专利名称：模块化光－磁混合存储介质动态测试装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及存储介质，特别是一种模块化光-磁混合存储介质动态测试装置。主要应用于光-磁混合存储介质记录、擦除和读出性能的动态测试，也可用于只读、一次写入、可擦重写等普通光存储介质或超分辨光存储介质存储特性的小样品准动态测试。
背景技术：
混合存储综合了磁存储和磁光存储的优点，记录采用磁光存储方式，以缩小记录信息位，读出采用磁存储方式，以提高信噪比，克服了两者的瓶颈问题，大幅度提高了存储密度。研究适合于蓝紫光混合存储条件下的垂直磁化存储材料和介质，相应的测试装置必不可少，特别是动态测试是存储介质实用化必须要进行的测试。在先技术中，有一种测试磁光材料的动态测试装置(参见“Video Disk Recorder System UsingMagneto-Optical Disk”Seiji MURATA，Kenji ASANO，Noboru MAMIYAJpn.J.Appl.Phys.Vol.36(1997)Part 1，No.1B，January 1997pp.562-567)。该装置有相当多的优点，但不适合混合存储测试，且存在一些不足未加入磁头读出装置，无法实现混合存储中要求的磁读出。
采用现有光盘高数值孔径物镜，透过盘基进行记录、擦除和读出，数值孔径无法提高，因此磁光记录密度较小。
若加入磁读出装置，由于磁读出和光磁记录分别在相距较远的两个区域进行，在先技术中的主轴电机装置是无法在不增加道跟踪装置的条件下对盘片进行测试的。
只能对光存储介质存储特性进行动态测试，对静态测试无能为力。
发明内容
本实用新型要解决的问题在于克服上述在先技术的不足，提供一种模块化光-磁混合存储介质动态测试装置，该装置可克服磁光存储装置中读出分辨率和灵敏度低的问题；具有回转精度高、不须进行道跟踪、记录密度高、可用于静态测试、维护方便等特点。
本实用新型的基本构思是本实用新型提供一种模块化光-磁混合存储介质动态测试装置。整套装置采用模块化设计，由激光调制模块、偏磁机构模块、主轴电机模块、聚焦伺服模块、磁头读出模块、径向移动模块、观察显微模块和装置控制模块构成。主轴电机采用空气轴承，这样由转台保证回转精度，不须进行道跟踪。聚焦伺服采用压电陶瓷驱动的纳米平台作执行器，提高聚焦伺服的精度。加入了白光监视装置，提高了装置的通用性。
本实用新型的技术解决方案如下一种模块化光-磁混合存储介质动态测试装置，其特征在于该装置由激光调制模块、偏磁模块、主轴电机模块、聚焦伺服模块、磁头读出模块、径向压电陶瓷驱动的纳米平台、观察显微模块和装置控制模块构成所述的激光调制模块包括激光器、第一透镜、声光调制器、第二透镜、小孔、扩束镜、高数值孔径物镜、声光调制器控制器和信号发生器，在激光器输出光路上依次置有第一透镜和声光调制器，沿该声光调制器的一级衍射光方向为第一纵向光轴，在该第一纵向光轴上依次是声光调制器、第二透镜、小孔、扩束镜和立方偏振分光棱镜，所述的第一透镜和第二透镜是焦距相等的一对共焦透镜，所述的声光调制器处于第一透镜的像方焦点和第二透镜的物方焦点的共焦点处，所述的声光调制器控制器的输入端接所述的信号发生器，输出端与声光调制器相连，所述的高数值孔径物镜与所述的偏磁模块相对并安装在轴向压电陶瓷驱动的纳米平台上；所述的偏磁模块是一个恒磁棒或电磁铁；所述的主轴电机模块包括盘片、盘夹、旋转电机、空气轴承、光电编码盘和电机控制器，光电编码盘与电机控制器连接，电机控制器对旋转电机进行控制，该主轴电机模块采取卧式放置方式，即旋转电机的轴平行于地面，盘片的放置方式使记录层面向高数值孔径高数值孔径物镜；所述的聚焦伺服模块包括所述的立方偏振分光棱镜，通过该立方偏振分光棱镜的中心点且垂直于第一纵向光轴是第一横向光轴，在该第一横向光轴上，自左至右依次是四象限探测器、柱透镜、第三透镜、立方偏振分光棱镜、四分之一波片和光谱分光镜，所述的四象限探测器的输出端分别与两级聚焦伺服控制器的输入端相连，该该两级聚焦伺服控制器的两个输出端分别与轴向压电陶瓷驱动的纳米平台和轴向扫描电机相连，所述的高数值孔径物镜固定在轴向压电陶瓷驱动的纳米平台上，被其带动作轴向运动；轴向压电陶瓷驱动的纳米平台固定在径向压电陶瓷驱动的纳米平台上，轴向压电陶瓷驱动的纳米平台与高数值孔径物镜一起作为径向压电陶瓷驱动的纳米平台的负载；径向压电陶瓷驱动的纳米平台固定在轴向电机上；所述的立方偏振分光棱镜的分光面与第一纵向光轴和第一横向光轴均成45°，该立方偏振分光棱镜由两个等边直角棱镜胶合而成，胶合面上镀有偏振分光膜，对偏振方向垂直于第一纵向光轴与第一横向光轴所构成的平面的光(P光)反射，对偏振方向平行于第一纵向光轴与第一横向光轴所构成的平面的光(S光)透射；第三透镜和柱透镜的光轴与第一横向光轴重合，四象限探测器位于第三透镜和柱透镜的焦点中间且其分割线与柱透镜的母线成45°；所述的磁头读出模块包括磁头和示波器，该磁头与写入光束都位于盘片的同一侧，磁头和示波器相连；所述的径向压电陶瓷驱动的纳米平台由与其相连的装置控制模块进行控制；所述的观察显微模块包括通过所述的光谱分光镜的中心点且与第一纵向光轴平行的是第二纵向光轴，在该第二纵向光轴上依次有高数值孔径物镜、轴向压电陶瓷驱动的纳米平台、轴向扫描电机、光谱分光镜、白光分光镜、镜筒透镜、图像采集器，该图像采集器通过电缆与显示器相连；通过白光分光镜的中心点与第一纵向光轴垂直的是第二横向光轴，在该第二横向光轴上自所述的白光分光镜，依次是第四透镜、视场光阑、第五透镜、光纤束和白光光源，所述的白光光源、光纤束、第五透镜、视场光阑、第四透镜、白光分光镜和高数值孔径物镜组合起来构成观察显微模块的柯勒照明装置；所述的光谱分光镜、镜筒透镜、图像采集器和显示器构成观察显微模块的图像采集装置，所述的光谱分光镜的入射面垂直于第二纵向光轴和第一横向光轴，且其分光面与第二纵向光轴和第一横向光轴成45°，所述的白光分光镜的入射面垂直于第二纵向光轴和第二横向光轴，且其分光面与第二纵向光轴和第二横向光轴成45°，光谱分光镜对激光器输出光具有高反射率，对白光中其他波长的光有高透射率，且其放置方式使高数值孔径物镜与四分之一波片在其分光面的同一侧，白光分光镜对入射光束反射50％、透过50％，且其放置方式使光谱分光镜与照明装置在其分光面的同一侧，所述的镜筒透镜与高数值孔径物镜构成一个显微装置，其像方焦点在图像采集器的接收面上；所述的装置控制模块是一台计算机。
所述的偏磁模块覆盖盘片的径向范围，该偏磁模块安装位置与高数值孔径物镜相对，磁场有效范围足够覆盖整个记录区径向长度。
本实用新型的模块化光磁混合存储介质动态测试装置的工作过程如下激光器发出的单色偏振方向垂直于纸面的线偏振高斯光束经过第一透镜聚焦。聚焦后缩小了经过声光调制器的光束半径，从而可以提高了调制速率。光束经过声光调制器后发生衍射，再透过第二透镜，调整小孔的位置，使得只有一级衍射光束通过扩束镜进行扩束准直。装置控制模块控制信号发生器输出一定幅度、频率、占空比的方波信号给声光调制器控制器，从而控制声光调制器输出的一级衍射光的强度和通断时间。准直后的线偏振光被立方偏振分光镜反射后，经过四分之一波片转化为圆偏振光，射向观察显微模块中的光谱分光镜，该光谱分光镜对于工作波长蓝光高反射率，对于其他波长光高透射率。准直激光光束被光谱分光镜反射后经高数值孔径物镜聚焦至高数值孔径物镜的焦点处，即不透过盘片直接打在记录层上。盘片被盘夹夹持，由电机带动稳定旋转，从而使记录光点与记录介质产生相对运动。编码盘测得电机的旋转速度反馈给电机控制器，电机控制器对电机进行稳速驱动。
被盘片反射回来的光束经径高数值孔径物镜、光谱分光镜，大部分光被光谱分光镜反射到四分之一波片。被盘片反射回来的圆偏振光经四分之一波片后转化为线偏振光，且偏振方向与激光器出射激光的偏振方向成90度。所以反射光束经四分之一波片后，透过偏振分光棱镜，经过第三透镜、柱透镜后照射在四象限探测器的接收面上。四象限探测器将光信号转化成电信号并进行加减运算，计算出的聚焦误差信号输出至两级聚焦伺服控制器，控制器输出聚焦伺服信号给两级执行器轴向压电陶瓷驱动的纳米平台和轴向电机。第一级执行器轴向电机只跟随低频的输入，第二级执行器轴向压电陶瓷驱动的纳米平台只响应高频而幅度小的输入。轴向电机和压电陶瓷驱动的纳米平台根据聚焦伺服信号带动高数值孔径物镜进行轴向的快速运动。使透过高数值孔径物镜的聚焦光束跟随盘片的轴向运动准确地会聚在记录层上。在记录完一圈信号后，装置控制器输出信号，控制径向压电陶瓷驱动的纳米平台6带动高数值孔径物镜移动到另一径向位置继续记录。
白光光源发射的白光光束经白光分光镜反射后的光束透过光谱分光镜、高数值孔径物镜会聚在记录层上。由记录层表面反射的白光光束再依次通过高数值孔径物镜、光谱分光镜、白光分光镜、镜筒透镜，在镜筒透镜的像方焦面上形成记录层表面的像。而图像采集器的接收面就在镜筒透镜的像方焦面上，所以图像采集器将接收到的记录层表面的像送到显示器上显示。从盘片的激光束经高数值孔径物镜、光谱分光镜一小部分激光透过光谱分光镜进入图像采集光路打在图像采集器的接收面同记录层一起进行成像、显示。从而可以在动态记录信号前通过监视蓝光成像光斑的大小来判断是否准确预聚焦，进而通过调节轴向压电陶瓷驱动的纳米平台在动态记录信号前进行准确的预聚焦。
信号记录完毕，由磁头进行信号读出，磁头的输出信号送入示波器进行波形的显示和保存。
与在先技术相比，本实用新型的优点1、加入了磁头读出装置，使用GMR进行读出，实现了混合存储中要求的磁读出，克服了磁光存储装置中读出分辨率和灵敏度低的问题；2、整套装置采用了模块化设计，加快了研制速度，维护方便，装置功能易于扩充升级，每个模块还可以单独用于其它装置中；3、本测试装置采用显微高数值孔径物镜，可以达到很高的数值孔径，从而减小了记录点尺寸，提高了记录密度；4、主轴电机采用空气轴承，回转精度高，不须进行道跟踪；5、加入了白光监视模块，使得本装置亦可用于静态测试，提高了装置的通用性。
图1为本实用新型的实施例的光路示意图。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
先请参阅图1，图1为本实用新型的实施例的光路示意图。由图可见，本实用新型模块化光-磁混合存储介质动态测试装置，由激光调制模块1、偏磁模块2、主轴电机模块3、聚焦伺服模块4、磁头读出模块5、径向压电陶瓷驱动的纳米平台6、观察显微模块7和装置控制模块8构成所述的激光调制模块1包括激光器101、第一透镜1031、声光调制器102、第二透镜1032、小孔104、扩束镜105、高数值孔径物镜106、声光调制器控制器107和信号发生器108，其位置关系是在激光器101输出光路上依次置有第一透镜1031和声光调制器102，沿该声光调制器102的一级衍射光方向为第一纵向光轴00，在该第一纵向光轴00上依次是声光调制器102、第二透镜1032、小孔104、扩束镜105和立方偏振分光棱镜402，所述的第一透镜1031和第二透镜1032是焦距相等的一对共焦透镜，所述的声光调制器102处于第一透镜1031的像方焦点和第二透镜1032的物方焦点的共焦点处，所述的声光调制器控制器107的输入端接所述的信号发生器108，输出端与声光调制器102相连，所述的高数值孔径物镜106与所述的偏磁模块2相对，并安装在轴向压电陶瓷驱动的纳米平台407上；所述的偏磁模块2是一个恒磁棒或电磁铁；所述的主轴电机模块3包括盘片301、盘夹302、旋转电机303、空气轴承304、光电编码盘305和电机控制器306，光电编码盘305与电机控制器306连接，电机控制器306对旋转电机303进行控制，该主轴电机模块3采取卧式放置方式，即旋转电机303的轴平行于地面，盘片301的放置方式使记录层面向高数值孔径物镜106；所述的聚焦伺服模块4包括所述的立方偏振分光棱镜402，通过该立方偏振分光棱镜402的中心点且垂直于第一纵向光轴OO是第一横向光轴O′O′，在该第一横向光轴O′O′上，自左至右依次是四象限探测器405、柱透镜404、第三透镜403、立方偏振分光棱镜402、四分之一波片401和光谱分光镜707，所述的四象限探测器405的输出端分别与两级聚焦伺服控制器406的输入端相连，该该两级聚焦伺服控制器406的两个输出端分别与轴向压电陶瓷驱动的纳米平台407和轴向扫描电机408相连，所述的高数值孔径物镜106固定在轴向压电陶瓷驱动的纳米平台407上，被其带动作轴向运动；轴向压电陶瓷驱动的纳米平台407固定在径向压电陶瓷驱动的纳米平台6上，轴向压电陶瓷驱动的纳米平台407与高数值孔径物镜106一起作为径向压电陶瓷驱动的纳米平台6的负载；径向压电陶瓷驱动的纳米平台6固定在轴向电机408上；所述的立方偏振分光棱镜402的分光面与第一纵向光轴OO和第一横向光轴O′O′均成45°，该立方偏振分光棱镜402由两个等边直角棱镜胶合而成，胶合面上镀有偏振分光膜，对偏振方向垂直于第一纵向光轴oo与第一横向光轴O′O′所构成的平面的光(P光)反射，对偏振方向平行于第一纵向光轴OO与第一横向光轴O′O′所构成的平面的光(S光)透射；第三透镜403和柱透镜404的光轴与第一横向光轴O′O′重合，四象限探测器405位于第三透镜403和柱透镜404的焦点中间且其分割线与柱透镜404的母线成45°；所述的磁头读出模块5包括磁头501和示波器502，该磁头501与写入光束都位于盘片301的同一侧，磁头501和示波器502相连；所述的径向压电陶瓷驱动的纳米平台6由与其相连的装置控制模块8进行控制；所述的观察显微模块7包括通过所述的光谱分光镜707的中心点O′且与第一纵向光轴OO平行的是第二纵向光轴O′O″，在该第二纵向光轴O′O上依次有高数值孔径物镜106、轴向压电陶瓷驱动的纳米平台407、轴向电机408、光谱分光镜707、白光分光镜706、镜筒透镜708、图像采集器709，该图像采集器709通过电缆与显示器710相连；通过白光分光镜706的中心点O″与第一纵向光轴OO垂直的是第二横向光轴O″O″，在该第二横向光轴O″O″上自所述的白光分光镜706，依次是第四透镜705、视场光阑704、第五透镜703、光纤束702和白光光源701，所述的白光光源701、光纤束702、第五透镜705、视场光阑704、第四透镜703、白光分光镜706和高数值孔径物镜106组合起来构成观察显微模块7的柯勒照明装置；所述的光谱分光镜707、镜筒透镜708、图像采集器709和显示器710构成观察显微模块7的图像采集装置，所述的光谱分光镜707的入射面垂直于第二纵向光轴O′O″和第一横向光轴ooo’，且其分光面与第二纵向光轴O′O″和第一横向光轴OO成45°，所述的白光分光镜706的入射面垂直于第二纵向光轴O′O″和第二横向光轴O”O″，且其分光面与第二纵向光轴O′O″和第二横向光轴O”O″成45°，光谱分光镜707对激光器101输出光具有高反射率，对白光中其他波长的光有高透射率，且其放置方式使高数值孔径物镜106与四分之一波片401在其分光面的同一侧，白光分光镜706对入射光束反射50％、透过50％，且其放置方式使光谱分光镜707与照明装置在其分光面的同一侧，所述的镜筒透镜708与高数值孔径物镜106构成一个显微装置，其像方焦点在图像采集器709的接收面上；
所述的装置控制模块8是一台工控机。
所述的偏磁模块2覆盖盘片301的径向范围，该偏磁模块2安装位置与高数值孔径物镜106相对，磁场有效范围足够覆盖整个记录区径向长度。
更具体地说，本实施例中激光器101采用Kr离子混合气体激光器，工作波长为406.7nm。声光调制器102光波长范围为325-450nm通光孔径为0.2×1mm2，载频为180MHz。声光调制器控制器104为与声光调制器向配套的控制器。扩束镜105为负-正型透镜组，扩束被率为6。信号发生器107为可编程多通道信号发生器，最窄电信号脉宽为30ns，同步信号为50kHz。四分之一波片401工作波长为406.7nm。轴向压电陶瓷驱动的纳米平台407的无负载谐振频率为12KHz。径向压电陶瓷驱动的纳米平台6的无负载谐振频率为16KHz。高数值孔径物镜106放大倍数为100倍，数值孔径为0.9。图像采集器604由120万像素的CCD与消色差双胶合透镜构成。
本实施例的工作过程为，激光器101发出的单色线偏振高斯光束经过第一透镜1031聚焦。聚焦后缩小了经过声光调制器102的光束半径，从而可以提高了调制速率。光束经过声光调制器102后发生衍射，再透过第二透镜1032，调整小孔104位置，使得只有一级衍射光束通过扩束镜105扩束准直。装置控制模块8控制信号发生器108输出一定幅度、频率、占空比的方波信号给声光调制器控制器107，从而控制声光调制器106输出的一级衍射光的强度和通断时间。准直后的线偏振光被立方偏振分光镜402反射后，经过四分之一波片401转化为圆偏振光，射向观察显微模块7中的光谱分光镜707，光谱分光镜707对于工作波长蓝光高反射率，对于其他波长光高透射率。准直激光光束被光谱分光镜707反射后经高数值孔径物镜106聚焦至焦点处，即不透过盘片301直接打在记录层上。盘片301被盘夹302夹持，由旋转电机303带动稳定旋转，从而使记录光点与记录介质产生相对运动。光电编码盘305测得旋转电机303的旋转速度反馈给电机控制器306，电机控制器306对旋转电机进行稳速控制和驱动。
被盘片301反射回来的光束经高数值孔径物镜106、光谱分光镜707，大部分光被光谱分光镜707反射到四分之一波片401。被盘片301反射回来的圆偏振光经四分之一波片401后转化为线偏振光，且偏振方向与激光器101出射激光的偏振方向成90度。所以反射光束经四分之一波片401后，透过立方偏振分光棱镜402，经过第三透镜403、柱透镜404后照射在四象限探测器405的接收面上。四象限探测器405将光信号转化成电信号并进行加减运算，计算出的聚焦误差信号输出至两级聚焦伺服控制器406，该控制器406输出聚焦伺服信号给两级执行器轴向压电陶瓷驱动的纳米平台407和轴向电机408。第一级执行器轴向电机408只跟随低频的输入，第二级执行器轴向压电陶瓷驱动的纳米平台407只响应高频而幅度小的输入。轴向电机408和压电陶瓷驱动的纳米平台407根据聚焦伺服信号带动高数值孔径物镜106进行轴向的快速运动。使透过高数值孔径物镜106的聚焦光束跟随盘片301的轴向运动准确地会聚在记录层上。在记录完一圈信号后，装置控制器8输出信号，控制径向压电陶瓷驱动的纳米平台6带动高数值孔径物镜106移动到另一径向位置继续记录。
白光光源701发射的白光光束经白光分光镜707反射后的光束透过光谱分光镜707、高数值孔径物镜106会聚在记录层上。由记录层表面反射的白光光束再依次透过高数值孔径物镜106、光谱分光镜707、白光分光镜706、镜筒透镜708，在镜筒透镜708的像方焦面上形成记录层表面的像。而图像采集器709的接收面就在镜筒透镜708的像方焦面上，所以图像采集器709就将接收到的记录层表面的像送到显示器710上显示。从盘片301的激光束经高数值孔径物镜106、光谱分光镜707，一小部分激光透过光谱分光镜708进入图像采集光路打在图像采集器709的接收面同记录层一起进行成像、显示。从而可以在动态记录信号前通过监视蓝光成像光斑的大小来判断是否准确预聚焦，进而通过调节轴向压电陶瓷驱动的纳米平台407在动态记录信号前进行准确的预聚焦。
信号记录完毕，由磁头501进行信号读出，磁头501的输出信号送入示波器502进行波形的显示和保存。
权利要求1.一种模块化光-磁混合存储介质动态测试装置，其特征在于该装置由激光调制模块(1)、偏磁模块(2)、主轴电机模块(3)、聚焦伺服模块(4)、磁头读出模块(5)、径向压电陶瓷驱动的纳米平台(6)、观察显微模块(7)和装置控制模块(8)构成所述的激光调制模块(1)包括激光器(101)、第一透镜(1031)、声光调制器(102)、第二透镜(1032)、小孔(104)、扩束镜(105)、高数值孔径物镜(106)、声光调制器控制器(107)和信号发生器(108)，在激光器(101)输出光路上依次置有第一透镜(1031)和声光调制器(102)，沿该声光调制器(102)的一级衍射光方向为第一纵向光轴(00)，在该第一纵向光轴(00)上依次是声光调制器(102)、第二透镜(1032)、小孔(104)、扩束镜(105)和立方偏振分光棱镜(402)，所述的第一透镜(1031)和第二透镜(1032)是焦距相等的一对共焦透镜，所述的声光调制器(102)处于第一透镜(1031)的像方焦点和第二透镜1032)的物方焦点的共焦点处，所述的声光调制器控制器(107)的输入端接所述的信号发生器(108)，输出端与声光调制器(102)相连，所述的高数值孔径物镜(106)与所述的偏磁模块(2)相对并安装在轴向压电陶瓷驱动的纳米平台(407)上；所述的偏磁模块(2)是一个恒磁棒或电磁铁；所述的主轴电机模块(3)包括盘片(301)、盘夹(302)、旋转电机(303)、空气轴承(304)、光电编码盘(305)和电机控制器(306)，光电编码盘(305)与电机控制器(306)连接，电机控制器(306)对旋转电机(303)进行控制，该主轴电机模块(3)采取卧式放置方式，即旋转电机(303)的轴平行于地面，盘片(301)的放置方式使记录层面向高数值孔径高数值孔径物镜(106)；所述的聚焦伺服模块(4)包括所述的立方偏振分光棱镜(402)，通过该立方偏振分光棱镜(402)的中心点且垂直于第一纵向光轴(OO)是第一横向光轴(O′O′)，在该第一横向光轴(O′O′)上，自左至右依次是四象限探测器(405)、柱透镜(404)、第三透镜(403)、立方偏振分光棱镜(402)、四分之一波片(401)和光谱分光镜(707)，所述的四象限探测器(405)的输出端分别与两级聚焦伺服控制器(406)的输入端相连，该该两级聚焦伺服控制器(406)的两个输出端分别与轴向压电陶瓷驱动的纳米平台(407)和轴向电机(408)相连，所述的高数值孔径物镜(106)固定在轴向压电陶瓷驱动的纳米平台(407)上，被其带动作轴向运动；轴向压电陶瓷驱动的纳米平台(407)固定在径向压电陶瓷驱动的纳米平台(6)上，轴向压电陶瓷驱动的纳米平台(407)与高数值孔径物镜(106)一起作为径向压电陶瓷驱动的纳米平台(6)的负载；该径向压电陶瓷驱动的纳米平台(6)固定在轴向电机(408)上；所述的立方偏振分光棱镜(402)的分光面与第一纵向光轴(OO)和第一横向光轴(O′O′)均成45°，该立方偏振分光棱镜(402)由两个等边直角棱镜胶合而成，胶合面上镀有偏振分光膜，对偏振方向垂直于第一纵向光轴(OO)与第一横向光轴(O′O′)所构成的平面的光反射，对偏振方向平行于第一纵向光轴(OO)与第一横向光轴(O′O′)所构成的平面的光透射；第三透镜(403)和柱透镜(404)的光轴与第一横向光轴(O′O′)重合，四象限探测器(405)位于第三透镜(403)和柱透镜(404)的焦点中间且其分割线与柱透镜(404)的母线成45°；所述的磁头读出模块(5)包括磁头(501)和示波器(502)，该磁头(501)与写入光束都位于盘片(301)的同一侧，磁头(501)和示波器(502)相连；所述的径向压电陶瓷驱动的纳米平台(6)由与其相连的装置控制模块(8)进行控制；所述的观察显微模块(7)包括通过所述的光谱分光镜(707)的中心点(O′)且与第一纵向光轴(OO)平行的是第二纵向光轴(O′O″)，在该第二纵向光轴(O′O″)上依次有高数值孔径物镜(106)、轴向压电陶瓷驱动的纳米平台(407)、轴向电机(408)、光谱分光镜(707)、白光分光镜(706)、镜筒透镜(708)、图像采集器(709)，该图像采集器(709)通过电缆与显示器(710)相连；通过白光分光镜(706)的中心点(O″)与第一纵向光轴(OO)垂直的是第二横向光轴(O″O″)，在该第二横向光轴(O″O″)上自所述的白光分光镜(706)，依次是第四透镜(705)、视场光阑(704)、第五透镜(703)、光纤束(702)和白光光源(701)，所述的白光光源(701)、光纤束(702)、第五透镜(705)、视场光阑(704)、第四透镜(703)、白光分光镜(706)和高数值孔径物镜(106)组合起来构成观察显微模块(7)的柯勒照明装置；所述的光谱分光镜(707)、镜筒透镜(708)、图像采集器(709)和显示器(710)构成观察显微模块(7)的图像采集装置，所述的光谱分光镜(707)的入射面垂直于第二纵向光轴(O′O″)和第一横向光轴(OO)，且其分光面与第二纵向光轴(O′O″)和第一横向光轴(OO)成45°，所述的白光分光镜(706)的入射面垂直于第二纵向光轴(O′O″)和第二横向光轴(O”O″)，且其分光面与第二纵向光轴(O′O″)和第二横向光轴(O”O″)成45°，所述的光谱分光镜(707)对激光器(101)输出光具有高反射率，对白光中其他波长的光有高透射率，且其放置方式使高数值孔径物镜(106)与四分之一波片(401)在其分光面的同一侧，白光分光镜(706)对入射光束反射50％、透过50％，且其放置方式使光谱分光镜(707)与照明装置在其分光面的同一侧，所述的镜筒透镜(708)与高数值孔径高数值孔径物镜(106)构成一个显微装置，其像方焦点在图像采集器(709)的接收面上；所述的装置控制模块(8)是一台计算机。
2.根据权利要求1所述的模块化光-磁混合存储介质动态测试装置，其特征在于所述的偏磁模块(2)覆盖盘片(301)的径向范围，该偏磁模块(2)安装位置与高数值孔径高数值孔径物镜(106)相对，磁场有效范围足够覆盖整个记录区径向长度。
3.根据权利要求1所述的模块化光-磁混合存储介质动态测试装置，其特征在于所述的计算机是一台工控机或PC机。
专利摘要一种模块化光－磁混合存储介质动态测试装置，该装置由激光调制模块、偏磁模块、主轴电机模块、聚焦伺服模块、磁头读出模块、径向压电陶瓷驱动的纳米平台、观察显微模块和装置控制模块构成，主轴电机采用空气轴承，这样由转台保证回转精度，不须进行道跟踪。聚焦伺服采用压电陶瓷驱动的纳米平台作执行器，提高聚焦伺服的精度。加入了白光监视装置，提高了装置的通用性。
文档编号G11B20/00GK2864904SQ200520043819
公开日2007年1月31日 申请日期2005年7月27日 优先权日2005年7月27日
发明者朱青, 徐文东, 高秀敏, 戴珂, 张锋, 杨金涛 申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所