互地例如以一定间隔通过无线通信部22交换用于连接确认的信息的连接状态确认部24、和显示与半导体制造装置1进行无线通信连接的连接状态显示部25。
而且，无线终端2还具备为了确保半导体制造装置1的动作安全、用于通过无线终端2侧的状态使半导体制造装置1的机构部50的动作紧急停止的紧急停止指令部26。紧急停止指令部26被连接于监视-检测操作人员手离开终端装置2的状态、操作人员紧紧握住终端装置2的状态、终端装置2的电缆从插口拔出的状态等的紧急事态的传感器上，响应于来自这些传感器的检测信号，对半导体制造装置1送出紧急停止信号。紧急停止信号可以通过无线通信部22发送，但不限定于这样的实例，可以利用使紧急停止信号发生的公知的各种方法。
另外，紧急停止指令部26使发生紧急停止信号的紧急事态不限定于上述的例子，还考虑到与半导体制造装置1的连接状态确认失败时、无线终端2移动到半导体制造装置1的电波范围以外时、无线终端2的电源被切断时、按下无线终端2的紧急停止按钮时、在无线终端2侧解除无线通信连接时等的状况。
图4是对应于图3所示的无线终端2的本发明的实施例2的半导体制造装置的构成图。半导体制造装置1除有关本发明的实施例1说明的无线通信部40、控制部30以及控制部50以外，还包括连接状态确认部60、连接状态显示部70以及紧急停止部80。
连接状态确认部60在与无线终端2之间相互地例如以一定间隔通过无线通信部40交换用于连接确认的信息。连接状态显示部70显示与无线终端2进行无线通信连接的情况。
另外，紧急停止部80被直接连结于机构部50上，根据从无线终端2送出的紧急停止信号，立即使机构部50的动作停止。
以下，说明以本发明的实施例1或实施例2的半导体制造装置调整系统为基础、在半导体制造装置1和无线终端2之间实现的两种连接方式。
图5是本发明的实施例3的排他的连接方式的说明图。所谓排他的连接方法是无线终端2选择特定的半导体制造装置1的连接方法。如同图所示的那样，半导体制造装置和无线终端只能同时以一对一的关系连接。同图中，←○→的表示表示在半导体制造装置和无线终端之间建立(或可以建立)无线通信连接的状态，←×→的表示表示不能建立无线通信连接。
本例中，因为半导体制造装置A与无线终端B连接，所以无线终端A不能与半导体制造装置A连接。因为建立了无线终端B与半导体制造装置A的连接，所以不能与半导体制造装置B连接。半导体制造装置C没有与无线终端D和无线终端E的任一个连接。
排他的连接方法中，最初通过无线终端2侧的操作例如地址指定等指定特定的半导体制造装置1，接着，通过半导体制造装置1侧的操作进行被选择的半导体制造装置1的确认作业例如ID交换等。于是，正常进行该确认作业时，以后禁止该无线终端装置2和其它半导体制造装置1的无线通信连接。
图6是这样的本发明的实施例3的排他的连接处理的流程图。
步骤21半导体制造装置1的无线通信部40接收来自无线终端2的装置连接请求信息。
步骤22无线通信部40检验在与其它无线终端之间无线通信连接是否已经建立。与其它无线终端之间已经建立了连接时，进入步骤26。无线通信部40建立还没有与无线终端连接时，进入步骤23。
步骤23无线通信部40在与产生装置连接请求信息的无线终端2之间交换相互确认信息(例如ID)。
步骤24无线通信部40判断与无线终端2的相互确认是否成功。相互确认失败时，进入步骤26。相互确认成功时，进入步骤25。
步骤25无线通信部40与无线终端2之间建立排他的无线通信连接。由此，由无线终端2可以调整半导体制造装置1的机构部50。
步骤26由于不能与无线终端2之间建立排他的无线通信连接，所以无线通信部40将装置连接拒绝信息返信到无线终端2。
来自无线终端2的操作结束后，可以在无线终端2侧或半导体制造装置1侧切断(解除)两者间的无线通信连接。
本发明的实施例3的排他连接处理以以上的次序进行。这样的排他的连接方法特别在机构部50的示教等调整作业上是有效的。
图7是本发明的实施例4的小组连接方式的说明图。所谓的小组方法是无线终端2相对于预先小组化的半导体制造装置群建立同时无线通信连接的连接方法。如同图所示的那样，无线终端和半导体制造装置同时以一对多的关系连接。同图中，←○→的表示表示在半导体制造装置和无线终端之间建立(或可以建立)无线通信连接的状态，←×→的表示表示不能建立无线通信连接。
本例中，半导体制造装置A、半导体制造装置B以及半导体制造C预先分入到同一小组中，半导体制造装置D不包括在该小组内。因此，无线终端B与小组内的半导体制造装置A、半导体制造装置B以及半导体制造装置C建立无线通信连接，不能在与半导体制造装置D之间建立无线通信连接。另外，其它无线终端B以及无线终端C不可与在与无线终端A之间已经建立了无线通信连接的小组内的半导体制造装置A、B以及C重复建立无线通信连接。
本发明的实施例4的小组连接方式中，如上述的那样，从无线终端对预先小组化的半导体制造装置群进行连接请求。于是，在一台无线终端和与半导体制造装置群之间建立无线通信连接时，从无线终端对半导体制造装置群可以统一指令进行同一操作。无线终端侧显示了小组连接中的半导体制造装置群的一系列。另外，小组连接中的各半导体制造装置也能表示小组正在连接中。
小组连接的解除可以在各半导体制造装置侧分别进行。另外，无线终端也可以统一解除小组连接。
图8是这样的本发明的实施例4的小组连接处理的流程图。
步骤41定义半导体制造装置的群并登录无线终端以及小组内的各半导体制造装置。
步骤42将装置连接请求从无线终端发送到小组内的半导体制造装置。
步骤43在无线终端和小组内的半导体制造装置之间实行无线通信连接的建立处理。
步骤44判断所有的无线通信连接是否建立。建立时进入步骤45，不建立时进入步骤47。
步骤45在无线终端侧显示小组连接中的半导体制造装置的一系列。
步骤46设定小组内各半导体制造装置的可以统一操作模式，在各半导体制造装置侧显示处于小组连接中的旨意。
步骤47因为存在着不能建立无线通信连接的半导体制造装置，所以无线终端解除了与小组内的所有半导体制造装置的无线通信连接。
本发明的实施例4的小组连接处理以以上的次序进行。这样的小级连接方法特别对多台半导体制造装置的机构部50在设定相同参数等的调整作业上是有效的。
另外，上述的步骤47中，虽然解除了无线终端与小组内所有的半导体制造装置的无线通信连接，但构成也可以是只对可建立无线通信连接的半导体制造装置设定统一操作可能模式。
本发明的上述实施例利用了基于蓝牙的无线通信技术，所以如果将无线终端设置在半导体制造装置的附近(10m以内)就可以在任何地方使用。由此，可以最低限度地抑制无线终端的必要台数，不受无线终端的使用场所或连接接头的场所的限制，与使用无线终端的调整作业的效率提高有关。因为蓝牙具有电波弱(微弱电波覆盖在10m以内)、没有干涉(抗杂音干涉强)这样的特性，所以优选用于实施本发明。
另外，作为无线通信技术来说，除基于作为10m左右的近距离无线通信的接口规格的蓝牙的通信机能以外，可以使用用电波或光等无线进行通信的无线LAN。也可以利用基于PHS方式的通信。本发明并不因利用的无线通信技术的类别而受限制。
另外，作为终端装置来说，可以利用具有基于蓝牙的通信机能的PDA终端或PHS终端。本发明不因终端装置的类别而受限制。
而且，上述实施例说明了有关半导体制造装置，但本发明的装置并不限定于半导体制造装置，只要是具备机构部和调整机构部的控制部的装置，即使是其他样的装置也没关系。
利用上述本发明的实施例的半导体制造装置调整系统的装置调整方法可以用软件(程序)构筑，通过利用计算机的CPU执行该程序可以实现利用本发明的实施例的装置调整方法。所构筑的程序记录于磁盘装置等中并根据必要安装于计算机上、存储于软盘、存储器插板、CD-ROM等可记录媒体上并根据必要安装于计算机上或通过通信电线等安装于计算机上并通过计算机的CPU实行。
如以上说明的那样，只要利用本发明的各种实施例，不需要在每个装置上设置终端装置、不需要在每个装置上设计用于转换式地连接一台共用终端装置的连接接头，就可以从终端装置操作装置的机构部。
以上说明了本发明的代表实施例，但本发明并不限定于上述的实施例，在权利要求的范围内可以进行各种变更、应用。
权利要求
1.一种基于无线通信可调整的装置，其特征在于，具有可调整的机构部；和连接于所述机构部并调整所述机构部的控制组件，还具有连接于所述控制组件、在与终端之间建立无线通信连接并在与终端之间收发数据的无线通信单元，所述控制组件包括作成向终端发送的数据的单元；分析从终端所接收的数据的单元；和基于所分析的数据调整所述机构部的单元。
2.如权利要求1所述的基于无线通信可调整的装置，其特征在于所述无线通信单元构成为，在与终端之间已经建立了无线通信连接时，拒绝来自其它终端的无线通信连接的请求。
3.如权利要求1或2所述的基于无线通信可调整的装置，其特征在于，还具有确认在与终端之间所建立的无线通信连接状态的单元；和显示无线通信连接状态的单元。
4.如权利要求1～3之一所述的基于无线通信可调整的装置，其特征在于还具有接受来自建立了无线通信连接的对方侧的终端的紧急停止指令信号并使所述机构部紧急停止的单元。
5.一种装置调整系统，包括含有可调整的机构部以及调整所述机构部的控制部的装置；和送出调整所述装置的所述机构部的指令的终端，其特征在于，所述装置还具有连接于所述控制组件、在与终端之间建立无线通信连接并在与终端之间收发数据的无线通信单元，所述控制组件包括作成向终端发送的数据的单元；分析从终端所接收的数据的单元；和基于分析的数据调整所述机构部的单元，所述终端具有在与所述装置之间进行无线通信的无线通信单元；和显示来自所述装置的数据并将数据输入到所述装置的接口单元。
6.如权利要求5所述的装置调整系统，其特征在于所述装置的所述无线通信单元构成为，在与终端之间已经建立了无线通信连接时，拒绝来自其它终端的无线通信连接的请求。
7.如权利要求5或6所述的装置调整系统，其特征在于所述终端的所述无线通信单元构成为，同时在与多台装置之间建立无线通信连接并在与多台装置之间进行无线通信。
8.如权利要求5～7之一所述的装置调整系统，其特征在于还具有确认在所述装置和所述终端之间所建立的无线通信状态的单元；和显示所述装置和所述终端之间的无线通信连接的状态的单元。
9.如权利要求5～8之一所述的装置调整系统，其特征在于所述终端还具有监视在所述终端是否发生应使被无线通信连接的对方侧的装置的机构部紧急停止的状况的单元；和检测出出现应紧急停止的状况时，向所述装置发送使所述装置的控制部紧急停止的紧急停止指令信号的单元，所述装置还具有接受来自建立了无线通信连接的所述终端的所述紧急停止指令信号并使所述机构部紧急停止的单元。
10.一种装置调整方法，从终端调整具有可调整的机构部的装置的所述机构部，其特征在于，该装置调整方法包括将无线通信连接请求信息从所述终端发送到所述装置的工序；将无线通信连接确认信息从所述装置发送到所述终端的工序；在所述终端和所述装置之间以一对一的对应关系建立无线通信连接的工序；将所述装置的所述机构部的调整指令信息从所述终端发送到所述装置的工序；和在所述装置中基于所述调整指令信息调整所述机构部的工序。
11.一种装置调整方法，从终端调整具有可调整的机构部的装置的所述机构部，其特征在于，该装置调整方法包括确定由多台装置构成的装置小组的工序；将无线通信连接请求信息从所述终端发送到所述装置小组的所述多台装置的工序；将无线通信连接确认信息从所述装置小组中的装置发送到所述终端的工序；在所述终端和发送了所述无线通信连接确认信息的所述装置之间以一对多的对应关系建立无线通信连接的工序；将该装置的所述机构部的调整指令信息从所述终端发送到建立了无线通信连接的所述装置的工序；和在接受了所述调整指令信息的所述装置中，基于所述调整指令调整所述机构部的工序。
全文摘要
本发明涉及一种不在每个装置上设置终端装置或不在每个装置上设置用于转换式地连接一台共用终端装置的连接接头，从终端装置就能操作装置的机构部的装置调整系统。本发明的装置具有可调整的机构部(50)、调整机构部的控制部(30)和在与终端(2)之间建立无线通信连接并在与终端之间收发数据的无线通信部(40)，控制部(30)包括发送到终端的数据的作成部(31)、从终端所接收的数据的分析部(33)以及基于分析的数据调整机构部的调整部(35)。
文档编号G08C17/02GK1643653SQ03805759
公开日2005年7月20日 申请日期2003年3月4日 优先权日2002年3月12日
发明者千叶充 申请人:东京毅力科创株式会社